DISCO mlynček na oblátky DFG8541

DISCO DFG8541 je plne automatizovaná brúska vyvinutá na splnenie potrieb stenčovania doštičiek s priemerom 8 palcov a menej. Ako vylepšenie svojho predchodcu, najpredávanejšieho DFG8540, ju možno umiestniť ako „hlavný model pre stenčovanie 8 palcových doštičiek“, známy svojou vysokou presnosťou, vysokou čistotou a vynikajúcou stabilitou, obzvlášť vhodný na spracovanie tvrdých a krehkých materiálov, ako je karbid kremíka (SiC).

Nasleduje podrobný úvod do jeho princípu fungovania, základných funkcií, špecifikácií a trhovej hodnoty.

Princíp fungovania: Dvojjadrová synergia účinnosti a presnosti

DFG8541 využíva architektúru „dvojvretenové, trojprísavkové“.

Jasné rozdelenie práce: Jedno vreteno nesie hrubý brúsny kotúč na rýchle odstránenie hlavného materiálu zo zadnej strany doštičky; druhé vreteno nesie jemný brúsny kotúč na jemné obrábanie povrchu, čím sa dosahuje hladký, plochý a bezchybný konečný výsledok.

Vysoko efektívny proces: Doštička sa vákuovo adsorbuje na pracovný stôl. Vďaka presnému plánovaniu procesu sa dosahuje plne automatizovaný pracovný postup „jednorazového upnutia, nepretržitého spracovania“, čím sa zabráni riziku kontaminácie a poškodenia spôsobeného prenosom materiálov medzi rôznymi zariadeniami.

Aplikácie a úlohy: Viac než len kremík

Ako univerzálne zariadenie zohráva kľúčovú úlohu v oblasti polovodičov tretej generácie.

Hlavná úloha: Riedenie 8-palcových a menších doštičiek (Si/SiC) na cieľové hrúbky, zabezpečenie vynikajúcej rovnomernosti hrúbky (TTV) a odstránenie povrchových poškodených vrstiev spôsobených predchádzajúcimi procesmi.

Vznikajúci pilier: Vďaka výberu vretena s vysokým krútiacim momentom dokáže DFG8541 stabilne spracovávať materiály s ultra vysokou tvrdosťou, ako je SiC. To je hlavný dôvod, prečo je na súčasnom trhu s výkonovými polovodičmi veľmi obľúbený.

Prehľad kľúčových parametrov

Kategória parametrov | Špecifické špecifikácie

Použiteľné obrobky: Φ8 palcov (200 mm) a menej; kompatibilné s doštičkami Φ4, 5, 6 a 8 palcov s použitím univerzálneho skľučovadla

Metóda brúsenia: Rotačné pozdĺžne brúsenie s posuvom

Konfigurácia vretena: Dve vretená (2 osi), vzduchovo-hydrostatické ložisko vretena (štandard)

Otáčky vretena: 1 000 – 7 000 ot./min.

Výkon vretena: Štandard 4,2 kW

Konfigurácia pracovného stola: Tri pracovné stoly (3 upínacie stoly)

Špecifikácie brúsneho kotúča: Diamantový brúsny kotúč s priemerom Φ200 mm

Rozmery zariadenia (Š x H x V): Približne 1 100 × 2 800 × 1 800 mm

Hmotnosť zariadenia: približne 3 000 kg

Kľúčové funkcie a vlastnosti

DFG8541 predstavuje významný upgrade oproti DFG8540.

Podrobný popis funkcií/vlastností

Vynikajúce čistiace schopnosti: Viacstupňové dvojkvapalné trysky: V porovnaní s tradičným čistením vzduch-voda táto technológia účinne odstraňuje jemné prachové častice priľnuté k doštičke po brúsení. Táto technológia sa široko používa v kľúčových pracovných staniciach, ako sú prísavky a obrobky, čím účinne znižuje riziko zlomenia tenkej doštičky.

Bezkontaktné zarovnanie: Využíva kameru na lokalizáciu stredu doštičky, čím nahrádza fyzický kontakt a eliminuje škrabance alebo poškodenie hrán počas procesu zarovnávania.

Inteligentná výroba: Recept na jeden plátok: Umožňuje automatické spracovanie rôznych plátkov v rámci tej istej kazety s plátkami podľa ich príslušných prednastavených receptov (hrúbka mletia, rýchlosť atď.), čím sa dokonale prispôsobuje viacvrstvovej výrobe malých dávok.

Funkcie ochrany doštičiek: Integruje viacero ochranných mechanizmov vrátane mapovania doštičiek (zabránenie nesprávnemu zarovnaniu/prázdnej doštičke), predbežnej kontroly hrúbky (zabránenie dvojitému nalepeniu) a vákuového udržiavania (alarm náhleho výpadku napájania), čím zaisťuje bezpečnosť vysokohodnotných doštičiek.

Elektricky nastaviteľná korekcia sklonu: Sklon prísavky je možné elektricky doladiť pomocou hodnôt na obrazovke, čím sa optimalizuje tvar obrábania a skracuje sa manuálny čas prestojov potrebný na kalibráciu.

Výrazne vylepšená použiteľnosť: 19-palcová väčšia obrazovka s grafickým používateľským rozhraním: V porovnaní s 15-palcovou obrazovkou DFG8540 je displej nielen väčší, ale ponúka aj intuitívne grafické používateľské rozhranie.

Optimalizovaná údržba: Vylepšená vnútorná čistiaca štruktúra uľahčuje údržbu.

Úspora energie a kompaktný dizajn: Nové vzduchové vreteno znižuje spotrebu vzduchu o 50 %; vstavaná konštrukcia vákuového čerpadla znižuje zastavanú plochu o 15 % v porovnaní s predchodcom, čím sa dosahujú ekologické úspory v oblasti hardvéru aj prevádzky.

Pozícia na trhu a hodnota: V porovnaní s vlajkovou loďou DGP8761, ktorá je zameraná na 12-palcový trh, sa DFG8541 viac zameriava na 8-palcový trh, čo z neho robí typický „vysokovýkonný a cenovo dostupný“ vlajkový stroj:

Postavenie vo výkone: DFG8541 je výkonnostným štandardom pre 8-palcové brúsky. Vďaka výberu vretena s vysokým krútiacim momentom úspešne prekonáva problémy s stenčovaním tvrdých a krehkých materiálov, ako je SiC, a upevňuje si tak absolútnu výhodu na trhu s 8-palcovými brúskami.

Investičná hodnota: Ako stabilný upgrade na vyspelu platformu je spoľahlivý z hľadiska dlhodobej stabilnej prevádzky a nepretržitého výkonu, čo z neho robí vysoko efektívnu, nízkorizikovú a spoľahlivú voľbu pre investíciu do 8-palcových výrobných liniek. Najlepšie domáce univerzity (ako napríklad Univerzita Xi'an Jiaotong) už toto zariadenie zakúpili pre špičkový výskum.

Požiadavky na údržbu a inštaláciu: Na zabezpečenie dlhodobej stabilnej a vysoko presnej prevádzky zariadenia DFG8541 je potrebné prísne dodržiavať požiadavky spoločnosti DISCO týkajúce sa prostredia inštalácie:

Čistota prostredia: Musí byť inštalovaný vo vysoko čistej miestnosti. Teplota okolia musí byť stabilná na úrovni 20 – 25 ℃ s výkyvmi kontrolovanými v rozmedzí ± 1 ℃. Relatívna vlhkosť vzduchu sa zvyčajne vyžaduje pod 55 %.

Napájací zdroj:

Stlačený vzduch: Vyžaduje sa čistý, suchý a bezolejový vysoko čistý stlačený vzduch s tlakom 0,5 MPa alebo vyšším.

Elektrina: Vyžaduje sa trojfázový zdroj napájania zodpovedajúci požiadavkám zariadenia na napájanie.

Chladiaca voda: Na chladenie vretena je potrebná deionizovaná voda (DI voda) so stabilným prietokom a konštantnou teplotou. Teplota vody by sa mala zvyčajne zhodovať s teplotou miestnosti s minimálnymi teplotnými výkyvmi.

Pravidelná kontrola a výmena brúsnych kotúčov, čistenie vákuových skľučovadiel a údržba vzduchového vretena sú kľúčové pre predĺženie životnosti zariadenia a zabezpečenie výťažnosti spracovania.

Stručne povedané, DISCO DFG8541 je vyspelé a spoľahlivé riešenie na stenčovanie 8-palcových doštičiek. Dosahuje špičkový výkon v odvetví vo svojich kľúčových oblastiach a je komplexne optimalizované pre automatizáciu, čistotu a jednoduché používanie, aby spĺňalo potreby modernej výroby.