Trạm thăm dò ACCRETECH UF3000EX

ACCRETECH Probe Station UF3000EX là thiết bị phát hiện tín hiệu điện cho từng chip trên từng wafer, được thiết kế để đảm bảo chất lượng của các sản phẩm bán dẫn. Thiết bị sử dụng công nghệ thế hệ tiếp theo, cải thiện đáng kể năng lực sản xuất thông qua các thuật toán mới và công nghệ xử lý wafer. Nền tảng trục X và Y tốc độ cao, ít tiếng ồn của nó được hưởng lợi từ hệ thống truyền động mới, trong khi trục Z đảm bảo khả năng chịu tải đẳng cấp thế giới và độ chính xác cao. Cấu trúc thiết kế của thiết bị loại bỏ đáng tin cậy lực trên mặt phẳng thông qua sự kết hợp tốt giữa thiết kế cấu trúc tối ưu và cấu trúc liên kết. Ngoài ra, hệ thống xử lý vị trí OTS tiên tiến và hệ thống căn chỉnh hình ảnh wafer màu, cũng như chức năng phóng đại tối đa nhỏ được trang bị, giúp UF3000EX trở thành thiết bị có độ chính xác cao và dễ vận hành trong ngành.

Các tính năng chính

Tốc độ cao và tiếng ồn thấp: Hệ thống truyền động mới giúp các nền tảng trục X và Y hoạt động hiệu quả và êm ái.

Độ chính xác cao: Trục Z đảm bảo khả năng chịu tải đẳng cấp thế giới và độ chính xác cao.

Tối ưu hóa cấu trúc: Lực tác dụng lên mặt phẳng được loại bỏ thông qua sự kết hợp tốt giữa thiết kế cấu trúc và cấu trúc tối ưu.

Hệ thống định vị tiên tiến: Được trang bị hệ thống xử lý vị trí OTS tiên tiến và hệ thống căn chỉnh hình ảnh wafer màu, có chức năng phóng đại tối đa nhỏ.

Khả năng tương thích: Thích hợp cho các tấm wafer có đường kính lớn (φ300 mm, lên đến 12 inch), với hệ thống vận hành tự động, phát hiện có độ chính xác cao, thông lượng cao, độ rung thấp, v.v.

Lĩnh vực ứng dụng

Trạm thăm dò UF3000EX được sử dụng rộng rãi trong thử nghiệm wafer trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong các dây chuyền sản xuất LSI và VLSI, có thể cung cấp khả năng phát hiện tín hiệu điện hiệu quả và chính xác để đảm bảo chất lượng sản phẩm và hiệu quả sản xuất