PVA TePla pilaasmaa qulqulleessituu IoN 200

IoN 200, kan PVA TePlan dhiyaate, sirna pilaasmaa RF (Radio Frequency) kan addatti fooyya’iinsa fuula, qulqulleessuu fi hojiiwwan ashiingiidhaaf qophaa’eedha. Ciminni isaa inni ijoo ta’e, haala adda ta’een socho’uu danda’uu isaati: fedhii laaboraatooriiwwan R&D qorannoo adeemsa sirrii ta’e guutuu qofa osoo hin taane naannoo oomisha baay’ee keessatti haala wal hin tuqneen walitti makama, adeemsa sabsteeretii bifa guddaa qaban dandeessisuu fi oomisha baay’ee guddaa ta’e deeggara.

**Qajeelfama Hojii**

IoN 200 teeknooloojii pilaasmaa RF fayyadamuun gaazota naannoo vaakiyuumii keessa jiran kakaasuun pilaasmaa maddisiisa. Raadikaalonni pilaasmaa anniisaa guddaa qaban boombii fiizikaalaa fi walnyaatinsa keemikaalaa lamaan isaanii fuula meeshaa irratti jalqabu, kanaanis hojiiwwan adeemsaa kan akka qulqulleessuu, hojiitti hiikuu ykn etching raawwatu. Kana malees, PVA TePla moojuulii teeknooloojii pilaasmaa maaykirooweeyii filannoo ta’e dhiyeessa; teknooloojiin kun anniisaa dalgee elektiromaagneetikii fayyadamuun gaazota kakaasuun raadikaalota walnyaatinsaa maddisiisa. Kunis adeemsa qulqulleessuu gahumsa olaanaa, walfakkaataa fi isotropic ta’e kan mirkaneessu yoo ta’u, miidhaa ayooniin dhufu fi kuufama chaarjii elektiroo-istaatikii haala bu’a qabeessa ta’een ittisa.

**Dandeettiiwwan Ijoo**

IoN 200 dandeettii adeemsaa bal’aa qaba:

**Qulqullina Fuulaa:** Haftee hin jijjiiramne, kan akka faalama orgaanikii fi oksaayidii balleessuu.

**Surface Activation:** Gareewwan dalagaa poolaarii jiidhamuu fi maxxanuu fuula guddisuuf galchuu, kanaanis adeemsa itti aanu kan akka kennuu fi walitti hidhamiinsaaf fuula qopheessuu.

**Ashing / Descum:** Adeemsa omishaa fi qaphxii wefer keessatti, kun adeemsa photoresist ashing gahumsa olaanaa qabuun photoresist sirritti balleessuu—ykn haftee pattern etching booda hafe (jechuunis, descum) qulqulleessuu of keessaa qaba; kunis miidhaa irraa bilisa, adeemsa sirrii ta’e mirkaneessa.

**Faayidaa fi Amaloota isaa**

Gabatee armaan gadii faayidaa teeknikaa adda ta’ee fi amala dizaayinii IoN 200 dimenshinii adda addaa irratti mul’isa:

**Dimshaashumatti** | **Ibsa Bal'aa**

**Daddabbii Addaa** | Waafers hanga 200 mm daayameetira, akkasumas gosoota adda addaa substrates bifa guddaa qaban hojjechuu kan danda’u. Sirni kun filannoowwan dhiyeessii humnaa RF adda addaa kan dhiyeessu yoo ta’u, qindeessaa golee fi elektiroodii guddina adda addaatiin barbaachisummaa adeemsa addaa fi bu’aa oomishaa sirritti akka walsimu ni deeggara; keessattuu filannoo golee guddaan dandeettii hanga liitira 1,200 kan qabu yoo ta’u, gara fuulduraatti babal’ina sirnaa fi fooyya’iinsaaf bakka bal’aa kenna.

**Raawwii Adeemsa Hojii Cimaa** | Teeknooloojii pilaasmaa RF fayyadamuun-fi moojuulii pilaasmaa maaykirooweeyii filannoo ta’e dhiyeessuun-sirni kun adeemsa bal’aa madaqsuu agarsiisa. Kaayyoon isaa inni guddaan bu’aa adeemsaa tasgabbaa’aa fi walfakkaatu substrates hanga 200 mm safaru irratti mirkaneessuudha. Fakkeenyaaf, yeroo footorezist balleessuu sirnichi saffisa balleessuu addaa fi walfakkaatummaa galmaan ga’a.

**Qulqullina Ol'aanaa fi Michuu Naannoo:** Sirni kun adeemsa qulqulleessuu "goggogaa" fayyadama-mala aadaa keemikaala jiidhaan qulqulleessuu irraa faallaa guddaa-kanaanis barbaachisummaa balfa dhangala'aa balaafamaa qabachuu dhabamsiisuu fi akka teeknooloojii "magariisa" naannoodhaaf mijatutti of hundeessa.

**Teeknooloojii Dursaa fi Qulqullina Amanamaa:** Ogummaa gadi fagoo waggoota 25 ol damee adeemsa pilaasmaa irratti qabu irraa kan ka’e, PVA TePla umurii meeshaalee waggaa 20 ol ta’uun indaastiricha keessatti beekamaadha-qulqullina addaa fi amanamummaa isaaf ragaadha. Teeknooloojiin pilaasmaa maaykirooweeyii adda ta'e saamuda bal'aa fi miidhaa irraa bilisa ta'een qulqulleessuu dandeessisa.

**User-Friendly Operation & Data Traceability:** Dizaayiniin sirnichaa to’annoo sagantaa baay’ee fayyadamuu danda’u, sirna alarmii kufaatii irraa bilisa ta’e, fi sooftiweerii daataa argachuu irratti xiyyeeffannoo guddaa kenna. Kunis fayyadamtootaaf muuxannoo hojii sadarkaa olaanaa fi hubatamaa ta’e kennuu qofa osoo hin taane hordoffiin adeemsaa mirkaneessa, kanaanis ulaagaalee ciccimoo indaastirichi to’annoo qulqullinaaf barbaachisu guuta. **Ibsa Teeknikaa**

Ijaarsi haardwaara addaa qindeessaa qabatamaa irratti hundaa'uun garaagarummaa qabaachuu danda'a, amaloonni ijoo IoN 200 armaan gadii odeeffannoo ummataaf argamu irratti hundaa'uun tarreeffamaniiru:

**Paarameetirii** | **Gadifageenyaan**

**Akkaataa Meeshaa** | Sirna Adeemsa Pilaasmaa RF (Radio Frequency) (Sirni Pilaasmaa Maaykirooweeyii Filannoo ni jira)

**Guddina Waafer/Substrate** | Hanga 200 mm (inchii 8) ni deeggara .

**Haala Adeemsa Hojii** | Adeemsa Batch fi haala adeemsa Single-wafer/substrate lamaan isaanii walfakkummaa fi baasii-gahumsa ilaalchisee fedhii adeemsa adda addaa guutuuf ni deeggara

**Qindeessituu Golee** | Dizaayiniin moojuularii, gosoota elektiroodii adda addaa fi caasaa golee wajjin kan walsimu

**Iyyannoowwan Ijoo** | Photoresist balleessuu (Ashing/Stripping), Faalama Organic/Inorganic balleessuu, Surface activation

**Gaasii Adeemsaa** | Oksijiinii (O2), Argoonii (Ar), Gaazota Filooriin of keessaa qaban fi kkf.

**Aangoo RF** | Filannoowwan qindeessaa humnaa fi firikuweensii adda addaa kan adeemsa addaa barbaachisu (fkn, 13.56 MHz ykn 2.45 GHz [Microwave]) wajjin walsimu ni dhiheessa.

**Iddoowwan Iyyannoo**

Raawwii addaa fi jijjiirama isaa fayyadamuun, IoN 200 dameewwan omishaa sadarkaa olaanaa adda addaa keessatti gahee olaanaa qaba.

**Oomisha Semiconductor (Front-end):** Yeroo adeemsa wafer fabrication photoresist ashing/stripping gochuuf kan oolu; adeemsa akka ayoon kaa’uu hordofuun footorezist balleessuuf; akkasumas faalama orgaanikii fi inorganik fuula weefar irraa dhabamsiisuuf.

**Advanced Packaging (Back-end):** Wayyaa hidhachuu, die attach, fi underfilling dura substrate fi chip surfaces activate fi qulqulleessuuf kan qacarame yoo ta’u, kanaanis bu’aa adhesion fi filling isa gaarii ta’e mirkaneessa.

**MeMS fi Meeshaalee Optoelektirooniksii:** Oomisha MEMS fi qaamolee optoelektirooniksii keessatti kan itti fayyadaman laayiyeroota aarsaa ykn haftee footorezist balleessuuf-fakkeenyaaf, SU-8 photoresist balleessuu.

**Industrii Biroo:** Qajeeltoowwan teeknooloojii isaa bu’uuraa dameewwan akka saayinsii jireenyaa, teeknooloojii yaalaa, elektirooniksii konkolaataa, fi aerospace irrattis raawwatiinsa kan qaban yoo ta’u, amanamummaa fi raawwii oomishaa guddisuuf kan tajaajiludha.

**Cuunfaa**

Walumaagalatti, PVA TePla IoN 200 sirna adeemsa pilaasmaa cimaa ta’ee fi adeemsa adda ta’e kan jijjiiramuudha. Qulqullina qulqullina olaanaa qabu, photoresist buqqisuu, fi surface activation irratti raawwii olaanaa kan kennu yoo ta’u, keessumaa R&D laabraatoorii fi naannoo oomishaa giddu galeessaa substrates 200mm fi isaa gadi hirmaachisuuf akka gaariitti kan mijatu taasisa. Dizaayiniin moojuularii isaa kan jijjiiramaa fi raawwiin isaa cimaan damee semiconductor, microelectronics, fi paakeejii sadarkaa olaanaa keessatti furmaata amanamaa ta’ee isa hundeessa.