สถานีตรวจ ACCRETECH UF3000EX

สถานีตรวจจับสัญญาณไฟฟ้า ACCRETECH UF3000EX เป็นอุปกรณ์ตรวจจับสัญญาณไฟฟ้าสำหรับชิปแต่ละชิ้นบนเวเฟอร์แต่ละแผ่น ออกแบบมาเพื่อรับประกันคุณภาพของผลิตภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ อุปกรณ์นี้ใช้เทคโนโลยีรุ่นต่อไปซึ่งช่วยปรับปรุงกำลังการผลิตได้อย่างมีนัยสำคัญผ่านอัลกอริทึมใหม่และเทคโนโลยีการจัดการเวเฟอร์ แพลตฟอร์มแกน X และ Y ความเร็วสูงและเสียงรบกวนต่ำได้รับประโยชน์จากระบบขับเคลื่อนใหม่ ในขณะที่แกน Z รับประกันความสามารถในการรับน้ำหนักระดับโลกและความแม่นยำสูง โครงสร้างการออกแบบของอุปกรณ์ช่วยขจัดแรงบนระนาบได้อย่างน่าเชื่อถือด้วยการผสมผสานที่ดีระหว่างการออกแบบโครงสร้างและโทโพโลยีที่เหมาะสม นอกจากนี้ ระบบประมวลผลตำแหน่ง OTS ขั้นสูงและระบบจัดตำแหน่งภาพเวเฟอร์สี รวมถึงฟังก์ชันการขยายสูงสุดขนาดเล็กที่ติดตั้งไว้ ทำให้ UF3000EX เป็นอุปกรณ์ที่มีความแม่นยำสูงและใช้งานได้ในอุตสาหกรรม

คุณสมบัติหลัก

ความเร็วสูงและเสียงรบกวนต่ำ: ระบบขับเคลื่อนใหม่ทำให้แพลตฟอร์มแกน X และ Y ทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพและเงียบ

ความแม่นยำสูง: แกน Z รับประกันความสามารถในการรับน้ำหนักระดับโลกและความแม่นยำสูง

การเพิ่มประสิทธิภาพโครงสร้าง: แรงที่เกิดขึ้นบนระนาบจะถูกกำจัดผ่านการผสมผสานที่ลงตัวระหว่างการออกแบบโครงสร้างและโทโพโลยีที่เหมาะสมที่สุด

ระบบการจัดตำแหน่งขั้นสูง: ติดตั้งระบบประมวลผลตำแหน่ง OTS ขั้นสูงและระบบจัดตำแหน่งภาพเวเฟอร์สี พร้อมฟังก์ชั่นขยายภาพสูงสุดที่เล็ก

ความเข้ากันได้: เหมาะสำหรับเวเฟอร์ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางใหญ่ (φ300 มม. สูงสุด 12 นิ้ว) พร้อมระบบปฏิบัติการอัตโนมัติ การตรวจจับที่แม่นยำสูง ปริมาณงานสูง การสั่นสะเทือนต่ำ ฯลฯ

ขอบเขตการใช้งาน

สถานีตรวจสอบ UF3000EX ใช้กันอย่างแพร่หลายในการทดสอบเวเฟอร์ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในสายการผลิต LSI และ VLSI ซึ่งสามารถให้การตรวจจับสัญญาณไฟฟ้าที่มีประสิทธิภาพและแม่นยำเพื่อให้แน่ใจถึงคุณภาพของผลิตภัณฑ์และประสิทธิภาพการผลิต