DISCO mlynček na oblátky DGP8761

DISCO DGP8761 je plne automatizovaný brúsny/leštiaci stroj, ktorý predstavuje vrchol svojej technológie a je navrhnutý špeciálne pre vysokoúčinné procesy stenčovania 12-palcových (300 mm) doštičiek. Jeho kľúčovou vlastnosťou je schopnosť dokončiť celý proces – od hrubého brúsenia zadnej strany a jemného brúsenia až po odstránenie napätia – v jednej kontinuálnej operácii, čím sa konzistentne spracovávajú doštičky do ultratenkých hrúbk pod 25 μm.

Ako oficiálny upgrade známeho a najpredávanejšieho DGP8760 sa môže pochváliť vynikajúcimi predajnými výsledkami medzi poprednými výrobcami na celom svete a je kľúčovým zariadením pre pokročilé balenie, výkonové zariadenia a ďalšie procesy vyžadujúce výrobu ultratenkých doštičiek.

Hardvérové ​​jadro: Vynaliezavosť a vývoj trojosového dizajnu

Jadro vývoja výkonu DGP8761 spočíva v jeho presnej trojosovej (3 osi) a štvorupínacej (4 upínacie) architektúre.

Trojosová deľba práce:

Os Z1 (hrubé brúsenie): Zodpovedá za rýchle odstránenie väčšiny materiálu zo zadnej strany doštičky.

Os Z2 (jemné brúsenie): Vykonáva jemné brúsenie povrchu doštičky, čím sa dosahuje presná kontrola hrúbky.

Os Z3 (všestranné spracovanie): Toto je kľúčom k jej flexibilite. Používatelia si môžu vybrať suché leštenie (odbúranie napätia), ultra presné brúsenie (Poligrind/UltraPoligrind) alebo špeciálne moduly CMP na dosiahnutie odstránenia napätia, odstránenia getrov a ďalších funkcií v závislosti od požiadaviek procesu.

Novovyvinuté vreteno: Nové vreteno podporuje vysokorýchlostné brúsenie, čím efektívne skracuje čas spracovania tenkých doštičiek. Optimalizované usporiadanie transportu zároveň skracuje čas nespotrebovaný na spracovanie, čím sa zlepšuje celková efektivita.

Vyššie špecifikácie výkonu vretena:

Os Z1/Z2: Výkon vretena zvýšený na 6,3 kW, otáčky 1 000 – 4 000 min⁻¹, posuv osi Z 120 mm.

Os Z3: Výkon vretena 5,3 kW, posuv osi Z 65 mm.

Presnosť osi Z: Vertikálny posuv 0,0001 – 0,08 mm/s, minimálny posuv 0,1 μm zaisťuje presnosť obrábania.

Podrobný prehľad špecifikácií

Kategória parametrov | Špecifické ukazovatele

Použiteľná veľkosť obrobku: Φ200 mm / Φ300 mm (8 palcov / 12 palcov)

Metóda brúsenia: Os Z1/Z2: Brúsenie v posuve (rotácia doštičky)

Os Z3: Anomálne brúsenie pri podávaní (špeciálna rotácia doštičky)

Konfigurácia vretena: Tri vretená (3 osi)

Konfigurácia pracovného stola: Štyri upínacie stoly (4 upínacie stoly) s použitím systému otočného stola

Brúsne/leštiace nástroje: Os Z1/Z2: diamantový brúsny kotúč Φ300 mm

Os Z3 (DP): leštiaci kotúč na sucho s priemerom Φ450 mm

Os Z3 (CMP): leštiaci kotúč CMP Φ450 mm

Rozmery zariadenia: 1 690 mm (Š) × 3 315 mm (H) × 1 800 mm (V)

Model s montážou FOUP: × 3 452 mm (Š)

Hmotnosť zariadenia: Približne 6 700 kg (DP, konfigurácia Poligrind)

Približne 6 900 kg (konfigurácia CMP)

Požiadavky na napájanie: Trojfázové 200/220/380/400 V, 50/60 Hz

Stlačený vzduch: Nad 0,5 MPa, čistý a bez oleja, rosný bod pod -15 ℃

Základné funkcie a výhody procesu:

Hlavná konkurencieschopnosť DGP8761 spočíva v úspešnej integrácii viacerých procesov, čím sa dosahuje efekt „1+1>2“.

Riešenie na jednom mieste: Vďaka internému robotickému ramenu dokáže doštička automaticky dokončiť celý proces hrubého brúsenia → jemného brúsenia → suchého leštenia → čistenia a sušenia, čím sa predchádza riziku fragmentácie spôsobenej viacnásobnou manipuláciou a výrazne sa skracuje výrobný cyklus. DGP8761 dokáže konzistentne dosiahnuť celkovú variáciu hrúbky (TTV) menšiu ako 3 μm pri zachovaní vysokej pevnosti v ohybe.

Suché leštenie a zachytávanie lepkavej látky (zachytávanie): Toto je jedna z najoceňovanejších vlastností DGP8761. Využíva suché leštenie v osi Z3 na odstránenie vrstvy brúsneho napätia, čo je nielen ekologickejšie ako tradičné mokré procesy (nepoužívajú sa žiadne chemikálie ani voda), ale tiež vytvára kontrolovateľnú vrstvu mikro-poškodenia vo vnútri doštičky, ktorá funguje ako „getrová zóna“ na zachytávanie kovových nečistôt, čím sa zlepšuje výťažnosť a spoľahlivosť čipu. Unikátna mikro-abrazívna technológia UltraPoligrind od spoločnosti DISCO si zachováva getrový efekt a zároveň dosahuje predtým nedosiahnuteľnú vysokú pevnosť čipu.

Flexibilná konfigurácia a ekosystém aplikácií

DGP8761 nie je izolované zariadenie; dokáže sa bezproblémovo integrovať do rôznych automatizačných systémov.

Rozšírenie pripojenia: Je možné ho pripojiť k multifunkčnému pripájaču doštičiek DFM2800 pre priame pripevnenie DAF (Die Attach Film) po zriedení. Môže sa tiež použiť na vytvorenie pokročilých procesných systémov, ako je DBG (Dicing Before Grinding), na zlepšenie výťažnosti tenkých doštičiek.

Údržba a náhradné diely: Kompatibilné s DISCO Rad 8000 si zachováva vysokú kompatibilitu, pričom kľúčové komponenty, ako sú brúsne kotúče a orovnávacie dosky, sú zameniteľné, čo uľahčuje údržbu a znižuje náklady na náhradné diely.

Softvér a obsluha: Vďaka využitiu grafického rozhrania založeného na vyspelej technológii série 8000 skracuje jednotná logika obsluhy čas potrebný na zaškolenie operátora.

Pozícia na trhu a aplikácie: DGP8761 sa široko používa v pokročilých puzdrách (HPC/AI/3D IC), výkonových polovodičoch a zariadeniach MEMS. Spoločnosť DISCO tiež poskytuje služby zlievarne v oblasti rezania a brúsenia pomocou tohto zariadenia vo svojich globálnych technologických centrách (napríklad v Číne a Singapure).

Údržba: Na zabezpečenie presnosti je nevyhnutné prísne dodržiavanie požiadaviek spoločnosti DISCO na prostredie (teplota a vlhkosť v rozmedzí ±1 °C, čistý stlačený vzduch) a spotrebný materiál. Okrem toho logika pohybu osi Z3 (vrátane 5 obrábacích sekvencií a parametrov polohy) priamo ovplyvňuje výťažnosť obrábania; nesprávne nastavenie parametrov môže viesť k problémom s procesom.

Súhrn: DISCO DGP8761 je špičkový brúsny/leštiaci stroj, ktorý dokonale kombinuje vysokú presnosť, vysokú účinnosť a flexibilitu procesov. Nielenže dláždi cestu pre špičkovú výrobu ultratenkých čipov, ale vďaka svojej výkonnej škálovateľnosti systému sa stáva aj kľúčovou súčasťou pri budovaní pokročilých inteligentných tovární na polovodiče. Pre popredných výrobcov, ktorí hľadajú najvyšší výkon a stabilitu procesov, predstavuje významnú strategickú investíciu.