SEMES waferreiniger BLUEICE PRIME

De BLUEICE PRIME van SEMES is een volledig geautomatiseerd reinigingssysteem van 300 mm voor afzonderlijke wafers, ontworpen voor de productie van logica- en geheugenchips met geavanceerde procestechnologie (LPT). Het systeem is ontwikkeld en geproduceerd door SEMES, een belangrijke leverancier van apparatuur voor Samsung Electronics, en is een essentieel onderdeel voor het verbeteren van de massaproductieopbrengst van geavanceerde processen zoals 2 nm.

Kernprestaties: het vinden van een balans tussen geavanceerde processen en capaciteit.

Superieure procesprestaties: in staat om deeltjes tot op 19 nm niveau te verwijderen, waardoor de etsuniformiteit met meer dan 40% aanzienlijk verbetert.

Hoogefficiënt ontwerp: Als 300 mm waferreinigingssysteem voor individuele wafers verwerkt het meer dan 500 wafers per uur (WPH), waarmee effectief wordt voldaan aan de eisen van grootschalige massaproductie.

Technische kenmerken: Meerdere onafhankelijk ontwikkelde innovatieve ontwerpen

Innovatief hogetemperatuur-fosforzuurproces: Het kernproces maakt gebruik van hogetemperatuur-fosforzuur voor het etsen en strippen van wafers. Nauwkeurige controle van het spuiten en de temperatuur vermindert effectief processpreiding en defectpercentages, waardoor de opbrengst van 2nm-chips aanzienlijk wordt verbeterd.

**Onafhankelijk ontwikkelde hogetemperatuur-chuck:** Deze technologie verbetert de temperatuuruniformiteit tijdens het verwarmen van wafers, vermindert procesfouten aanzienlijk en overwint de beperkingen van traditionele natte reinigingsmethoden.

**Uitgebreide contaminatiebeheersing:** De NIC-kamer (Non-Interaction Clean) voorkomt effectief kruisbesmetting, in combinatie met SF-Aerosol-technologie (hogesnelheids-/uniforme druppeltechnologie) voor fysieke reiniging.

**Zeer geïntegreerd intelligent systeem:** Uitgerust met APAC, AIS (Automatisch Detectiesysteem) en SEAS (Slim Apparatuuranalysesysteem), zorgt het voor nauwkeurige doorstroomregeling en intelligente analyse van de apparatuurstatus.

**Toepassingsgebieden:** Werkzaam bij Samsung, ten dienste van toonaangevende internationale klanten.

BLUEICE PRIME richt zich primair op toonaangevende wereldwijde chipfabrikanten en geheugenproducenten. Dankzij de positie van moederbedrijf SEMES als dochteronderneming van de Samsung Group is deze apparatuur diep geïntegreerd in de meest geavanceerde waferproductielijnen van Samsung. De natte reinigingsoplossing vormt een compleet ecosysteem met andere essentiële front-end apparatuur zoals lithografie (OMEGA-serie) en etsen (MICHELAN-serie). Het is vermeldenswaard dat SEMES zijn bedrijfsactiviteiten heeft uitgebreid naar de gehele HBM-productie (High Bandwidth Memory) en met succes een thermische bondingmachine (TC Bonder) voor het stapelen van HBM-chips heeft ontwikkeld en in massaproductie heeft genomen.

Samenvattend demonstreert BLUEICE PRIME de enorme technologische kracht van SEMES op het gebied van halfgeleiderapparatuur. Het is een cruciaal onderdeel van de inspanningen van de Samsung Group om haar positie als wereldleider in geavanceerde procestechnologieën te verstevigen en een belangrijk instrument ter ondersteuning van geavanceerde productieprocessen kleiner dan 2 nm.