สถานีตรวจสอบเซมิคอนดักเตอร์ CCRETECH UF200R

ACCRETECH UF200R เป็นเครื่องทดสอบเซมิคอนดักเตอร์แบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบและคุ้มค่าจาก ACCRETECH (ประเทศญี่ปุ่น) สำหรับเวเฟอร์ขนาด 120–200 มม. (5–8 นิ้ว) ใช้สำหรับการทดสอบทางไฟฟ้า (การทดสอบ CP) ของชิปในระดับเวเฟอร์ก่อนการตัดแบ่ง

มันทำอะไรได้บ้าง?

กล่าวโดยสรุป: ก่อนที่แผ่นเวเฟอร์จะถูกตัดแบ่งเป็นชิปแต่ละชิ้น หัววัดจะสัมผัสกับแผ่นรองชิปเพื่อทำการทดสอบทางไฟฟ้า/การทำงาน เพื่อแยกชิปที่ดีและชิปที่ชำรุด ขั้นตอน: การทดสอบเวเฟอร์ (CP)

ขนาดเป้าหมาย: หลักคือ 200 มม. (8 นิ้ว) และยังเหมาะสำหรับเวเฟอร์ขนาด 5/6 นิ้วด้วย

ชิปทั่วไป: ชิปตรรกะ, ชิปอนาล็อก, ชิปกำลังไฟฟ้า, ชิปแบบแยกชิ้น, ชิป MEMS

II. ข้อมูลจำเพาะหลัก (โดยสรุป)

ขนาดเวเฟอร์: 120/150/200 มม. (5–8 นิ้ว)

ความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่ง: ±1.5 μm (XY)

ความเร็วในการเคลื่อนที่:

XY: สูงสุด 300 มม./วินาที

Z: สูงสุด 30 มม./วินาที

ช่วงอุณหภูมิ: -40℃ ～ +150℃ (สามารถควบคุมอุณหภูมิได้)

แท่นวาง: แพลตฟอร์ม Z/θ ที่มีความแข็งแกร่งสูง เข้ากันได้กับเวเฟอร์บางเฉียบ/เวเฟอร์บิดเบี้ยว

การทำงาน: ระบบโหลดและขนถ่ายอัตโนมัติเต็มรูปแบบ การจัดแนวอัตโนมัติ การตรวจสอบด้วยหัววัด

III. หน้าที่หลัก

กระบวนการทดสอบอัตโนมัติเต็มรูปแบบ

การโหลดเวเฟอร์อัตโนมัติ → การจัดตำแหน่งภาพ → การสัมผัสโพรบ → การทดสอบทางไฟฟ้า → การแบ่งส่วนและการบันทึก → การขนถ่ายอัตโนมัติ

ความเข้ากันได้หลายหมวดหมู่

สามารถวัดค่าได้ทั้งหมด ไม่ว่าจะเป็นลอจิกมาตรฐาน อนาล็อก พลังงาน MOSFET ไดโอด ทรานซิสเตอร์ และ MEMS รองรับช่วงอุณหภูมิการทำงานที่กว้างและการทดสอบพิเศษ มีตัวเลือกครบครันสำหรับการทดสอบอุณหภูมิต่ำ/สูง กระแสไมโคร แรงดันสูง ฯลฯ รองรับการประมวลผลเวเฟอร์บางพิเศษ/เวเฟอร์บิดเบี้ยว การดูดซับด้านหลัง + กลไกการจัดการพิเศษ รองรับเวเฟอร์บางพิเศษ (≤50μm) และเวเฟอร์บิดเบี้ยวสูง

IV. ข้อดี (เมื่อเปรียบเทียบกับผลิตภัณฑ์ที่คล้ายคลึงกัน)

อัตราส่วนราคาต่อประสิทธิภาพสูง: ใกล้เคียงกับความแม่นยำและแพลตฟอร์มของ UF2000 ระดับไฮเอนด์ (เช่นเดียวกับ MMI) แต่ในราคาที่ย่อมเยากว่า

ประสิทธิภาพการผลิตสูง: การ์ดความเร็วสูง XY + การ์ดเปลี่ยนพินแบบรวดเร็ว เหมาะสำหรับสายการผลิตขนาด 8 นิ้วที่มีปริมาณมาก

เสถียรและเชื่อถือได้: แพลตฟอร์ม ACCRETECH ที่พัฒนามาอย่างดี บำรุงรักษาง่าย อายุการใช้งานยาวนาน

ความสามารถในการขยายที่ยืดหยุ่น: การออกแบบแบบโมดูลาร์ สามารถเพิ่มอุปกรณ์เสริมในภายหลังได้ เช่น การควบคุมอุณหภูมิ แรงดันไฟฟ้าสูง กระแสไฟฟ้าต่ำ ถังเก็บสองช่อง ฯลฯ

V. การเปรียบเทียบที่พบบ่อย (ช่วยให้คุณค้นหาผลิตภัณฑ์ที่เหมาะสมได้อย่างรวดเร็ว)

UF200R: การผลิตจำนวนมากทั่วไปสำหรับขนาด 8 นิ้ว วงจรลอจิก/แหล่งจ่ายไฟ/วงจรแยกส่วน โดยเน้นความคุ้มค่าเป็นสำคัญ

UF190R: ขนาดกะทัดรัดกว่า เหมาะสำหรับผู้เริ่มต้นใช้งาน และมุ่งเน้นไปที่อุปกรณ์แบบแยกชิ้น/การผลิตจำนวนน้อย

UF2000: เซ็นเซอร์วัดอุณหภูมิระดับไฮเอนด์ขนาด 8 นิ้ว ความแม่นยำสูง ควบคุมอุณหภูมิได้กว้างขึ้น ด้วยเทคโนโลยี MEMS/เทคโนโลยีขั้นสูง

โดยสรุป: UF200R เป็น "สถานีตรวจสอบตัวอย่างที่มีประสิทธิภาพคุ้มค่า" ในตลาดเครื่องทดสอบขนาดกลาง 8 นิ้ว โดยให้ความแม่นยำ ความเร็วสูง ความเสถียร ความทนทาน และความสามารถในการขยาย ทำให้เหมาะสำหรับสายการผลิตขนาด 8 นิ้วที่มีปริมาณมากและหลากหลายชนิด