Шліфавальная машына для вафель DISCO DGP8761

DISCO DGP8761 — гэта цалкам аўтаматызаваны шліфавальны/паліравальны станок, які ўяўляе сабой вяршыню сваёй тэхналогіі і распрацаваны спецыяльна для высокаэфектыўных працэсаў пратанчэння пласцін таўшчынёй 12 цаляў (300 мм). Яго ключавой асаблівасцю з'яўляецца здольнасць выконваць увесь працэс — ад грубага і тонкага шліфавання адваротнага боку да зняцця напружання — за адну бесперапынную аперацыю, паслядоўна апрацоўваючы пласціны да ультратонкай таўшчыні менш за 25 мкм.

Як афіцыйнае абнаўленне вядомага і самага прадаванага DGP8760, ён можа пахваліцца выдатнымі паказчыкамі продажаў сярод вядучых вытворцаў па ўсім свеце і з'яўляецца найважнейшым абсталяваннем для перадавых упакоўкавых вырабаў, сілавых прылад і іншых працэсаў, якія патрабуюць вырабу ультратонкіх пласцін.

Апаратнае ядро: вынаходлівасць і эвалюцыя трохвосевай канструкцыі

Аснова эвалюцыі прадукцыйнасці DGP8761 заключаецца ў яго дакладнай трохвосевай (3 восі) і чатырохпатроннай (4 патронныя) архітэктуры.

Трохвосевы падзел працы:

Вось Z1 (грубае шліфаванне): адказвае за хуткае выдаленне большай часткі матэрыялу з адваротнага боку пласціны.

Вось Z2 (дробнае шліфаванне): выконвае дробнае шліфаванне паверхні пласціны, дасягаючы дакладнага кантролю таўшчыні.

Вось Z3 (універсальная апрацоўка): гэта ключ да яе гнуткасці. Карыстальнікі могуць выбраць сухое паліраванне (зняцце напружання), звышдакладнае шліфаванне (Poligrind/UltraPoligrind) або спецыяльныя модулі CMP для зняцця напружання, выдалення гетараў і іншых функцый у залежнасці ад патрабаванняў працэсу.

Новараспрацаваны шпіндзель: Новы шпіндзель падтрымлівае хуткаснае шліфаванне, эфектыўна скарачаючы час апрацоўкі тонкіх пласцін. Адначасова аптымізаваная кампаноўка транспарту скарачае час, не звязаны з апрацоўкай, павышаючы агульную эфектыўнасць.

Тэхнічныя характарыстыкі больш высокай прадукцыйнасці шпіндзеля:

Вось Z1/Z2: магутнасць шпіндзеля павялічана да 6,3 кВт, хуткасць 1000–4000 аб/мін⁻¹, ход восі Z 120 мм.

Вось Z3: магутнасць шпіндзеля 5,3 кВт, ход восі Z 65 мм.

Дакладнасць па восі Z: вертыкальная хуткасць падачы 0,0001 - 0,08 мм/с, мінімальны ход 0,1 мкм забяспечвае дакладнасць апрацоўкі.

Падрабязны агляд спецыфікацый

Катэгорыя параметраў | Канкрэтныя паказчыкі

Памер нарыхтоўкі, які падыдзе: Φ200 мм / Φ300 мм (8 цаляў / 12 цаляў)

Спосаб шліфавання: вось Z1/Z2: шліфаванне ўнутр (кручэнне пласціны)

Вось Z3: Анамальнае шліфаванне падачы (спецыяльнае кручэнне пласціны)

Канфігурацыя шпіндзеля: Тры шпіндзелі (3 восі)

Канфігурацыя працоўнага стала: чатыры патронных сталы (4 патронных сталы), з выкарыстаннем сістэмы паваротнага стала

Шліфавальныя/паліравальныя інструменты: вось Z1/Z2: алмазны шліфавальны круг Φ300 мм

Вось Z3 (DP): дыск для сухой паліроўкі Φ450 мм

Вось Z3 (CMP): паліравальны дыск CMP Φ450 мм

Памеры абсталявання: 1690 мм (Ш) × 3315 мм (Г) × 1800 мм (В)

Мадэль з навясным FOUP: × 3452 мм (Г)

Вага абсталявання: прыблізна 6700 кг (DP, канфігурацыя Poligrind)

Прыблізна 6900 кг (канфігурацыя CMP)

Патрабаванні да сілкавання: трохфазнае напружанне 200/220/380/400 В, 50/60 Гц

Сціснутае паветра: вышэй за 0,5 МПа, чыстае і без алею, кропка расы ніжэй за -15℃

Асноўныя функцыі і перавагі працэсу:

Асноўная канкурэнтаздольнасць DGP8761 заключаецца ў паспяховай інтэграцыі некалькіх працэсаў, што дазваляе дасягнуць эфекту "1+1>2".

Універсальнае рашэнне: дзякуючы ўнутранай рабатызаванай маніпуляцыі пласціна можа аўтаматычна выконваць увесь працэс грубага шліфавання → тонкага шліфавання → сухой паліроўкі → ачысткі і сушкі, пазбягаючы рызыкі фрагментацыі, выкліканай шматразовай апрацоўкай, і значна скарачаючы вытворчы цыкл. DGP8761 можа паслядоўна дасягаць агульнай варыяцыі таўшчыні (TTV) менш за 3 мкм, захоўваючы пры гэтым высокую трываласць на выгіб.

Сухая паліроўка і ўлоўліванне клейкай вадкасці (атрыманне): гэта адна з самых вядомых асаблівасцей DGP8761. У ёй выкарыстоўваецца сухая паліроўка па восі Z3 для выдалення пласта напружання шліфавання, што не толькі больш экалагічна чыста, чым традыцыйныя вільготныя працэсы (без выкарыстання хімікатаў і вады), але і стварае кантраляваны пласт мікрапашкоджанняў унутры пласціны, які дзейнічае як «зона ўлоўлівання» для ўлоўлівання металічных прымешак, павышаючы выхад і надзейнасць чыпа. Унікальная мікраабразіўная тэхналогія UltraPoligrind ад DISCO захоўвае эфект улоўлівання, дасягаючы раней недасягальнай высокай трываласці чыпа.

Гнуткая канфігурацыя і экасістэма прыкладанняў

DGP8761 не з'яўляецца ізаляванай прыладай; яна можа лёгка інтэгравацца ў розныя сістэмы аўтаматызацыі.

Пашырэнне падключэння: яго можна падключыць да шматфункцыянальнага прыстасавання пласцін DFM2800 для непасрэднага мацавання плёнкі DAF (Die Attach Film) пасля прарэджвання. Яго таксама можна выкарыстоўваць для стварэння перадавых працэсных сістэм, такіх як DBG (Dicing Before Grinding), для павышэння выхаду тонкіх пласцін.

Тэхнічнае абслугоўванне і запасныя часткі: сумяшчальнасць з DISCO. Серыя 8000 мае высокую сумяшчальнасць, прычым ключавыя кампаненты, такія як шліфавальныя кругі і праўяльныя пласціны, узаемазаменныя, што спрашчае тэхнічнае абслугоўванне і зніжае выдаткі на запасныя часткі.

Праграмнае забеспячэнне і кіраванне: Выкарыстоўваючы графічны інтэрфейс, заснаваны на развітай тэхналогіі серыі 8000, уніфікаваная логіка кіравання скарачае час навучання аператара.

Пазіцыя на рынку і прымяненне: DGP8761 шырока выкарыстоўваецца ў перадавых корпусах (HPC/AI/3D IC), сілавых паўправадніках і прыладах MEMS. DISCO таксама прадастаўляе паслугі па нарэзцы і шліфоўцы з выкарыстаннем гэтага абсталявання ў сваіх глабальных тэхналагічных цэнтрах (напрыклад, у Кітаі і Сінгапуры).

Меркаванні па тэхнічным абслугоўванні: Для забеспячэння дакладнасці неабходна строга выконваць патрабаванні DISCO да навакольнага асяроддзя (тэмпература і вільготнасць у межах ±1°C, чыстае сціснутае паветра) і расходных матэрыялаў. Акрамя таго, логіка руху восі Z3 (у тым ліку 5 паслядоўнасцей апрацоўкі і параметры пазіцыі) непасрэдна ўплывае на прыбытак апрацоўкі; няправільная налада параметраў можа прывесці да праблем з працэсам.

Кароткі змест: DISCO DGP8761 — гэта высакаякасны шліфавальны/паліравальны станок, які ідэальна спалучае ў сабе высокую дакладнасць, высокую эфектыўнасць і гнуткасць працэсаў. Ён не толькі пракладае шлях да перадавой вытворчасці ультратонкіх мікрасхем, але і, дзякуючы сваёй магутнай маштабаванасці сістэмы, становіцца ключавым кампанентам у стварэнні перадавых "разумных" паўправадніковых фабрык. Для вядучых вытворцаў, якія імкнуцца да найвышэйшай прадукцыйнасці і стабільнасці працэсаў, ён уяўляе сабой значную стратэгічную інвестыцыю.