Curățător de napolitane SEMES BLUEICE PRIME

BLUEICE PRIME de la SEMES este un sistem complet automatizat de curățare a unei singure plachete de 300 mm, conceput pentru logica tehnologiei avansate de proces (LPT) și fabricarea de cipuri de memorie. Dezvoltat și fabricat de SEMES, un furnizor principal de echipamente din cadrul Samsung Electronics, acesta este un echipament esențial pentru îmbunătățirea randamentelor producției de masă a proceselor de ultimă generație, cum ar fi 2nm.

Performanța de bază: Echilibrarea proceselor avansate și a capacității

Performanță superioară a procesului: Capabil să îndepărteze particule la nivelul de 19 nm, îmbunătățind semnificativ uniformitatea gravării cu peste 40%.

Design de capacitate de înaltă eficiență: Fiind un sistem de curățare cu o singură napolitană de 300 mm, acesta gestionează peste 500 de napolitane pe oră (WPH), îndeplinind eficient cerințele producției de masă la scară largă.

Caracteristici tehnice: Mai multe modele inovatoare dezvoltate independent

Proces inovator de acid fosforic la temperatură înaltă: Procesul său principal utilizează acid fosforic la temperatură înaltă pentru gravarea și dezizolarea napolitanelor. Controlul precis al pulverizării și al temperaturii reduce eficient dispersia procesului și ratele de defecte, îmbunătățind semnificativ randamentele cipurilor de 2 nm.

**Mandrină pentru temperaturi înalte, dezvoltată independent:** Această tehnologie îmbunătățește uniformitatea temperaturii în timpul încălzirii napolitanelor, reduce semnificativ defectele de proces și depășește limitele metodelor tradiționale de curățare umedă.

**Control complet al contaminării:** Camera NIC (Non-Interaction Clean - curățare fără interacțiune) previne eficient contaminarea încrucișată, combinată cu tehnologia SF-Aerosol (picături de mare viteză/uniforme) pentru curățare fizică.

**Sistem inteligent extrem de integrat:** Echipat cu APAC, AIS (Sistem automat de detectare) și SEAS (Sistem inteligent de analiză a echipamentelor), acesta realizează un control precis al fluxului și o analiză inteligentă a stării echipamentelor.

**Domenii de aplicare:** Cu sediul la Samsung, deservim clienți de top la nivel global.

BLUEICE PRIME vizează în principal turnătorii de cipuri logice de top la nivel global și producători de memorie. Profitând de statutul companiei-mamă SEMES ca filială a Grupului Samsung, acest echipament este profund integrat în cele mai avansate linii de producție pentru fabricarea de napolitane ale Samsung. Soluția sa de curățare umedă formează un ecosistem complet cu alte echipamente front-end de bază, cum ar fi litografia (seria OMEGA) și gravarea (seria MICHELAN). Este demn de remarcat faptul că SEMES și-a extins domeniul de activitate la întregul domeniu de producție HBM (High Bandwidth Memory), dezvoltând și producând în masă cu succes o mașină de lipire termică (TC Bonder) pentru stivuirea cipurilor HBM.

În concluzie, BLUEICE PRIME demonstrează puterea tehnologică profundă a SEMES în domeniul echipamentelor semiconductoare. Este o parte crucială a eforturilor Grupului Samsung de a-și consolida poziția de lider global în tehnologiile avansate de procesare și un instrument cheie care susține producția de ultimă generație sub 2 nm.