เครื่อง SRM Z208 เป็นเครื่องจัดการทดสอบระดับได (die-level test handler) แบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบที่ผลิตโดย SRM Integration แทนที่จะจัดการกับชิปที่บรรจุแล้ว เครื่องนี้ได้รับการออกแบบมาเพื่อทำการประกันคุณภาพและทดสอบไดเปล่าที่อยู่บนแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ด้วยการรวมงานประกันคุณภาพหลายอย่างเข้าไว้ในระบบเดียว Z208 จึงช่วยให้กระบวนการผลิตมีประสิทธิภาพและแม่นยำยิ่งขึ้น
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิคและพารามิเตอร์
พารามิเตอร์ทางเทคนิคที่สำคัญของอุปกรณ์ประกอบด้วย:
ประเภทอุปกรณ์: เครื่องมือทดสอบระดับแม่พิมพ์
อัตราการผลิตสูงสุดต่อชั่วโมง (UPH): สูงสุด 36,000 หน่วย/ชั่วโมง
ระยะเวลาเฉลี่ยระหว่างความล้มเหลว (MTBF): > 200 ชั่วโมง
เวลาเฉลี่ยระหว่างการส่งบอลให้เพื่อนร่วมทีมทำแต้ม (MTBA): > 60 นาที
ประเภทแพ็คเกจที่ใช้งานร่วมกันได้: QFN, MLP, SOIC, SOT23, SC70, SOT89, SOT223
ขนาดแม่พิมพ์ที่รองรับ: 1.4x1.4 (TDFN), 2x2 (QFN), 2.5x3.2 (QFN) เป็นต้น
วิธีการป้อนอาหาร: ชามหรือท่อแบบสั่น
วิธีการส่งออก: เทปและรีล
ข้อกำหนดด้านการจ่ายอากาศ: แรงดันขั้นต่ำ 5 บาร์ (70 PSI); อัตราการไหล 300–500 ลิตร/นาที
ข้อกำหนดด้านกำลังไฟ: 208/415 โวลต์กระแสสลับ สามเฟส
ปีที่ผลิต: โดยทั่วไปแล้วสินค้าจะผลิตในปี 2013 หรือ 2015
หลักการทำงาน
เครื่อง SRM Z208 ทำการทดสอบโดยอาศัยการประสานงานที่แม่นยำระหว่างฮาร์ดแวร์และซอฟต์แวร์:
การกำหนดตำแหน่งด้วยระบบวิชั่น: กล้องความละเอียดสูงจะจับภาพแผ่นเวเฟอร์ที่วางอยู่บนแท่นทำงาน
การวัดที่แม่นยำ: แขนหุ่นยนต์ใช้ข้อมูลจากภาพเพื่อใช้ส่วนประกอบตรวจสอบเฉพาะทาง เช่น หัววัดและใบมีด ในการตรวจสอบและวัดแผ่นเวเฟอร์อย่างแม่นยำ
การวิเคราะห์ข้อมูล: คอมพิวเตอร์บนเครื่องจะวิเคราะห์ข้อมูลการวัดเพื่อตรวจสอบว่าแผ่นเวเฟอร์นั้นตรงตามมาตรฐานคุณภาพหรือไม่
การตรวจจับข้อบกพร่อง: อุปกรณ์นี้ตรวจจับข้อบกพร่องเล็กน้อยบนพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์ เช่น หลุมหรือความไม่สม่ำเสมอ
กระบวนการทั้งหมดถูกควบคุมผ่านการประสานงานของซอฟต์แวร์สองประเภท ได้แก่ ซอฟต์แวร์ประกันคุณภาพ (สำหรับการตรวจจับข้อบกพร่อง) และซอฟต์แวร์อัตโนมัติ (สำหรับการควบคุมการทำงานของแขนหุ่นยนต์) คุณสมบัติหลักและข้อดี
ความแม่นยำและความเร็วสูง: สามารถทำผลงานได้สูงสุดถึง 36,000 ชิ้นต่อชั่วโมง (UPH) ช่วยให้ได้ผลผลิตสูงพร้อมทั้งรักษาคุณภาพการตรวจสอบด้วยกล้องความละเอียดสูงและเครื่องมือสอบเทียบที่มีความแม่นยำสูง
ระบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบและอัจฉริยะ: ผสานรวมการมองเห็น การวัด การวิเคราะห์ และการคัดแยกเข้าไว้ในขั้นตอนการทำงานอัตโนมัติอย่างสมบูรณ์ ลดการแทรกแซงด้วยตนเองและข้อผิดพลาดจากมนุษย์ให้น้อยที่สุด
แกนควบคุมทรงพลัง: มาพร้อมตัวควบคุมการเคลื่อนที่ 8 แกน และรองรับการทำงานร่วมกับ EtherCAT ช่วยให้ควบคุมสายการผลิตทั้งหมดได้อย่างมีประสิทธิภาพ
ความยืดหยุ่นและความสามารถในการปรับตัว: โดดเด่นด้วยการออกแบบที่ยืดหยุ่น สามารถรองรับการอัปเกรดหรือการดัดแปลงในอนาคตได้
รองรับบรรจุภัณฑ์หลายรูปแบบ: สามารถรองรับบรรจุภัณฑ์หลายประเภท ได้แก่ QFN, MLP, SOIC และ SOT23
ตัวเลือกการป้อน/ส่งออกที่หลากหลาย: รองรับการป้อนแบบสั่นสะเทือนทั้งแบบชามหรือท่อ รวมถึงการส่งออกไปยังเทปและรีล
สถานการณ์การใช้งาน
เครื่อง SRM Z208 ทำหน้าที่หลักในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นต้น โดยมอบมูลค่าสำคัญในการทดสอบระดับเวเฟอร์และการจัดการผลผลิต:
กระบวนการผลิตเวเฟอร์: ทดสอบชิ้นส่วนทุกชิ้นบนเวเฟอร์ก่อนการตัดและบรรจุภัณฑ์ ทำให้สามารถคัดกรองชิปที่ชำรุดได้ตั้งแต่เนิ่นๆ
การประกันคุณภาพ: ทำหน้าที่เป็นขั้นตอนควบคุมคุณภาพที่สำคัญในกระบวนการผลิต เพื่อให้มั่นใจว่าเฉพาะแม่พิมพ์ที่มีคุณภาพเท่านั้นที่จะผ่านไปยังขั้นตอนการบรรจุภัณฑ์ที่มีต้นทุนสูงต่อไป
การวิจัยและพัฒนาและการตรวจสอบ: เหมาะสำหรับการวิเคราะห์และตรวจสอบผลิตภัณฑ์ใหม่ในระดับเวเฟอร์
สรุป
โดยสรุปแล้ว SRM Z208 เป็นเครื่องคัดแยกชิปความเร็วสูงแบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบ ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการทดสอบระดับเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ด้วยการตรวจสอบชิ้นส่วนอย่างแม่นยำก่อนการบรรจุ ทำให้เป็นเครื่องมือสำคัญในการรับประกันผลผลิตของชิปและควบคุมต้นทุนการผลิต ประสิทธิภาพการทำงานที่น่าประทับใจถึง 36,000 ชิ้นต่อชั่วโมง และความเข้ากันได้กับบรรจุภัณฑ์ประเภทต่างๆ ทำให้เป็นเครื่องมือที่มีประสิทธิภาพในกระบวนการทดสอบเวเฟอร์
