Монтер полупроводничких плочица Nitto DR3000III

Ово је детаљан увод у NEL SYSTEM™ DR3000III компаније Nitto Denko. То је потпуно аутоматизована машина за наношење заштитних трака на плочице која игра кључну улогу у производњи полупроводника.

Основна конфигурација и техничке спецификације

Главне техничке спецификације DR3000III су следеће:

Спецификације/параметри ставке

Тип опреме: Потпуно аутоматизовани апликатор заштитне траке за плочице од 300 мм

Применљива величина плочице: 300 мм (12 инча) / 200 мм (8 инча)

Применљива дебљина плочице: 400μm или дебља

Пропусност: 68 плочица/сат

Технологија наношења траке: Интегрисани механизам за контролу наношења без затезања

Компатибилни стандарди: Испуњава CE ознаку и SEMI S2/S8 спецификације

Напомена: Горенаведене спецификације подложне су променама на основу услова плочице, траке и других услова, а могу укључивати и опционе функције.

Кључне карактеристике и предности

Моћне карактеристике DR3000III издвајају га у области прецизне производње:

Технологија наношења без затезања: Ово је једна од њених основних технолошких предности. Минимизирање затезања траке пре ламинирања ефикасно контролише савијање плочице након брушења задње стране, што је кључно за руковање великим, ултратанким плочицама.

Контрола ламинације са ниским напоном: Опрема поседује везивање са ниским напоном и контролу лепљивог напона, значајно смањујући ризик од оштећења шаблона плочице током ламинације.

Компатибилност са плочицама: Иако је дизајниран за плочице од 300 мм, уназад је компатибилан са плочицама од 200 мм и подржава посебне процесе са опционим карактеристикама као што су загрејани сто за стезање (макс. 100°C) и загрејани ваљци (макс. 60°C). Штавише, ефикасно рукује неравним плочицама и плочицама са одређеним степеном искривљења.

Висока аутоматизација и интелигенција: Опрема је опремљена са:

Аутоматизовано руковање материјалом: Подржава касете са плочицама које се отварају спреда (FOUP) / отворене касете, са уграђеном роботском руком за потпуно аутоматизовано утоваривање и истовар.

Прецизно поравнање: Користи бесконтактни CCD систем за поравнање како би се осигурала тачност ламинације.

Интелигентно праћење: Опремљен функцијом евиденције података за праћење података; детекција опуштања траке спречава кварове. Опциони скенер за мапирање плочица омогућава аутоматску инспекцију улазног материјала.

У складу са високим индустријским стандардима: Опрема је у складу са SEMI S2/S8 безбедносним и еколошким стандардима и доступна је са опционим SECS/GEM комуникационим протоколима за беспрекорну интеграцију у модерне системе аутоматизације фабрика полупроводника.

Једноставно коришћење: Велики екран осетљив на додир у комбинацији са функцијом рецепта чини руковање једноставним и интуитивним. Корисници треба само да позову рецепт за одговарајући производ да би аутоматски завршили сва подешавања параметара.

Принцип рада: Пре процеса брушења са задње стране, DR3000III прецизно лепи заштитну траку на шарену страну плочице користећи метод без затезања како би се спречило механичко оштећење или хемијска контаминација предње стране плочице током накнадног брушења великом брзином.

Области примене: DR3000III се првенствено користи у следећим кључним областима:

Производња полупроводника: Логички чипови и меморијски чипови (DRAM, NAND Flash, итд.): Заштита осетљиве структуре кола на предњој страни плочице у напредним процесима. Напредно паковање: Обезбеђује заштиту плочице током све већих процеса паковања на нивоу плочице од 300 мм (Fan-In WLP, Fan-Out WLP, итд.).

MEMS и сензори: Штити микромеханичке структуре и подручја сензора током процеса стањивања задње стране.

Полупроводнички уређаји за напајање: Обрађује плочице за уређаје за напајање као што су IGBT и MOSFET, смањујући отпорност у укљученом стању и побољшавајући одвођење топлоте кроз стањивање.

Сарадња са другом опремом: На линијама за паковање полупроводника, DR3000III обично ради заједно са следећом опремом:

Сарадња са опремом за наношење филма: Ради у комбинацији са опремом за уклањање траке Nitto NEL-MA3000-III пре и после процеса стањивања. DR3000III прво наноси заштитну траку како би заштитио плочицу од оштећења током стањивања; након стањивања, NEL-MA3000-III прецизно уклања заштитну траку, осигуравајући интегритет и безбедност ултратанке плочице током целог процеса.

Сарадња са опремом за полирање: Тесно сарађује са машинама за полирање као заштитни корак. Након што DR3000III премаже плочице заштитним филмовима, оне се затим убацују у машину за брушење ради стањивања задње стране, поуздано осигуравајући безбедност и стабилност процеса брушења.

Генерално, Nitto DR3000III је високо специјализован, аутоматизован и високо ефикасан систем за заштиту плочица. Захваљујући технологији ламинације филма без затезања, ефикасно решава уобичајене проблеме савијања и крзања који се јављају код плочица великих димензија током процеса стањивања задње стране. Игра кључну улогу у полупроводничкој индустрији, служећи као кључни део опреме за обезбеђивање приноса и поузданости напредне производње чипова. За понуде или техничке упите, обратите се директно званичним представницима или овлашћеним дистрибутерима компаније Nitto у Кини.