Curățător de napolitane SCREEN SU-3200

SCREEN SU-3200 este un sistem de curățare cu o singură placă de 300 mm, un reper în industria semiconductorilor. Datorită randamentului său superior și tehnologiei de curățenie de vârf, a servit drept modelul principal al SCREEN pentru o lungă perioadă de timp, susținând fabricarea de cipuri logice și de memorie de la 32nm la 7nm și chiar noduri mai avansate, jucând un rol crucial pe piața echipamentelor de curățare.

Poziționarea principală și prezentarea generală a tehnologiei: Poziționarea principală a SU-3200 este de a crește semnificativ randamentul curățării cu o singură plachetă, menținând în același timp un nivel extrem de ridicat de curățenie, îndeplinind cerințele extreme de eficiență ale proceselor avansate.

Design de mare randament: Prin intermediul unei arhitecturi inovatoare suprapuse pe patru straturi, un singur sistem poate fi configurat cu până la 12 camere de procesare independente, atingând o capacitate de procesare de până la 800 de napolitane pe oră (WPH), ceea ce era lider mondial printre sistemele de curățare cu napolitane individuale la acea vreme.

Mediu de proces ultra-curat: Pentru a îndeplini cerințele stricte ale nodurilor de 22nm și ale celor mai avansate, SU-3200 este echipat cu tehnologia proprie APAC (Advanced Process Atmosphere Control - Control Avansat al Atmosferei de Proces) a SCREEN. Prin optimizarea mediului camerei pe mai multe dimensiuni, se asigură curățenia maximă a procesului de curățare.

Detalii tehnice cheie: Pentru a atinge obiectivele duble de randament și curățenie, SU-3200 utilizează o serie de designuri inovatoare, detaliate în tabelul de mai jos:

Dimensiunea Tehnologiei | Numele Tehnologiei | Funcția de bază și metoda de implementare

Îmbunătățire revoluționară a capacității | Cameră compactă | Reduce volumul unei singure camere de procesare la jumătate față de predecesorul său, făcând posibilă implementarea mai multor camere în același spațiu, crescând astfel debitul pe unitatea de suprafață.

Sistem de transfer de mare viteză | Optimizează logica și viteza de transfer a napolitanelor între camere, un suport cheie pentru atingerea unui randament ridicat de 800 napolitane/oră (WPH).

Asigurarea curățeniei | Tehnologie APAC | Tehnologia camerei ultra-curate este un termen colectiv pentru o serie de tehnologii. Subtehnologiile sale principale includ:

Microcameră AMC: Reducerea volumului intern al camerei la o treime față de predecesorul său, permițând o înlocuire mai rapidă a gazului și îmbunătățind eficient curățenia mediului.

Deflector de echilibrare a fluxului de aer ABG: Folosit pentru a uniformiza fluxul de aer curat, suflat de filtrul de particule de înaltă eficiență (FFU) superior, prevenind vârtejurile sau zonele moarte din cameră și asigurând îndepărtarea eficientă a particulelor.

Protecție avansată ASP împotriva stropirii: Prin design precis, minimizarea stropirii chimice în timpul pulverizării chimice, asigurând un mediu curat de procesare a napolitanelor.

Duză de protecție a aerului APN: Utilizează o „perdea de aer” în timpul etapei de uscare pentru a proteja suprafața napolitanei și a preveni petele de apă cauzate de reziduurile de evaporare a lichidului.

Aprovizionare flexibilă cu substanțe chimice: Sursele de substanțe chimice pot fi aranjate flexibil. Sunt disponibile atât sisteme de injecție directă dinamică (DDI), cât și sisteme de tip dulap, permițând clienților să aleagă flexibil în funcție de cerințele specifice ale procesului.

Ușurință în întreținere: Structură extensibilă: Camera de procesare poate fi trasă afară ca un sertar pentru o curățare ușoară, înlocuirea componentelor și alte lucrări de întreținere, reducând eficient timpul de nefuncționare al echipamentelor. Domenii de aplicare: De la cercetare și dezvoltare de ultimă generație până la producție matură

SU-3200 are o gamă largă de aplicații, acoperind mai multe etape cheie ale fabricării semiconductorilor.

Cipuri avansate pentru logică și memorie: SU-3200 este utilizat în cercetarea și dezvoltarea și producția de cipuri, inclusiv noduri de 7nm și mai avansate, atât în ​​procese front-end (FEOL), cât și în procese back-end (BEOL).

Materiale și procese semiconductoare cheie: Printre numeroasele procese pe care le susține se numără curățarea materialelor semiconductoare de a treia generație, cum ar fi SiC (carbură de siliciu) și GaN (nitrură de galiu).

Cercetare de ultimă generație și colaborare în ecosisteme: Performanța puternică a SU-3200 îl face alegerea instituțiilor de cercetare și dezvoltare de top din întreaga lume. De exemplu, IBM a implementat SU-3200 la centrul său de cercetare a semiconductorilor din Albany, New York. În plus, SCREEN a încheiat un parteneriat cu Applied Materials, instalând SU-3200 la Centrul său META pentru dezvoltarea unor procese de cip mai avansate.

Poziția pe piață și contribuțiile istorice

SU-3200 nu este doar un produs de succes, ci și un factor cheie în consolidarea poziției de lider de piață a SCREEN.

Dominația pieței: În urma succesului modelului SU-3200, SCREEN și-a consolidat poziția de lider în domeniul echipamentelor de curățare. Conform datelor oficiale SCREEN, începând cu iulie 2025, livrările cumulative de echipamente de curățare a semiconductorilor au depășit 15.000 de unități, deținând cota de piață numărul unu la nivel global în mai multe segmente, inclusiv curățarea cu o singură napolitană, curățarea în loturi și curățarea prin centrifugare.

Pilonul de venituri: Multă vreme, SU-3200 a fost produsul vedetă al SCREEN, iar veniturile din domeniul echipamentelor de curățare au depins în mare măsură de acest model.