เครื่องทำความสะอาดเวเฟอร์ SEMES BLUEICE PRIME

BLUEICE PRIME ของ SEMES คือระบบทำความสะอาดเวเฟอร์เดี่ยวแบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบขนาด 300 มม. ที่ออกแบบมาสำหรับการผลิตชิปตรรกะและหน่วยความจำด้วยเทคโนโลยีการประมวลผลขั้นสูง (LPT) พัฒนาและผลิตโดย SEMES ซึ่งเป็นซัพพลายเออร์อุปกรณ์หลักภายใต้ Samsung Electronics นับเป็นอุปกรณ์สำคัญในการปรับปรุงผลผลิตการผลิตจำนวนมากของกระบวนการผลิตที่ล้ำสมัย เช่น 2 นาโนเมตร

ประสิทธิภาพหลัก: การสร้างสมดุลระหว่างกระบวนการขั้นสูงและกำลังการผลิต

ประสิทธิภาพการทำงานที่เหนือกว่า: สามารถกำจัดอนุภาคขนาด 19 นาโนเมตร ช่วยปรับปรุงความสม่ำเสมอในการกัดเซาะได้ดีกว่า 40% อย่างเห็นได้ชัด

การออกแบบเพื่อประสิทธิภาพสูงสุด: ในฐานะระบบทำความสะอาดเวเฟอร์เดี่ยวขนาด 300 มม. ระบบนี้สามารถจัดการเวเฟอร์ได้มากกว่า 500 ชิ้นต่อชั่วโมง (WPH) ซึ่งตอบสนองความต้องการของการผลิตจำนวนมากได้อย่างมีประสิทธิภาพ

คุณสมบัติทางเทคนิค: การออกแบบนวัตกรรมที่พัฒนาขึ้นโดยอิสระหลายแบบ

กระบวนการกรดฟอสฟอริกอุณหภูมิสูงที่เป็นนวัตกรรมใหม่: กระบวนการหลักใช้กรดฟอสฟอริกอุณหภูมิสูงในการกัดและลอกแผ่นเวเฟอร์ การควบคุมการพ่นและอุณหภูมิอย่างแม่นยำช่วยลดการกระจายตัวของกระบวนการและอัตราการเกิดข้อบกพร่องได้อย่างมีประสิทธิภาพ ส่งผลให้ผลผลิตชิป 2 นาโนเมตรดีขึ้นอย่างมาก

**หัวจับชิ้นงานอุณหภูมิสูงที่พัฒนาขึ้นเอง:** เทคโนโลยีนี้ช่วยปรับปรุงความสม่ำเสมอของอุณหภูมิระหว่างการให้ความร้อนแก่แผ่นเวเฟอร์ ลดข้อบกพร่องในกระบวนการผลิตได้อย่างมาก และเอาชนะข้อจำกัดของวิธีการทำความสะอาดแบบเปียกแบบดั้งเดิม

**การควบคุมการปนเปื้อนอย่างครอบคลุม:** ห้อง NIC (Non-Interaction Clean) ช่วยป้องกันการปนเปื้อนข้ามได้อย่างมีประสิทธิภาพ เมื่อผสานรวมกับเทคโนโลยี SF-Aerosol (ละอองน้ำความเร็วสูง/สม่ำเสมอ) สำหรับการทำความสะอาดทางกายภาพ

**ระบบอัจฉริยะแบบบูรณาการขั้นสูง:** มาพร้อมกับ APAC, AIS (ระบบตรวจจับอัตโนมัติ) และ SEAS (ระบบวิเคราะห์อุปกรณ์อัจฉริยะ) ทำให้สามารถควบคุมการไหลได้อย่างแม่นยำและวิเคราะห์สถานะอุปกรณ์ได้อย่างชาญฉลาด

**ขอบเขตงาน:** ประจำอยู่ที่บริษัทซัมซุง ให้บริการลูกค้าระดับโลกชั้นนำ

BLUEICE PRIME มุ่งเป้าไปที่โรงงานผลิตชิปตรรกะและผู้ผลิตหน่วยความจำชั้นนำระดับโลกเป็นหลัก โดยใช้ประโยชน์จากสถานะของบริษัทแม่ SEMES ซึ่งเป็นบริษัทในเครือ Samsung Group อุปกรณ์นี้จึงถูกผสานรวมเข้ากับสายการผลิตเวเฟอร์ที่ทันสมัยที่สุดของ Samsung อย่างลึกซึ้ง โซลูชันการทำความสะอาดแบบเปียกของ BLUEICE PRIME สร้างระบบนิเวศที่สมบูรณ์แบบร่วมกับอุปกรณ์หลักอื่นๆ ในส่วนหน้า เช่น เครื่องลิโทกราฟี (ซีรี่ส์ OMEGA) และเครื่องกัด (ซีรี่ส์ MICHELAN) ที่น่าสนใจคือ SEMES ได้ขยายขอบเขตธุรกิจไปยังอุตสาหกรรมการผลิต HBM (High Bandwidth Memory) ทั้งหมด โดยประสบความสำเร็จในการพัฒนาและผลิตเครื่องเชื่อมความร้อน (TC Bonder) สำหรับการเรียงซ้อนชิป HBM ในปริมาณมาก

โดยสรุปแล้ว BLUEICE PRIME แสดงให้เห็นถึงความแข็งแกร่งทางเทคโนโลยีอย่างลึกซึ้งของ SEMES ในด้านอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ นับเป็นส่วนสำคัญอย่างยิ่งในความพยายามของกลุ่มซัมซุงในการเสริมสร้างตำแหน่งผู้นำระดับโลกด้านเทคโนโลยีการผลิตขั้นสูง และเป็นเครื่องมือสำคัญที่สนับสนุนการผลิตที่ล้ำสมัยในระดับต่ำกว่า 2 นาโนเมตร