Засіб для чищення вафель SEMES BLUEICE PRIME

BLUEICE PRIME від SEMES — це повністю автоматизована система очищення окремих пластин діаметром 300 мм, призначена для виробництва логіки передових технологічних процесів (LPT) та мікросхем пам'яті. Розроблена та виготовлена ​​компанією SEMES, основним постачальником обладнання для Samsung Electronics, вона є ключовим обладнанням для підвищення продуктивності масового виробництва передових процесів, таких як 2-нм.

Основна продуктивність: балансування передових процесів та потужностей

Чудова продуктивність процесу: Здатний видаляти частинки на рівні 19 нм, значно покращуючи рівномірність травлення більш ніж на 40%.

Високоефективна конструкція з високою продуктивністю: система очищення окремих пластин діаметром 300 мм обробляє понад 500 пластин на годину (WPH), що ефективно задовольняє потреби великомасштабного масового виробництва.

Технічні характеристики: Кілька незалежно розроблених інноваційних дизайнів

Інноваційний високотемпературний процес з фосфорною кислотою: в основному процесі для травлення та зачистки пластин використовується високотемпературна фосфорна кислота. Точний контроль розпилення та температури ефективно зменшує дисперсію процесу та рівень дефектів, значно покращуючи вихід 2-нм чіпів.

**Незалежно розроблений високотемпературний патрон:** Ця технологія покращує рівномірність температури під час нагрівання пластин, значно зменшує технологічні дефекти та долає обмеження традиційних методів вологого очищення.

**Комплексний контроль забруднення:** Камера NIC (Non-Interaction Clean) ефективно запобігає перехресному забрудненню в поєднанні з технологією SF-Aerosol (високошвидкісне/однорідне краплі) для фізичного очищення.

**Високоінтегрована інтелектуальна система**: Оснащена APAC, AIS (системою автоматичного виявлення) та SEAS (системою інтелектуального аналізу обладнання), вона забезпечує точне керування потоком та інтелектуальний аналіз стану обладнання.

**Сфери застосування:** Базується в Samsung, обслуговує провідних світових клієнтів.

BLUEICE PRIME в першу чергу орієнтована на провідних світових виробників логічних мікросхем та пам'яті. Використовуючи статус материнської компанії SEMES як дочірньої компанії Samsung Group, це обладнання глибоко інтегроване в найсучасніші виробничі лінії Samsung для виробництва пластин. Його рішення для вологого очищення утворює повноцінну екосистему з іншим основним обладнанням, таким як літографія (серія OMEGA) та травлення (серія MICHELAN). Варто зазначити, що SEMES розширила сферу свого бізнесу на всю галузь виробництва HBM (пам'ять з високою пропускною здатністю), успішно розробивши та масово виробляючи машину для термічного склеювання (TC Bonder) для укладання мікросхем HBM.

Підсумовуючи, BLUEICE PRIME демонструє глибоку технологічну потужність SEMES у галузі напівпровідникового обладнання. Це вирішальна частина зусиль Samsung Group щодо зміцнення її позицій як світового лідера в передових технологічних процесах та ключового інструменту підтримки передового виробництва нижче 2 нм.