SEMES waferrengöring BLUEICE PRIME

SEMES BLUEICE PRIME är ett 300 mm helautomatiskt rengöringssystem för enskilda wafers, utformat för avancerad processteknik (LPT) för logik och minneschiptillverkning. Utvecklad och tillverkad av SEMES, en kärnutrustningsleverantör till Samsung Electronics, är det en viktig utrustningsdel för att förbättra massproduktionsutbytet från banbrytande processer som 2nm.

Kärnprestanda: Balansering av avancerade processer och kapacitet

Överlägsen processprestanda: Kan avlägsna partiklar på 19 nm-nivå, vilket avsevärt förbättrar etsningens jämnhet med över 40 %.

Högeffektiv kapacitetsdesign: Som ett 300 mm rengöringssystem för en enda wafer hanterar det över 500 wafers per timme (WPH), vilket effektivt uppfyller kraven för storskalig massproduktion.

Tekniska funktioner: Flera oberoende utvecklade innovativa designer

Innovativ högtemperaturfosforsyraprocess: Kärnprocessen använder högtemperaturfosforsyra för etsning och strippning av wafers. Exakt kontroll av sprutning och temperatur minskar effektivt processspridning och defektfrekvenser, vilket avsevärt förbättrar 2nm-chiputbytet.

**Oberoende utvecklad högtemperaturchuck:** Denna teknik förbättrar temperaturjämnheten under waferuppvärmning, minskar processdefekter avsevärt och övervinner begränsningarna med traditionella våtrengöringsmetoder.

**Omfattande kontamineringskontroll:** NIC-kammaren (Non-Interaction Clean) förhindrar effektivt korskontaminering, i kombination med SF-Aerosol-teknik (höghastighets-/jämn droppbildning) för fysisk rengöring.

**Mycket integrerat intelligent system:** Utrustat med APAC, AIS (automatiskt detektionssystem) och SEAS (smart utrustningsanalyssystem) uppnår det exakt flödeskontroll och intelligent analys av utrustningens status.

**Användningsområden:** Baserat på Samsung, med globala ledande kunder.

BLUEICE PRIME riktar sig främst till ledande globala logikchipsgjuterier och minnestillverkare. Genom att utnyttja moderbolaget SEMES status som ett dotterbolag till Samsung Group är denna utrustning djupt integrerad i Samsungs mest avancerade produktionslinjer för waferfabriker. Dess våtrengöringslösning bildar ett komplett ekosystem med annan central front-end-utrustning som litografi (OMEGA-serien) och etsning (MICHELAN-serien). Det är värt att notera att SEMES har utökat sitt affärsområde till hela HBM-tillverkningsområdet (High Bandwidth Memory) och framgångsrikt utvecklat och massproducerat en termisk bindningsmaskin (TC Bonder) för HBM-chipstapling.

Sammanfattningsvis visar BLUEICE PRIME SEMES djupa tekniska styrka inom halvledarutrustning. Det är en avgörande del av Samsung-koncernens ansträngningar att stärka sin position som en global ledare inom avancerad processteknik och ett viktigt verktyg som stödjer banbrytande tillverkning under 2 nm.