SEMES средство за чишћење вафла BLUEICE PRIME

СЕМЕСОВ БЛУИЦ ПРАЙМ је потпуно аутоматизовани систем за чишћење појединачних плочица од 300 мм, дизајниран за производњу логике напредне процесне технологије (ЛПТ) и меморијских чипова. Развијен и произведен од стране СЕМЕС-а, главног добављача опреме у оквиру компаније Самсунг Електроникс, кључни је део опреме за побољшање приноса масовне производње најсавременијих процеса као што је 2нм.

Основне перформансе: Балансирање напредних процеса и капацитета

Врхунске перформансе процеса: Способан је да уклони честице на нивоу од 19 нм, значајно побољшавајући уједначеност нагризања за преко 40%.

Дизајн високог ефикасног капацитета: Као систем за чишћење појединачних плочица од 300 мм, обрађује преко 500 плочица на сат (WPH), ефикасно задовољавајући захтеве масовне производње великих размера.

Техничке карактеристике: Више независно развијених иновативних дизајна

Иновативни процес са фосфорном киселином на високим температурама: Његов основни процес користи фосфорну киселину на високим температурама за нагризање и скидање слоја плочице. Прецизна контрола прскања и температуре ефикасно смањује дисперзију процеса и стопу дефеката, значајно побољшавајући принос чипова од 2 nm.

**Независно развијена стезна глава за високе температуре:** Ова технологија побољшава уједначеност температуре током загревања плочице, значајно смањује процесне недостатке и превазилази ограничења традиционалних метода влажног чишћења.

**Свеобухватна контрола контаминације:** Комора NIC (Non-Interaction Clean) ефикасно спречава унакрсну контаминацију, у комбинацији са SF-Aerosol (велика брзина/униформне капљице) технологијом за физичко чишћење.

**Високо интегрисани интелигентни систем:** Опремљен APAC-ом, AIS-ом (системом за аутоматско детектовање) и SEAS-ом (системом за анализу паметне опреме), постиже прецизну контролу протока и интелигентну анализу статуса опреме.

**Области примене:** Са седиштем у компанији Samsung, услужујемо водеће глобалне клијенте.

БЛУИЦ ПРАЙМ је првенствено усмерен ка водећим светским ливницама логичких чипова и произвођачима меморије. Користећи статус своје матичне компаније СЕМЕС као подружнице Самсунг групе, ова опрема је дубоко интегрисана у најнапредније производне линије Самсунга за производњу плочица. Њено решење за мокро чишћење формира комплетан екосистем са другом основном опремом на фронт-енду, као што су литографија (ОМЕГА серија) и нагризање (МИШЕЛАН серија). Вреди напоменути да је СЕМЕС проширио свој пословни обим на целокупно подручје производње ХБМ-а (меморије великог пропусног опсега), успешно развивши и масовно производећи машину за термичко спајање (ТЦ Бондер) за слагање ХБМ чипова.

Укратко, BLUEICE PRIME демонстрира SEMES-ову дубоку технолошку снагу у области полупроводничке опреме. То је кључни део напора Samsung групе да учврсти своју позицију глобалног лидера у напредним процесним технологијама и кључног алата који подржава најсавременију производњу испод 2nm.