ASM apverčiamojo lusto sujungimo įrenginys AMICRA NANO

ASM „AMICRA NANO“ yra aukščiausios klasės, itin tikslus „flip-chip“ sujungimo įrenginys. Tiesą sakant, tai ne tiesiog paprastas „flip-chip“ sujungimo įrenginys, o įrenginys, kuris apjungia kristalų sujungimo ir „flip-chip“ sujungimo funkcijas, lanksčiai valdydamas įvairius sujungimo procesus.

AMICRA NANO pagrindinės savybės ir techninės specifikacijos

Išsamus funkcijų aprašymas

Įrangos tipas: itin tikslus štampo sujungimo / apverčiamo lustų sujungimo įrenginys

Šerdies tikslumas: išdėstymo / išlyginimo tikslumas: ±0,2 µm @ 3σ

Klijavimo būdai: hibridinis klijavimas, eutektinis klijavimas, lazerinis klijavimas, termostatinis klijavimas (TCB), UV kietėjimas

Sukibimo slėgio diapazonas: nuo 0,1 N iki 20 N (apytiksliai nuo 10 g iki 2 kg)

Lusto dydis: apdoroja itin mažas lustus, pvz., 0,1 mm x 0,1 mm

Pagrindo dydis: Tinka iki 300 mm x 300 mm dydžio pagrindams

Gamybos greitis (UPH): Maždaug 200–400 drožlių per valandą

Operacinė sistema: „Windows“ sąsaja

Įrangos matmenys: tik pagrindas 2,23 x 1,0 m (apytiksliai 7,3 x 3,3 pėd.)

Proceso aplinka Įrengti HEPA filtrai ir jonų generatorius, užtikrinantys itin gryną švarią patalpos aplinką.

Daugiau techninių detalių ir palyginimas su panašiais modeliais

Principas

Ypatingas „AMICRA NANO“ tikslumas kyla iš unikalios konstrukcijos: keturios didelės raiškos vaizdo gavimo sistemos pritvirtintos prie natūralaus granito pagrindo, o kitos judesio valdymo sistemos juda aplink šias fiksuotas kameras. Kartu su aktyviu vibracijos slopinimu ir dinaminiu lygiavimo sistema tai užtikrina tikslų išdėstymą.

Taikymo sritys

Jis sukurtas pažangioms pakavimo reikmėms, kurioms keliami itin aukšti tikslumo reikalavimai, ypač gerai pasižymėdamas silicio fotonikos, optinių prietaisų pakavimo, lustų ir plokštelių integravimo bei 2,5D/3D IC integravimo srityse.

Proceso privalumai

Be itin didelio išdėstymo tikslumo, „AMICRA NANO“ taip pat palaiko didelės spartos AuSn eutektinio sujungimo procesus ir turi vietoje atliekamo eutektinio sujungimo galimybes, efektyviai pagerindamas pralaidumą ir jungties kokybę.

Kiti išvestiniai modeliai

Be NANO, ASMPT AMICRA seriją taip pat sudaro:

NOVA Pro: Taip pat palaiko „flip-chip“ sujungimą su ±1,0 µm tikslumu, taip pasiekdamas greičio ir tikslumo pusiausvyrą.

AFC Plus: Tai universalus štampo klijavimo įrenginys, kurio tikslumas yra ±1,5 µm, skirtas papildyti aukščiausios klasės NANO seriją.

Apibendrinant galima teigti, kad ASM AMICRA NANO sukurtas taip, kad atitiktų pačius reikliausius pakavimo reikalavimus. Skirtingai nuo įrangos, kuri teikia pirmenybę efektyvumui, jis orientuotas į itin didelį ±0,2 µm tikslumą, aptarnaudamas mokslinius tyrimus ir plėtrą bei didelio mišrumo, mažos apimties pažangią gamybą tokiose pažangiausiose srityse kaip silicio fotonika ir dirbtinio intelekto skaičiavimai.