„Nitto DR3000III“ puslaidininkių plokštelių tvirtinimo įrenginys

Tai išsamus „Nitto Denko“ NEL SYSTEM™ DR3000III pristatymas. Tai visiškai automatizuota plokštelių apsauginės juostos klijavimo mašina, atliekanti svarbų vaidmenį puslaidininkių gamyboje.

Pagrindinė konfigūracija ir techninės specifikacijos

Pagrindinės DR3000III techninės specifikacijos yra šios:

Prekės specifikacijos / parametrai

Įrangos tipas: Visiškai automatinis apsauginės juostos aplikatorius 300 mm plokštelėms

Taikomas plokštelės dydis: 300 mm (12 colių) / 200 mm (8 colių)

Taikomas vaflio storis: 400 μm arba storesnis

Pralaidumas: 68 plokštelės/val.

Juostos klijavimo technologija: integruotas įtempimo neturintis klijavimo valdymo mechanizmas

Suderinami standartai: Atitinka CE ženklinimą ir SEMI S2/S8 specifikacijas

Pastaba: aukščiau pateiktos specifikacijos gali keistis atsižvelgiant į plokštelę, juostą ir kitas sąlygas, taip pat gali būti įtrauktos pasirenkamos funkcijos.

Pagrindinės savybės ir privalumai

Galingos DR3000III savybės išskiria jį iš tiksliosios gamybos srities:

Įtempimo neturinti dengimo technologija: tai vienas iš pagrindinių jos technologinių privalumų. Juostos įtempimo sumažinimas prieš laminavimą efektyviai kontroliuoja plokštelių deformaciją po galinės pusės šlifavimo, o tai labai svarbu dirbant su dideliais, itin plonais plokštelių paviršiais.

Mažo įtempimo laminavimo valdymas: įranga pasižymi mažo įtempimo klijavimu ir klijų įtempių valdymu, todėl laminavimo metu žymiai sumažėja plokštelių rašto pažeidimo rizika.

Suderinamumas su plokštelėmis: Nors sukurta 300 mm plokštelėms, ji yra suderinama su 200 mm plokštelėmis ir palaiko specialius procesus su papildomomis funkcijomis, tokiomis kaip šildomas griebtuvo stalas (maks. 100 °C) ir šildomi voleliai (maks. 60 °C). Be to, ji efektyviai susidoroja su nelygiomis plokštelėmis ir plokštelėmis su tam tikru deformacijos laipsniu.

Aukštas automatizavimo ir intelekto lygis: įranga aprūpinta:

Automatizuotas medžiagų tvarkymas: Palaiko priekyje atidaromas plokštelių kasetes (FOUP) / atviras kasetes su įmontuota robotine ranka, skirta visiškai automatizuotam pakrovimui ir iškrovimui.

Tikslus lygiavimas: Naudojama bekontakčio CCD lygiavimo sistema, užtikrinanti laminavimo tikslumą.

Pažangus stebėjimas: Įrengta žurnalų failų funkcija duomenų atsekamumui; juostos nutrūkimo aptikimas apsaugo nuo gedimų. Papildomas plokštelių žymėjimo skaitytuvas leidžia automatiškai patikrinti gaunamas medžiagas.

Atitinka aukštus pramonės standartus: įranga atitinka SEMI S2/S8 saugos ir aplinkosaugos standartus ir yra prieinama su pasirenkamais SECS/GEM ryšio protokolais, kad būtų galima sklandžiai integruoti į šiuolaikines puslaidininkių gamyklų automatizavimo sistemas.

Patogus valdymas: didelis jutiklinis ekranas kartu su receptų funkcija leidžia lengvai ir intuityviai valdyti įrenginį. Vartotojams tereikia iškviesti atitinkamo produkto receptą, kad automatiškai būtų atlikti visi parametrų nustatymai.

Veikimo principas: Prieš šlifuojant atgal, DR3000III tiksliai priklijuoja apsauginę juostelę prie raštuotos plokštelės pusės, naudodamas įtempimo neturintį metodą, kad būtų išvengta mechaninių pažeidimų ar cheminio užteršimo plokštelės priekinėje pusėje vėlesnio šlifavimo dideliu greičiu metu.

Taikymo sritys: DR3000III daugiausia naudojamas šiose pagrindinėse srityse:

Puslaidininkių gamyba: loginiai ir atminties lustai (DRAM, NAND Flash ir kt.): apsaugo subtilią grandinės struktūrą priekinėje plokštelės pusėje pažangiuose procesuose. Pažangus pakavimas: užtikrina plokštelių apsaugą vis didesnių 300 mm plokštelių pakavimo procesų metu („Fan-In WLP“, „Fan-Out WLP“ ir kt.).

MEMS ir jutikliai: apsaugo mikromechanines struktūras ir jutiklių sritis galinės pusės retinimo procesų metu.

Galios puslaidininkiniai įtaisai: apdoroja plokšteles galios įtaisams, tokiems kaip IGBT ir MOSFET, mažindamos įjungimo varžą ir gerindamos šilumos išsklaidymą ploninant.

Bendradarbiavimas su kita įranga: Puslaidininkių pakavimo linijose DR3000III paprastai veikia kartu su šia įranga:

Bendradarbiavimas su plėvelės klijavimo įranga: veikia kartu su „Nitto NEL-MA3000-III“ juostos šalinimo įranga prieš ir po retinimo proceso. DR3000III pirmiausia užtepa apsauginę juostelę, kad apsaugotų plokštelę nuo pažeidimų retinimo metu; po retinimo NEL-MA3000-III tiksliai pašalina apsauginę juostelę, užtikrindamas itin plonos plokštelės vientisumą ir saugumą viso proceso metu.

Bendradarbiavimas su poliravimo įranga: glaudžiai bendradarbiaujama su poliravimo mašinomis kaip apsaugos priemonė. Kai DR3000III padengia plokšteles apsauginėmis plėvelėmis, jos paduodamos į šlifavimo stakles, kad būtų ploninama nugarėlė, patikimai užtikrinant šlifavimo proceso saugą ir stabilumą.

Apskritai „Nitto DR3000III“ yra labai specializuota, automatizuota ir didelio našumo plokštelių apsaugos sistema. Dėl įtempimo neturinčios plėvelės laminavimo technologijos ji efektyviai išsprendžia dažniausiai pasitaikančias didelių plokštelių deformacijos ir nuskilinėjimo problemas, kylančias galinės pusės retinimo proceso metu. Ji atlieka pagrindinį vaidmenį puslaidininkių pramonėje, nes yra svarbi įrangos dalis, užtikrinanti pažangios lustų gamybos našumą ir patikimumą. Dėl kainų pasiūlymų ar techninių klausimų susisiekite tiesiogiai su oficialiais „Nitto“ atstovais arba įgaliotaisiais platintojais Kinijoje.