SCREEN vafeļu tīrītājs SU-3200

SCREEN SU-3200 ir revolucionāra 300 mm vienas plāksnes tīrīšanas sistēma pusvadītāju ražošanas nozarē. Pateicoties tās izcilajai caurlaidspējai un vadošajai tīrības tehnoloģijai, tā ilgu laiku kalpoja par SCREEN galveno modeli, atbalstot loģikas un atmiņas mikroshēmu ražošanu no 32 nm līdz 7 nm un pat sarežģītākiem mezgliem, spēlējot izšķirošu lomu tīrīšanas iekārtu tirgū.

Kodola pozicionēšana un tehnoloģijas pārskats: SU-3200 kodola pozicionēšana ir paredzēta, lai ievērojami palielinātu vienas vafeles tīrīšanas caurlaidspēju, vienlaikus saglabājot ārkārtīgi augstu tīrības līmeni un atbilstot progresīvu procesu ārkārtējām efektivitātes prasībām.

Augstas caurlaidspējas dizains: Pateicoties inovatīvai četru slāņu sakrautai arhitektūrai, vienu sistēmu var konfigurēt ar līdz pat 12 neatkarīgām procesa kamerām, sasniedzot apstrādes jaudu līdz 800 vafelēm stundā (WPH), kas tolaik bija pasaulē vadošais rādītājs starp vienas vafeles tīrīšanas sistēmām.

Īpaši tīra procesa vide: Lai atbilstu stingrajām 22 nm un sarežģītāku mezglu prasībām, SU-3200 ir aprīkots ar SCREEN patentēto APAC (Advanced Process Atmosphere Control) tehnoloģiju. Optimizējot kameras vidi vairākās dimensijās, tas nodrošina maksimālu tīrīšanas procesa tīrību.

Galvenās tehniskās detaļas: Lai sasniegtu divējādus mērķus — caurlaidspēju un tīrību, SU-3200 izmanto virkni inovatīvu konstrukciju, kas sīkāk aprakstītas tabulā zemāk:

Tehnoloģijas dimensija | Tehnoloģijas nosaukums | Galvenā funkcija un ieviešanas metode

Revolucionārs jaudas uzlabojums | Kompakta kamera | Samazina vienas procesa kameras tilpumu līdz pusei no tās priekšgājēja tilpuma, ļaujot tajā pašā telpā izvietot vairāk kameru, tādējādi palielinot caurlaidspēju uz platības vienību.

Ātrgaitas pārsūtīšanas sistēma | Optimizē vafeļu pārsūtīšanas loģiku un ātrumu starp kamerām, kas ir galvenais atbalsts augstas caurlaidspējas sasniegšanai – 800 vafeļi stundā (WPH).

Tīrības nodrošināšana | APAC tehnoloģija | Īpaši tīras kameras tehnoloģija ir kopīgs termins vairākām tehnoloģijām. Tās galvenās apakštehnoloģijas ietver:

AMC mikrokamera: kameras iekšējais tilpums ir samazināts līdz vienai trešdaļai no iepriekšējās kameras tilpuma, tādējādi nodrošinot ātrāku gāzes nomaiņu un efektīvi uzlabojot vides tīrību.

ABG gaisa plūsmas balansēšanas deflektors: tiek izmantots, lai izlīdzinātu tīro gaisa plūsmu, ko pūš augšējais augstas efektivitātes daļiņu filtrs (FFU), novēršot virpuļus vai mirušās zonas kamerā un nodrošinot efektīvu daļiņu noņemšanu.

ASP uzlabotā šļakatu aizsardzība: Pateicoties precīzam dizainam, ķīmisko šļakatu samazināšana ķīmiskās izsmidzināšanas laikā, nodrošinot tīru vafeļu apstrādes vidi.

APN gaisa aizsardzības sprausla: Žāvēšanas posmā tiek izmantota "gaisa aizkara", lai aizsargātu vafeļu virsmu un novērstu ūdens traipus, ko izraisa šķidruma iztvaikošanas atlikumi.

Elastīga ķīmisko vielu piegāde: ķīmisko vielu avotus var elastīgi izvietot. Ir pieejamas gan dinamiskās tiešās iesmidzināšanas (DDI), gan skapīšu tipa sistēmas, kas ļauj klientiem elastīgi izvēlēties atbilstoši konkrētām procesa prasībām.

Vienkārša apkope: Izvelkama konstrukcija: Procesa kameru var izvilkt kā atvilktni, lai to būtu viegli tīrīt, nomainīt komponentus un veikt citus apkopes darbus, efektīvi samazinot iekārtu dīkstāves laiku. Pielietojuma jomas: No visprogresīvākās pētniecības un attīstības līdz nobriedušai ražošanai.

SU-3200 ir plašs pielietojumu klāsts, aptverot vairākus pusvadītāju ražošanas galvenos posmus.

Uzlabotas loģikas un atmiņas mikroshēmas: SU-3200 tiek izmantota mikroshēmu, tostarp 7 nm un modernāku mezglu, pētniecībā un attīstībā, kā arī ražošanā gan priekšējās (FEOL), gan aizmugurējās (BEOL) procesos.

Galvenie pusvadītāju materiāli un procesi: Starp daudzajiem procesiem, ko tā atbalsta, ir trešās paaudzes pusvadītāju materiālu, piemēram, SiC (silīcija karbīda) un GaN (gallija nitrīda), tīrīšana.

Progresīva pētniecība un sadarbība ekosistēmu jomā: SU-3200 jaudīgā veiktspēja padara to par vadošo pētniecības un attīstības iestāžu izvēli visā pasaulē. Piemēram, IBM ir ieviesis SU-3200 savā pusvadītāju pētniecības centrā Olbani, Ņujorkas štatā. Turklāt SCREEN ir sadarbojies ar Applied Materials, uzstādot SU-3200 savā META centrā, lai izstrādātu modernākus mikroshēmu procesus.

Tirgus pozīcija un vēsturiskais ieguldījums

SU-3200 ir ne tikai veiksmīgs produkts, bet arī galvenais faktors SCREEN tirgus līderpozīcijas nostiprināšanā.

Tirgus dominance: Pēc SU-3200 panākumiem SCREEN vēl vairāk nostiprināja savu vadošo pozīciju tīrīšanas iekārtu jomā. Saskaņā ar oficiālajiem SCREEN datiem, 2025. gada jūlijā tā kopējās pusvadītāju tīrīšanas iekārtu piegādes pārsniedza 15 000 vienību, ieņemot vadošo pozīciju pasaules tirgū vairākos segmentos, tostarp atsevišķu plākšņu tīrīšanā, partiju tīrīšanā un centrifūgas tīrīšanā.

Ieņēmumu pīlārs: Ilgu laiku SU-3200 bija SCREEN galvenais produkts, un tā tīrīšanas iekārtu biznesa ieņēmumi bija ļoti atkarīgi no šī modeļa.