DISCO vaflių malūnėlis DFG8541

„DISCO DFG8541“ yra visiškai automatizuotas šlifavimo staklės, sukurtos 8 colių ir mažesnių plokštelių ploninimo poreikiams patenkinti. Atnaujinta, palyginti su savo pirmtaku, geriausiai parduodamu DFG8540, ji gali būti pozicionuojama kaip „pagrindinis 8 colių plokštelių ploninimo modelis“, žinomas dėl didelio tikslumo, švaros ir puikaus stabilumo, ypač tinkantis apdirbti kietas ir trapias medžiagas, tokias kaip silicio karbidas (SiC).

Toliau pateikiamas išsamus jo veikimo principo, pagrindinių funkcijų, specifikacijų ir rinkos vertės aprašymas.

Veikimo principas: dviejų branduolių efektyvumo ir tikslumo sinergija

DFG8541 naudoja „dvigubo veleno, trijų siurbtukų“ architektūrą.

Aiškus darbo pasidalijimas: vienas velenas turi šiurkštų šlifavimo diską, skirtą greitai pašalinti pagrindinę medžiagą nuo plokštelės galo; kitas velenas turi smulkų šlifavimo diską, skirtą paviršiui kruopščiai apdirbti, pasiekiant lygų, plokščią ir nepažeistą galutinį rezultatą.

Labai efektyvus procesas: Plokštelė vakuume adsorbuojama ant darbinio stalo. Tiksliai planuojant procesą, pasiekiamas visiškai automatizuotas „vienkartinis užspaudimas, nuolatinis apdorojimas“ darbo eiga, išvengiant užteršimo ir pažeidimų, kylančių perkeliant medžiagas tarp skirtingų įrenginių.

Taikymas ir vaidmenys: už silicio ribų

Kaip bendrosios paskirties įrenginys, jis atlieka lemiamą vaidmenį trečiosios kartos puslaidininkių srityje.

Pagrindinė užduotis: 8 colių ir mažesnių plokštelių (Si/SiC) retinimas iki tikslinio storio, užtikrinant puikų storio vienodumą (TTV) ir pašalinant ankstesnių procesų sukeltus paviršiaus pažeidimo sluoksnius.

Naujas pagrindas: pasirinkus didelio sukimo momento veleną, DFG8541 gali stabiliai apdirbti itin didelio kietumo medžiagas, tokias kaip SiC. Tai yra pagrindinė priežastis, kodėl jis yra labai populiarus dabartinėje galios puslaidininkių rinkoje.

Pagrindinių parametrų apžvalga

Parametro kategorija | Konkrečios specifikacijos

Tinkami ruošiniai: Φ8 colių (200 mm) ir mažesni; suderinama su Φ4, 5, 6 ir 8 colių plokštelėmis, naudojant universalų griebtuvą

Šlifavimo metodas: išilginis sukamasis šlifavimas

Veleno konfigūracija: dvigubi velenai (2 ašys), pneumatinis hidrostatinis guolis (standartinis)

Veleno greitis: 1000–7000 aps./min.

Veleno galia: standartinė 4,2 kW

Darbo stalo konfigūracija: trys darbo stalai (3 griebtuvų stalai)

Šlifavimo disko specifikacijos: Φ200 mm deimantinis šlifavimo diskas

Įrangos matmenys (P x G x A): apytiksliai 1100 × 2800 × 1800 mm

Įrangos svoris: apie 3000 kg

Pagrindinės funkcijos ir savybės

DFG8541 yra reikšmingas DFG8540 atnaujinimas.

Funkcijų / savybių išsamus aprašymas

Puikios valymo galimybės: Daugiapakopiai dviejų skysčių purkštukai: Palyginti su tradiciniu oro ir vandens valymu, šis metodas efektyviai pašalina smulkias dulkių daleles, prilipusias prie plokštelės po šlifavimo. Ši technologija plačiai naudojama pagrindinėse darbo vietose, tokiose kaip siurbtukai ir ruošiniai, efektyviai sumažinant plonų plokštelių lūžio riziką.

Bekontaktis lygiavimas: Naudojama kamera plokštelės centrui nustatyti, pakeičiant fizinį kontaktą ir pašalinant įbrėžimus ar kraštų pažeidimus lygiavimo proceso metu.

Pažangi gamyba: receptas pagal plokštelę: leidžia automatiškai apdoroti skirtingas plokšteles toje pačioje plokštelių kasetėje pagal atitinkamus iš anksto nustatytus receptus (malimo storis, greitis ir kt.), puikiai prisitaikant prie įvairių rūšių, mažų partijų gamybos.

Plokštelių apsaugos funkcijos: integruoja kelis apsaugos mechanizmus, įskaitant plokštelių žemėlapių sudarymą (apsauga nuo nesutapimo / tuščių plokštelių), storio išankstinį patikrinimą (apsauga nuo dvigubos juostos) ir vakuuminį laikymą (staigaus elektros energijos tiekimo sutrikimo signalizacija), užtikrinant didelės vertės plokštelių saugumą.

Elektriniu būdu reguliuojamas pakreipimo korekcija: siurbtuko pakreipimą galima tiksliai reguliuoti elektra naudojant ekrane rodomas vertes, taip optimizuojant apdorojimo formą ir sutrumpinant rankinio kalibravimo prastovas.

Žymiai patobulintas naudojimo patogumas: 19 colių didesnis ekranas. GUI: palyginti su DFG8540 15 colių ekranu, šis ekranas yra ne tik didesnis, bet ir turi intuityvią grafinę vartotojo sąsają.

Optimizuota priežiūra: patobulinta vidinė valymo struktūra palengvina priežiūrą.

Energiją taupantis ir kompaktiškas dizainas: naujas oro velenas sumažina oro suvartojimą 50 %; įmontuotas vakuuminis siurblys sumažina užimamą plotą 15 %, palyginti su ankstesniu modeliu, todėl sutaupoma tiek techninės įrangos, tiek eksploatavimo išlaidų.

Rinkos pozicionavimas ir vertė: palyginti su flagmanu DGP8761, skirtu 12 colių rinkai, DFG8541 labiau orientuotas į 8 colių rinką, todėl tai yra tipiškas „didelio našumo, ekonomiškas“ flagmanas:

Našumo pozicionavimas: DFG8541 yra 8 colių šlifuoklių našumo etalonas. Pasirinkus didelio sukimo momento veleną, jis sėkmingai įveikia kietų ir trapių medžiagų, tokių kaip SiC, retinimo iššūkius, įtvirtindamas savo absoliutų pranašumą 8 colių rinkoje.

Investicinė vertė: kaip stabilus brandžios platformos atnaujinimas, jis yra patikimas ilgalaikio stabilaus veikimo ir nepertraukiamo našumo požiūriu, todėl tai yra didelio efektyvumo, mažos rizikos ir patikimas pasirinkimas investicijoms į 8 colių gamybos linijos įrangą. Geriausi šalies universitetai (pvz., Siano Dziaotongo universitetas) jau įsigijo šią įrangą pažangiausiems tyrimams.

Priežiūros ir įrengimo reikalavimai: Siekiant užtikrinti ilgalaikį stabilų ir tikslų DFG8541 veikimą, būtina griežtai laikytis DISCO reikalavimų įrengimo aplinkai:

Aplinkos švara: Įrenginys turi būti įrengtas švarioje patalpoje, kurioje laikomasi aukšto švarumo reikalavimų. Aplinkos temperatūra turi būti stabili 20–25 ℃, o svyravimai turi būti kontroliuojami ±1 ℃ tikslumu. Santykinė oro drėgmė paprastai turi būti mažesnė nei 55 %.

Maitinimo šaltinis:

Suslėgtas oras: Reikalingas švarus, sausas ir be alyvos, didelio grynumo suslėgtas oras, kurio slėgis yra 0,5 MPa ar didesnis.

Elektra: Reikalingas trifazis maitinimo šaltinis, atitinkantis įrangos galios reikalavimus.

Aušinimo vanduo: Velenui aušinti reikalingas dejonizuotas vanduo (DI vanduo), užtikrinantis stabilų tekėjimo greitį ir pastovią temperatūrą. Vandens temperatūra paprastai turėtų atitikti kambario temperatūrą, o temperatūros svyravimai turėtų būti minimalūs.

Reguliarus šlifavimo diskų tikrinimas ir keitimas, vakuuminių griebtuvų valymas ir oro veleno priežiūra yra labai svarbūs norint prailginti įrangos tarnavimo laiką ir užtikrinti apdorojimo našumą.

Apibendrinant, „DISCO DFG8541“ yra brandus ir patikimas 8 colių plokštelių retinimo sprendimas. Jis pasiekia pirmaujančius pramonės našumus pagrindinėse srityse ir yra visapusiškai optimizuotas automatizavimo, švaros ir naudojimo paprastumo požiūriu, kad atitiktų šiuolaikinės gamybos poreikius.