Nitto DR3000III semiikondaaktarii weefar kaa'uu

Kun seensa bal'aa NEL SYSTEMTM DR3000III Nitto Denko irraa argamedha. Maashinii teeppii eegumsa weefrii guutummaatti ofumaan hojjetu yoo ta'u, oomisha semiconductor keessatti gahee olaanaa qaba.

Qindeessituu Ijoo fi Ijaarsa Teeknikaa

Ispeesifikeeshiniiwwan teeknikaa ijoo DR3000III kanneen armaan gadiiti:

Ispeesifikeeshinii/Paarameetaroota Wantootaa

Gosa Meeshaa: Teeppii ittisaa guutummaatti ofumaan hojjetu kan 300mm wafers

Guddina Wafer hojiirra oolu: 300mm (inchii 12) / 200mm (inchii 8)

Fulbaana Wafer hojiirra oolu: 400μm fi isaa ol

Bu'aa: 68 wafers/sa'aatii

Teeknooloojii Fayyadama Teeppii: Mala to’annoo aplikeeshinii dhiphina irraa bilisa ta’e walitti makame

Istaandardii Walsimsiisu: Mallattoo CE fi ibsa SEMI S2/S8 guuta

Hubadhaa: Ispeesifikeeshiniiwwan armaan olii weefar, teeppii fi haalawwan biroo irratti hundaa’uun jijjiiramuu kan danda’an yoo ta’u, amaloota filannoos of keessaa qabaachuu danda’u.

Amaloota Ijoo fi Faayidaa

Amaloonni humna guddaa qaban DR3000III dirree omisha sirritti adda isa taasisa:

Teeknooloojii Appilikeeshinii dhiphina irraa bilisa ta’e: Kun faayidaa teeknooloojii ijoo isaa keessaa isa tokkodha. Lamination dura dhiphina teeppii xiqqeessuun erga back-side grinding booda wafer warpage bu'a qabeessa ta'een to'ata, kunis wafers guddaa, ultra-thin qabachuuf murteessaadha.

To’annoo lamineeshinii dhiibbaa xiqqaa: Meeshaan kun hidhata dhiibbaa xiqqaa fi to’annoo dhiibbaa maxxanuu kan qabu yoo ta’u, balaa miidhaa paateennii weefar yeroo lamineeshinii baay’ee hir’isa.

Walsimsiisaa wafer: Waafer 300mm tiif kan qophaa’e yoo ta’u, wafer 200mm wajjin duubatti kan walsimu yoo ta’u adeemsa addaa kan deeggaru yoo ta’u, amaloota filannoo kan akka minjaala chuck ho’aa (Max 100°C) fi rollers ho’aa (Max 60°C) qaba. Kana malees, wafers bumped fi wafers sadarkaa warpage murtaa'e qaban haala bu'a qabeessa ta'een qabata.

Otoomaatikii fi sammuu olaanaa: Meeshaan kun kanneen armaan gadii qaba:

Qabduu meeshaa ofumaan: Kaasetoota weefar fuulduraan banaman (FOUP) / kaaseetoota banaa kan deeggaru yoo ta’u, harka roobootii ofumaan guutummaatti fe’uu fi buusuuf kan ijaarame qaba.

Hiriirsa sirrii: Sirrummaa laminaashinii mirkaneessuuf sirna qindaa’ina CCD tuttuqaa hin qabne qacara.

Hordoffii Intelligent: Faankishinii faayilii galmee hordoffii deetaa wajjin kan hidhate; teeppii sagging detection malfunctions ittisa. Iskaanarri kaartaa weefar filannoo ta'e sakatta'iinsa meeshaa ofumaan dhufu dandeessisa.

Istaandardii Industirii Ol’aanaa kan eegu: Meeshaan kun istaandaardii nageenyaa fi naannoo SEMI S2/S8 kan eegu yoo ta’u, sirna otoomaatikii warshaa semiikondaaktarii ammayyaa keessatti haala wal hin tuqneen walitti makamuuf pirootokoolota qunnamtii filannoo SECS/GEM waliin kan argamudha.

Hojii Fayyadamtootaaf Mijatu: Iskiriiniin tuqaalee guddaan dalagaa qophii nyaataa wajjin walitti makame hojii salphaa fi hubannoo akka qabaatu taasisa. Fayyadamtoonni qindaa'inoota paarameetira hunda ofumaan xumuruuf qophii nyaataa oomisha walgitu waamuu qofa qabu.

Qajeelfama Hojii: Adeemsa duubatti qama’uu dura, DR3000IIIn yeroo saffisa guddaan itti aanutti ciruutti miidhaa makaanikaa ykn faalama keemikaalaa gama fuulduraa weeferichaa irratti akka hin miidhamneef mala dhiphina irraa bilisa ta’e fayyadamuun teeppii eegumsaa cinaacha weefarichaa irratti sirritti maxxansa.

Naannoowwan Hojiirra Oolmaa: DR3000IIIn adda durummaan naannoowwan ijoo armaan gadii keessatti fayyadama:

Oomisha Semiconductor: Chiipsii loojikii fi chiipsii mimoorii (DRAM, NAND Flash fi kkf): Adeemsa sadarkaa olaanaa keessatti caasaa sarkiyuutii micciiramaa gama fuulduraa weefar irratti argamu eeguu. Paakeejii Sadarkaa Ol’aanaa: Yeroo adeemsa qaphxii sadarkaa weefer 300mm guddachaa dhufe (Fan-In WLP, Fan-Out WLP, fi kkf) keessatti eegumsa weefaraa ni kenna.

MEMS fi Sensaroota: Yeroo adeemsa qallachuu gama duubaatiin caasaa maaykiroomakaanikaal fi naannoo sensaraa ni eega.

Meeshaalee Humna Semiconductor: Meeshaalee humnaa kan akka IGBT fi MOSFETs wafers adeemsisa, on-resistance hir’isuu fi ho’a karaa qallachuu fooyyessa.

Meeshaalee Biroo Waliin Tumsa: Sararoota paakeejii semiikondaaktarii irratti, DR3000III akkaataa idileetti meeshaalee armaan gadii waliin ta’uun hojjeta:

Meeshaalee Iyyannoo Fiilmii waliin tumsa: Adeemsa qallachuu duraa fi booda meeshaa teeppii balleessu Nitto NEL-MA3000-III waliin ta’uun hojjeta. DR3000III jalqaba teeppii ittisaa kan dibatu yoo ta’u, yeroo qalla’u weefar akka hin miidhamneef; erga qalla’ee booda, NEL-MA3000-III teeppii eegumsaa sirritti ni balleessa, kunis adeemsa hunda keessatti qulqullinaa fi nageenya weefarii baay’ee qalla’aa ta’e mirkaneessa.

Meeshaalee Polishing waliin tumsa: Akka tarkaanfii ittisaa tokkootti maashinii polishing waliin walitti dhiyeenyaan hojjeta. Wafers DR3000IIIn fiilmii ittisaa erga dibamee booda, sana booda gara maashinii cirrachaa cinaacha duubaatiin qallachuuf nyaachifama, kunis nageenyaafi tasgabbii adeemsa cirrachaa amanamummaadhaan mirkaneessa.

Walumaagalatti, Nitto DR3000III sirna eegumsa wafer adda ta'e, ofumaan hojjetuu fi ga'umsa olaanaa qabuudha. Karaa teeknooloojii fiilmii lamination tension-free isaatiin, dhimmoota waliigalaa warping fi chipping adeemsa back-side thinning keessatti wafers safara guddaa wajjin mudatan bu'a qabeessa ta'een furmaata kenna. Industirii semiikondaaktarii keessatti gahee olaanaa kan qabu yoo ta’u, oomishaa fi amanamummaa oomisha chiipsii sadarkaa olaanaa mirkaneessuuf meeshaa murteessaa ta’ee tajaajila. Caqasa ykn gaaffii teeknikaa yoo qabaattan, maaloo bakka bu’oota ofiisaa Nitto ykn raabsitoota hayyama qaban Chaayinaa keessa jiran kallattiin qunnamaa.