Meeshaalee Hojiirra Oolchan Sirna Elektirooplatiingii Semikondaaktarii Raider® Edge ECD

Sirni ECD Raider® Edge Applied Materials damee elektirookeemikaalaa kuufama (ECD) oomisha semiconductor keessatti akka ulaagaatti dhaabbata. Bu’aa walitti makamuu teeknooloojii Applied Materials’ Semitool argachuu isaa hordofee kan argame yoo ta’u, sirni kun adeemsa walqunnamtii qaphxii sadarkaa olaanaa fi sadarkaa wafer keessatti bal’inaan kan bobba’e yoo ta’u, kunis kan adda ta’e, jijjiirama olaanaa, bu’aa olaanaa, fi to’annoo adeemsaa adda ta’een.

**Iddoo Sirnaa**

**Dhaabbanni:** Meeshaalee Hojiirra Oole, Inc.

**Moodeela Omishaa:** Raider® Edge ECD

**Akkaataa Meeshaa:** Sirna Elektirookeemikaalaa Kuufama Golee Hedduu Wafer Tokko-Ofumaan

**Hiika Seenaa:** "Industry Benchmark" kan damee teeknooloojii single-wafer plating irratti beekamaa ta'e. Meeshaalee ECD weefer tokkoo dhaloota afraffaan bakka bu’a; kan isa duraa sirni Raider GT jalqaba irratti guddina teeknooloojii chippii dhaloota sadii deeggaruuf kan qophaa'e ture.

**Dudhaalee Ijoo**

Kuufamni elektirookeemikaalaa kaarentii elektirikii fayyadamuun ayoonota sibiilaa gara fuula weefar irratti hir’isuu, kanaanis fiilmii haphii addaa uumuu of keessaa qaba. Sirni Raider Edge ECD plating salphaa bira darbee deema; karaa sirna to’annoo ulfaataa ta’een adeemsi kun sirritti sadarkaa atoomikaa akka galmaan ga’u dandeessisa. Kana malees, sirnichi tarkaanfiiwwan adeemsa jiidhaan adda addaa kanneen akka wafer etching fi cleaning ni deeggara.

**Amaloota fi Faayidaa**

Humna isaa dandeettii hojiiwwan istaandaardii pilaatiingii raawwachuu qofa osoo hin taane, caalaatti kan argamu haala addaa, to’annoo adeemsa sirrii, fi dizaayinii ofumaan hojjetu olaanaa ta’uu isaati.

**Amala/Faayidaa** | **Ibsa Bal'aa**

**Adeemsa Daddabbii** | 150mm, 200mm, fi 300mm dabalatee safara wafer adda addaa hojjechuu kan danda’u; tartiiba adeemsa jiidhaan tarkaanfii hedduu weefar irratti, sibiilota kuufamuu, etching, fi qulqulleessuu dabalatee ni deeggara.

**Deeggarsa Meeshaalee Bal'aa** | Kuufama sibiilotaa fi alayidii bal’aa, kan akka sibiila diimaa, niikeelii, warqee, tin-meetii, alayidii maagneetii, fi warqee-tin yuutektiik sooldiroota ni deeggara. Akkasumas meeshaalee addaa kan akka CZT fi AlN tiif multi-layer stack etching ni deeggara.

**To'annoo Adeemsa Sadarkaa Ol'aanaa** | Laayiyeroota sanyii baay’ee haphii ykn mormii qaban irratti illee, foolii walfakkaataa galmaan ga’uuf tarree anoodii zoonii hedduu qacara. Weefroota 300mm irratti, riyaaktariin golee isaa fooyya’e, walfakkaata kuufama mirkaneessuuf, dhangala’aa ammee daayinamiikiidhaan sirreessuu danda’a.

**Bu'aa Ol'aanaa & Baasii Xiqqaa** | "Teachless" precision automation yeroo hojii dhaabuu safartuu harkaan walqabatee jiru kan dhabamsiisu yoo ta'u, teeknooloojiin ayoon meembraanii ammoo umurii dhiqannaa keemikaalaa dheeressa, kunis baasii hojii baayyee gadi aanaa ta'e argamsiisa. Dabalataanis, miila isaa kompaaktii dandeettii oomishaa waliigalaa bu’a qabeessa ta’een guddisa. **Babal’ina Teeknooloojii Abbaa Qabeenyaa:** Sirni isaa dura ture, sirni Raider GT, hanga golee pilaating ja’a kan deeggaru yoo ta’u, moojuulota filannoo annealing ykn metrology, akkasumas golee walitti makaman kan qarqara wafer, bevel, fi backside qulqulleessuuf kan dhiyeessu ture.

**Iddoowwan Iyyannoo**

**Advanced Packaging & Interconnects:** Oomisha chippii keessatti guutinsa walqunnamtii sibiila diimaatiif kan oolu yoo ta’u, guutinsa void-free ta’e mirkaneessa; akkasumas utubaawwan sibiila diimaa, bu’aa sooldirii (sooldirii liidiin irraa bilisa ta’e dabalatee), fi laayiyeroota irra deebiin raabsuu (RDL) paakeejii sadarkaa weefar keessatti kuufamuuf itti fayyadama.

**Oomisha Meeshaalee Addaa:** Meeshaalee akka MEMS fi sensaroota keessatti sibiilota dachaa hedduu kuufamuuf kan oolu; TSV (Through-Silicon Vias) fi TGVs (Through-Glass Vias) tiif guutinsa sibiila diimaa qulqullina olaanaa qabu ni kenna.

**Power & Compound Semiconductors:** Meeshaalee humnaa keessatti sibiila diimaa furdaa kuufamuuf, akkasumas wafer haphii irratti sibiilaa duubaa dhiibbaa xiqqaa qabuuf kan ooludha.

**Adeemsa Addaa Biroo:** Karaa laayinara ykn kompaawundoota ozoonii irratti hundaa’an fayyadamuun warqee qulqulleessuu kan danda’u; multi-layer stack etching raawwachuu danda'a-dandeettii etching aadaa UBM (Under Bump Metallization) irra darbee.

**Ibsa Teeknikaa**

**Deeggarsa Safara Waafer:** 150mm, 200mm, 300mm

**Baay'ina Moojuulota Plating:** Moodeelotni bu'uuraa moojuulota hedduu ni deeggaru; moodeelonni sadarkaa olaanaa qaban hanga 6 keessummeessuu danda’u.

**Plating Uniformity:** Industirii keessatti adda duree (daataan addaa hin kennamne).

**Meeshaalee Deeggaraman:** Cu (Kopparii), Au (Warqee), SnAg (Tin-Silver), Ni (Nickel), alayidii maagneetii, AuSn (Warqee-Tin Yuutektikii), fi kkf.

**Dandeettii Adeemsaa:** Kuufama sibiila diimaa furdaa hanga 100μm, caasaa High Aspect Ratio (HAR) guutuu, fi noodota Critical Dimensions (CD) 22nm gadi ta’aniif guutuu ni deeggara.

**Sadarkaa Ofumaan:** Guutummaatti ofumaan kan hojjetu, arkiteekcharii golee hedduu kan kilaastara irratti hundaa’e; pirootokoolota otoomaatikii warshaa kan akka SECS/GEM ni deeggara; SMIF fi FOUP wafer transfer pods wajjin kan walsimu.

Walbira qabamee yoo ilaalamu ACM ULTRA ECP ap-p

Akka taphataa ijoo damee meeshaalee semiconductor plating, sirni kun ACM Research ULTRA ECP ap-p-moodeela kanaan dura waa'ee isaa gaafatte irraa baay'ee adda ta'ee bakka qaba. Filannoon lamaan gidduu jiru dhumarratti adeemsa addaa barbaaddu irratti hundaa’a.

**Dimensions Walbira Qabsiisuu** | **Meeshaalee Hojiirra Oolchan Raider Edge ECD** | **Qorannoo ACM ULTRA ECP ap-p**

**Teeknooloojii Ijoo** | Waafers tokko irratti sirritti ol'aanaa plating irratti xiyyeeffata | Teeknooloojii boqonnaa horizontal plating kan substrates sadarkaa paanaalii

**Target Substrate** | 150mm – 300mm wafers | Paanaalii 510mm x 515mm ta'a

**Faayidaa Ijoo** | Ulaagaa industirii; bilchina teeknooloojii olaanaa; foddaa adeemsa bal'aa | Qaawwa industirii ni guuta; sadarkaa paanaaliitti oomisha jumlaa baasii xiqqaa qabu dandeessisa

**Xiyyeeffannoo Adeemsaa** | Adeemsa walqunnamtii fuulduraa waliin walitti makamuu walxaxaa cimsa | Addatti Paakeejii Sadarkaa Paaneliin Faan-Out (FOPLP) tiif kan qophaa’e

Ciminni dhugaa Raider Edge ECD jijjiirama isaa keessa jira: jalqaba irratti teeknooloojiin walqunnamtii sibiila diimaa noodi 22nm irratti fayyadamu yoo ta'u, gara waltajjii baay'ee baay'ee fayyadamuu danda'u kan adeemsa addaa bal'aa deeggaru danda'utti jijjiirameera-meeshaalee maagneetii irraa kaasee hanga paakeejii sadarkaa olaanaatti-kanaanis guddina gadi fagoo isaa agarsiisa.