Шліфавальная машына для вафель DISCO DFG8560

DISCO DFG8560 — гэта цалкам аўтаматызаваная машына для прарэджвання пласцін, якая ўвасабляе сабой мадэрнізацыю серыі DFG800. Яна спецыяльна распрацавана для вырашэння задач па прарэджванні пласцін таўшчынёй 12 цаляў. Яе асноўны прынцып працы заснаваны на двухшпіндзельнай і трохпатронная канфігурацыі, што дазваляе выконваць як грубае, так і тонкае шліфаванне за адну аперацыю заціску пласціны. Такая канструкцыя значна павышае эфектыўнасць апрацоўкі і дакладнасць кіравання.

**Прынцып працы**

DFG8560 дасягае патанчэння пласцін за кошт высокадакладнага механічнага руху:

**Высокатрывалая канструкцыя:** У машыне выкарыстоўваецца высокатрывалы шпіндзель на пнеўматычных падшыпніках, што забяспечвае выдатную стабільнасць на працягу ўсяго працэсу шліфавання.

**Двухэтапны працэс драбнення:**

**Грубае шліфаванне:** Першы шпіндзель выкарыстоўвае больш грубазерністы круг (напрыклад, алмазны круг са смалой). Высокая хуткасць кручэння хутка выдаляе большую частку матэрыялу з адваротнага боку пласціны, максімізуючы эфектыўнасць.

**Дробнае шліфаванне:** Другі шпіндзель выкарыстоўвае больш дробназярністы круг (напрыклад, алмазны круг з керамічнай звязкай) для дакладнага шліфавання пласціны. Гэты працэс стварае гладкую, роўную паверхню і выдаляе пашкоджаны пласт, які ўтвараецца падчас этапу грубага шліфавання.

У рэальным рэжыме працы пласціна ўтрымліваецца на месцы на круцільным патроне з дапамогай вакуумнага прысмоктвання. Патрон круціцца ў процілеглым кірунку адносна кірунку хуткаснага шліфавальнага круга; круг рухаецца вертыкальна ўніз, разразаючы паверхню пласціны.

**Асноўныя характарыстыкі**

Асноўная функцыя DFG8560 — гэта памяншэнне таўшчыні пласціны. Для гэтага ён аб'ядноўвае шэраг ключавых функцый:

**Цалкам аўтаматызаваная праца:** Гэта абсталяванне аўтаматызуе ўвесь працоўны працэс ад загрузкі пласцін, выраўноўвання, шліфоўкі, ачысткі да разгрузкі, значна скарачаючы ручное ўмяшанне і павышаючы эфектыўнасць вытворчасці.

**Высокадакладны кантроль таўшчыні:** Дзякуючы інтэграцыі сістэмы вымярэння таўшчыні ў рэжыме рэальнага часу з высокім разрозненнем (0,1 мкм), абсталяванне дасягае замкнёнага кіравання працэсам шліфавання, забяспечваючы дакладнасць канчатковай таўшчыні пласціны.

**Апрацоўка звыштонкіх пласцін**: Дзякуючы аптымізацыі параметраў сістэмы драбнення і апрацоўкі, DFG8560 можа стабільна апрацоўваць звыштонкія пласціны таўшчынёй 100 мкм або менш, мінімізуючы рызыку іх паломкі.

**Выяўленне дэфектаў:** Гэтая сістэма можа выяўляць дэфекты на паверхні пласціны, забяспечваючы неабходную падтрымку дадзеных для наступных працэсаў рамонту або цыклаў зваротнай сувязі.

**Зручны інтэрфейс:** Сістэма, абсталяваная сэнсарным ВК-экранам і графічным інтэрфейсам карыстальніка (GUI), адлюстроўвае стан апрацоўкі і абсталявання ў рэжыме рэальнага часу, што спрашчае эксплуатацыю і абслугоўванне і робіць іх больш інтуітыўна зразумелымі.

**Інтэграцыя і пашырэнне анлайн:** DFG8560 можна лёгка інтэграваць у больш складаныя аўтаматызаваныя вытворчыя лініі, такія як:

**Сістэма DBG (постфільтрацыйнае шліфаванне):** Аб'ядноўвае працэсы нарэзкі і прарэджвання, што робіць яе асабліва прыдатнай для вырабу ультратонкай стружкі.

**Машына для сухога паліравання (напрыклад, DFP8160):** Утварае інтэграваную сістэму, якая выконвае сухое паліраванне пасля шліфавання, што яшчэ больш зніжае шурпатасць паверхні пласціны (значэнне Ry) і ліквідуе пашкоджанні, выкліканыя шліфаваннем.

**Ламінатар/здымальнік пласцін:** Інтэграваны для аўтаматычнага нанясення або выдалення ахоўных паліравальных плёнак, ствараючы цалкам аўтаматызаваны працоўны працэс.

**Сувязь SECS/GEM:** Гэта прылада падтрымлівае пратакол сувязі SECS/GEM, што дазваляе падключацца да заводскай сістэмы кіравання вытворчасцю (MES) для дыстанцыйнага маніторынгу і аўтаматызаванага збору вытворчых дадзеных.

**Прымяненне і функцыі:**

Асноўная функцыя DFG8560 — забяспечыць пласціны з аднастайнай таўшчынёй і выдатнай якасцю паверхні для наступных працэсаў, такіх як нарэзка і ўпакоўка; шырокая сумяшчальнасць з матэрыяламі таксама робіць яго прыдатным для шырокага спектру прымянення.

**Памяншэнне таўшчыні пласціны:** Памяншэнне таўшчыні пласціны ад яе першапачатковай да мэтавай таўшчыні — фундаментальнае патрабаванне практычна для ўсіх ужыванняў.

**Выдаленне пашкоджанага пласта**: Выдаленне пашкоджаных напружаннем слаёў, якія ўтвараюцца ў папярэдніх працэсах (напрыклад, шліфаванне адваротнага боку), — гэта найважнейшы крок для забеспячэння механічнай трываласці стружкі.

**Планарызацыя паверхні**: забеспячэнне вельмі роўнай падкладкі для наступных дакладных працэсаў (такіх як фоталітаграфія і склейванне) — неабходная ўмова для высокадакладнай вытворчасці.

**Трохмерная ўпакоўка і экспанаванне TSV:** Забеспячэнне тонкіх пласцін, неабходных для рэалізацыі тэхналогіі скразных крэмніевых пераходных адтулін (TSV), і дакладнае экспанаванне ніжняй часткі структуры TSV — асноўнага кампанента перадавой упакоўкі.

Вытворчасць сілавых і радыёчастотных прылад: выкарыстоўваецца для пратанчэння пласцін SiC, GaN і іншых паўправадніковых злучэнняў для зніжэння супраціўлення ва ўключаным стане і паляпшэння цеплааддачы.

Выраб аптычных прылад і фільтраў: выкарыстоўваецца для дакладнага пратанчэння і планарізацыі цвёрдых і далікатных матэрыялаў, такіх як сапфір (падкладка святлодыёда) і танталат літыя/ніабат ​​літыя (RF-фільтр).

Падрабязныя характарыстыкі

Спецыфікацыі Спецыфікацыі

Памер нарыхтоўкі, які адпавядае патрабаванням: Φ300 мм (12 цаляў). Універсальны патрон падтрымлівае пласціны Φ200 мм/Φ300 мм.

Спосаб шліфавання: падоўжнае шліфаванне з кручэннем пласціны.

Канфігурацыя шпіндзеля: два шпіндзелі (2 восі). Убудаваны высокачастотны пнеўматычны статычны шпіндзель з прывадам ад рухавіка.

Канфігурацыя патрона: Тры патрона з паваротным сталом. Хуткасць кручэння патрона: 0-300 аб/мін.

Магутнасць шпіндзеля: намінальная магутнасць 4,8 кВт.

Хуткасць кручэння шпіндзеля: 1000 - 4000 мін⁻¹ (аб/мін).

Перамяшчэнне па восі Z: 120 мм (уключаючы пачатак каардынат).

Хуткасць падачы пры шліфаванні па восі Z: 0,0001 - 0,08 мм/с (0,1 - 80 мкм/с).

Мінімальны рух па восі Z: 0,1 мкм.

Дыяпазон вымярэння таўшчыні: 0 - 1800 мкм.

Разрозненне вымярэння таўшчыні: 0,1 мкм.

Паўтаральнасць вымярэння таўшчыні: ±0,5 мкм.

Характарыстыкі шліфавальнага круга: алмазны шліфавальны круг Φ300 мм.

Адхіленне таўшчыні ўнутры пласціны (TTV): менш за 3,0 мкм (пры выкарыстанні спецыяльнага працоўнага стала, пласціна φ300 мм).

Адхіленне таўшчыні паміж пласцінамі: менш за ±3,0 мкм.

Шурпатасць паверхні пасля чыставой апрацоўкі: Ry прыблізна 0,13 мкм (пры выкарыстанні шліфавальнага круга № 2000); Ry прыблізна 0,15 мкм (пры выкарыстанні шліфавальнага круга № 1400).

Памеры абсталявання (Ш × Г × В): прыблізна 1400 × 3190 × 1800 мм.

Вага абсталявання: прыблізна 4000 кг.

Неабходная магутнасць: трохфазная 200/220/380/400 В, 50/60 Гц, максімальная спажываная магутнасць прыблізна 22 кВА.

Неабходнае сціснутае паветра: вышэй за 0,5 МПа, чыстае і без алею, кропка расы ніжэй за -15℃, хуткасць патоку прыблізна 1000 нл/мін.

Патрабаванні да падачы вады: дэіянізаваная вада (DE), тэмпература 23±1℃, хуткасць патоку 6-10 л/мін.

Асноўныя перавагі

DFG8560 працягвае ўмацоўваць свае пазіцыі на рынку як высокапрадукцыйнае абсталяванне для пратанчвання пласцін, маючы наступныя перавагі:

Высокая дакладнасць шліфавання: дзякуючы аптымізаванай канструкцыі эфектыўна паляпшаецца якасць шліфавання, дасягаецца выдатная аднастайнасць таўшчыні ўнутры пласцін (TTV) і кансістэнцыя паміж пласцінамі, што забяспечвае прадукцыйнасць для складаных працэсаў, такіх як складаная ўпакоўка.

Стабільная якасць шліфавання: аптымізаваныя параметры шліфавання і апрацоўкі дазваляюць стабільна шліфаваць ультратонкія пласціны, эфектыўна кантралюючы хуткасць паломкі, што мае вырашальнае значэнне для высакаякасных пласцін вялікага памеру.

Выдатная маштабаванасць: прапануе мноства варыянтаў інтэграцыі ў лінію (напрыклад, DBG і сухая паліроўка), гнутка адаптуючыся да мадэрнізацыі вытворчай лініі і цалкам абараняючы інвестыцыі карыстальнікаў.

Высокая сумяшчальнасць: здольнасць працаваць з рознымі матэрыяламі (такімі як крэмній, SiC, GaN, сапфір, LT/LN), што забяспечвае значную гнуткасць працэсу для вытворчасці розных паўправаднікоў і оптаэлектронных прылад.

Зручны і просты ў абслугоўванні: зручны графічны інтэрфейс карыстальніка і сэнсарны экран значна зніжаюць парог эксплуатацыі. Пры гэтым ключавыя кампаненты серыі 800 узаемазаменныя, што зніжае выдаткі на запасныя часткі і рызыку прастояў.

Лёгкая канструкцыя: Дасягнута зніжэнне вагі на 1,0 тоны (прыблізна на 20%) пры захаванні характарыстык і прадукцыйнасці. Больш лёгкае абсталяванне спрашчае працэс мантажу і зніжае патрабаванні да нагрузкі на вытворчую пляцоўку.

Кароткі змест тэхнічных характарыстык: Двухвосевая канструкцыя з трыма прысоскамі: Падзяляе грубае і тонкае шліфаванне, выконваючы іх за адну аперацыю заціску, павышаючы эфектыўнасць і забяспечваючы дакладнасць.

Пнеўматычны шпіндзель: Выкарыстоўваючы паветраны шпіндзель, гэтая канструкцыя выключае механічны кантакт, што прыводзіць да мінімальнага зносу і падтрымання высокай дакладнасці кручэння на працягу доўгага часу. Гэта асноўны кампанент для дасягнення звышвысокай дакладнасці апрацоўкі.

Тэхналогія падвойнага выраўноўвання шліфавальных кропак: гэтая тэхналогія дазваляе двум шпіндзелям дзяліцца адной і той жа фізічнай пазіцыяй шліфавання, што ліквідуе сістэматычныя памылкі, выкліканыя няправільным выраўноўваннем апрацоўчых кропак. Гэта адначасова паляпшае аднастайнасць таўшчыні (TTV) у межах адной пласціны і кансістэнцыю таўшчыні паміж пласцінамі, што робіць яе ключавой тэхналогіяй для дасягнення стабільнага ультратонкага шліфавання.

Кароткі змест: У заключэнне, DISCO DFG8560 — гэта цалкам аўтаматызаванае рашэнне для прарэджвання 12-цалевых пласцін, прызначанае для масавай вытворчасці. Яго ключавыя асаблівасці ўключаюць дакладную двухшпіндзельную архітэктуру і найвышэйшую стабільнасць сістэмы, што дазваляе дасягнуць высокай аднастайнасці і якасці паверхні пры апрацоўцы вялікіх, ультратонкіх пласцін, а таксама магутныя магчымасці інтэграцыі аўтаматызацыі.