Pembersih wafer SEMES BLUEICE PRIME

BLUEICE PRIME SEMES ialah sistem pembersihan wafer tunggal automatik sepenuhnya 300mm yang direka untuk pembuatan logik teknologi proses termaju (LPT) dan cip memori. Dibangunkan dan dikeluarkan oleh SEMES, pembekal peralatan teras di bawah Samsung Electronics, ia merupakan peralatan utama untuk meningkatkan hasil pengeluaran besar-besaran bagi proses canggih seperti 2nm.

Prestasi Teras: Mengimbangi Proses dan Kapasiti Lanjutan

Prestasi Proses Unggul: Mampu menanggalkan zarah pada tahap 19nm, meningkatkan keseragaman pengetsaan dengan ketara sebanyak lebih 40%.

Reka Bentuk Kapasiti Kecekapan Tinggi: Sebagai sistem pembersihan wafer tunggal 300mm, ia mengendalikan lebih 500 wafer sejam (WPH), memenuhi permintaan pengeluaran besar-besaran berskala besar dengan berkesan.

Ciri-ciri Teknikal: Pelbagai Reka Bentuk Inovatif yang Dibangunkan Secara Bebas

Proses Asid Fosforik Suhu Tinggi Inovatif: Proses terasnya menggunakan asid fosforik suhu tinggi untuk pengukiran dan penanggalan wafer. Kawalan penyemburan dan suhu yang tepat berkesan mengurangkan kadar penyebaran dan kecacatan proses, sekali gus meningkatkan hasil cip 2nm dengan ketara.

**Chuck Suhu Tinggi yang Dibangunkan Secara Bebas:** Teknologi ini meningkatkan keseragaman suhu semasa pemanasan wafer, mengurangkan kecacatan proses dengan ketara dan mengatasi batasan kaedah pembersihan basah tradisional.

**Kawalan Pencemaran Komprehensif:** Ruang NIC (Pembersihan Tanpa Interaksi) berkesan mencegah pencemaran silang, digabungkan dengan teknologi SF-Aerosol (titisan berkelajuan tinggi/seragam) untuk pembersihan fizikal.

**Sistem Pintar Bersepadu Tinggi:** Dilengkapi dengan APAC, AIS (Sistem Pengesanan Automatik) dan SEAS (Sistem Analisis Peralatan Pintar), ia mencapai kawalan aliran yang tepat dan analisis pintar status peralatan.

**Kawasan Aplikasi:** Berpangkalan di Samsung, menawarkan perkhidmatan kepada pelanggan global terkemuka.

BLUEICE PRIME terutamanya menyasarkan faundri cip logik dan pengeluar memori global terkemuka. Dengan memanfaatkan status syarikat induknya SEMES sebagai anak syarikat Samsung Group, peralatan ini disepadukan secara mendalam ke dalam barisan pengeluaran fabrik wafer Samsung yang paling canggih. Penyelesaian pembersihan basahnya membentuk ekosistem lengkap dengan peralatan teras hadapan lain seperti litografi (siri OMEGA) dan etsa (siri MICHELAN). Perlu diingatkan bahawa SEMES telah mengembangkan skop perniagaannya ke seluruh bidang pembuatan HBM (Memori Lebar Jalur Tinggi), berjaya membangun dan menghasilkan mesin ikatan haba (TC Bonder) secara besar-besaran untuk penyusunan cip HBM.

Secara ringkasnya, BLUEICE PRIME menunjukkan kekuatan teknologi SEMES yang mendalam dalam bidang peralatan semikonduktor. Ia merupakan bahagian penting dalam usaha Samsung Group untuk mengukuhkan kedudukannya sebagai peneraju global dalam teknologi proses termaju dan alat utama yang menyokong pembuatan canggih di bawah 2nm.