เครื่องเลเซอร์มาร์คกิ้งสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ ThinkLaser รุ่น SC300

เครื่องเลเซอร์มาร์คกิ้ง ThinkLaser SC300 เป็นระบบเลเซอร์มาร์คกิ้งแบบ "Soft Marking" ระดับไฮเอนด์ที่ทำงานอัตโนมัติเต็มรูปแบบ ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับเวเฟอร์ขนาด 300 มม. จุดเด่นสำคัญคือความสามารถในการมาร์คที่ทนทานและอ่านง่ายโดยไม่ทำให้เวเฟอร์เสียหายหรือเกิดเศษวัสดุ จึงตรงตามข้อกำหนดที่เข้มงวดอย่างยิ่งในด้านผลผลิตและการตรวจสอบย้อนกลับในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นต้น

เดิมทีเทคโนโลยีนี้ถูกพัฒนาขึ้นเพื่อตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดในการทำเครื่องหมายบนแผ่นเวเฟอร์โดยปราศจากสิ่งปนเปื้อน หลังจากที่แผ่นเวเฟอร์เหล่านั้นเข้าสู่สภาพแวดล้อมห้องปลอดเชื้อแล้ว

**หลักการทำงานและเทคโนโลยีหลัก**

ข้อดีด้านการทำงานและเทคนิคของ SC300 สามารถเข้าใจได้ดีที่สุดจากการเปรียบเทียบดังต่อไปนี้:

**เทคโนโลยีหลัก** | **หลักการทำงาน** | **ข้อได้เปรียบที่สำคัญ**

**เทคโนโลยีการทำเครื่องหมาย SuperSoftMark™** | ใช้เลเซอร์แบบไดโอดปั๊มโซลิดสเตท (DPSS) ที่ได้รับการจดสิทธิบัตร โดยการควบคุมพลังงานเลเซอร์อย่างแม่นยำ ทำให้เกิดเครื่องหมายตื้นเพียง 2.5 ไมโครเมตรบนพื้นผิวเวเฟอร์ เปลี่ยนแปลงเฉพาะค่าการสะท้อนแสงของวัสดุโดยไม่ก่อให้เกิดความเสียหายทางกายภาพ | ปราศจากเศษผง สะอาดสูง เครื่องหมายชัดเจน และไม่ทำให้เวเฟอร์เสียหาย

**เทคโนโลยีเลเซอร์ที่ได้รับการจดสิทธิบัตร** | ใช้เลเซอร์ Nd:YLF 1053 นาโนเมตร ที่มีเสถียรภาพของพัลส์สูงเป็นพิเศษ (<0.5%) ทำให้มั่นใจได้ว่าความลึกของจุดที่ทำเครื่องหมายทุกจุดมีความสม่ำเสมอและได้รูปทรงที่ดี | คุณภาพการทำเครื่องหมายที่เสถียรด้วยความกลมของจุดสูง (อัตราส่วนแกนหลักต่อแกนรอง <1.1) ตรงตามมาตรฐานคุณภาพที่เข้มงวด

**ระบบควบคุมขั้นสูง** | ผสานรวมการควบคุมแบบวงปิดระดับระบบและอินเทอร์เฟซ SECS/GEM ทำให้สามารถบันทึกข้อมูลประสิทธิภาพของเลเซอร์ทั้งหมดได้อย่างแม่นยำจนถึงระดับการควบคุมกระบวนการทางสถิติ (SPC) | กระบวนการที่ควบคุมและตรวจสอบย้อนกลับได้อย่างแม่นยำ สามารถบูรณาการเข้ากับระบบอัตโนมัติในโรงงานได้อย่างราบรื่น

**ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค**

SC300 มีคุณสมบัติทางเทคนิคที่สำคัญดังต่อไปนี้ โดยอิงจากเทคโนโลยีหลัก:

**ขนาดเวเฟอร์ที่รองรับ:** ขนาดมาตรฐาน 300 มม. (12 นิ้ว) และสามารถลดขนาดลงเหลือ 200 มม. (8 นิ้ว) ได้

**ประสิทธิภาพการพิมพ์:** ความเร็วในการพิมพ์ตัวอักษรเดี่ยวสูงสุด 125 แผ่นต่อชั่วโมง (WPH) แต่ละกลุ่มการพิมพ์รองรับได้สูงสุด 80 ตัวอักษร

**ความแม่นยำในการทำเครื่องหมาย:** มีความสามารถในการกำหนดตำแหน่งซ้ำได้สูง โดยมีความคลาดเคลื่อน ±0.125 มม. ภายในพื้นที่ 50×50 มม. คุณสมบัติทางกายภาพ: มีระบบระบายความร้อนด้วยอากาศ และเป็นไปตามมาตรฐานความปลอดภัยและสิ่งแวดล้อมระดับสากลหลายประการ รวมถึง CE, SEMI S2, S8 และ S14

ขอบเขตการใช้งาน

SC300 ทำหน้าที่เป็นอุปกรณ์ตรวจสอบย้อนกลับหลักภายในสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขนาดใหญ่ โดยส่วนใหญ่ใช้เพื่อวัตถุประสงค์ดังต่อไปนี้:

การผลิตเวเฟอร์ขั้นต้น: การทำเครื่องหมายเวเฟอร์ด้วยรหัสเฉพาะเพื่ออำนวยความสะดวกในการวิเคราะห์ผลผลิต การเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการ และการติดตามเวเฟอร์

การบรรจุภัณฑ์ขั้นสูง: การใส่ "เครื่องหมายอ่อน" บนแผ่นเวเฟอร์หรือแผงที่ประกอบขึ้นใหม่ระหว่างกระบวนการบรรจุภัณฑ์ระดับเวเฟอร์ (WLP) ซึ่งช่วยให้สามารถตรวจสอบย้อนกลับกระบวนการตั้งแต่ต้นจนจบได้

สารกึ่งตัวนำแบบผสม: สามารถประมวลผลวัสดุสารกึ่งตัวนำรุ่นใหม่ เช่น SiC, GaN และ GaAs เพื่อตอบสนองความต้องการเฉพาะของกระบวนการผลิตแบบพิเศษได้

ผลิตภัณฑ์เสริมอาหาร

ThinkLaser นำเสนอชุดโซลูชันการระบุเวเฟอร์ที่ครอบคลุม ซึ่ง SC300 มีบทบาทสำคัญอย่างยิ่ง:

SC300 เป็นอุปกรณ์เสริมของ HM300 โดย SC300 เชี่ยวชาญด้าน "การทำเครื่องหมายแบบอ่อน" ซึ่งเป็นเทคนิคที่ไม่ต้องการความเสียหายหรือการปนเปื้อนใดๆ บนพื้นผิว ในขณะที่ HM300 ออกแบบมาสำหรับงาน "การทำเครื่องหมายแบบแข็ง" ที่ต้องการความทนทานสูง

ส่วนหนึ่งของกลุ่มผลิตภัณฑ์ SigmaClean/SigmaDSC: ในขณะที่ SC300 เน้นตลาดขนาด 300 มม. ระบบ SigmaClean และ SigmaDSC ทำหน้าที่เป็นโซลูชันการทำเครื่องหมายแบบอ่อนอัตโนมัติสำหรับเวเฟอร์ขนาด 200 มม. และเล็กกว่า โดยรวมแล้ว ระบบเหล่านี้ประกอบกันเป็นเมทริกซ์ผลิตภัณฑ์ที่ครบวงจรสำหรับโซลูชันการทำเครื่องหมายเวเฟอร์

สรุป

โดยสรุปแล้ว ThinkLaser SC300 เป็นระบบการทำเครื่องหมายแบบอ่อนที่ล้ำหน้าทางเทคโนโลยี ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการผลิตเวเฟอร์ขนาด 300 มม. ขนาดใหญ่ คุณค่าหลักของมันอยู่ที่เทคโนโลยี SuperSoftMark™ ที่เป็นกรรมสิทธิ์เฉพาะ ซึ่งช่วยให้การทำเครื่องหมายมีประสิทธิภาพ ปราศจากฝุ่น และมีความแม่นยำสูง โดยไม่ทำให้พื้นผิวเวเฟอร์เสียหาย ทำให้เป็นอุปกรณ์ที่ขาดไม่ได้สำหรับการรับประกันการตรวจสอบย้อนกลับกระบวนการแบบครบวงจรในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่