DISCO vafeļu dzirnaviņas DGP8761

DISCO DGP8761 ir pilnībā automatizēta slīpēšanas/pulēšanas mašīna, kas pārstāv savas tehnoloģijas virsotni un ir īpaši izstrādāta augstas efektivitātes 12 collu (300 mm) vafeļu retināšanas procesiem. Tās galvenā iezīme ir spēja pabeigt visu procesu — sākot no aizmugures rupjās slīpēšanas un smalkās slīpēšanas līdz sprieguma noņemšanai — vienā, nepārtrauktā darbībā, konsekventi apstrādājot vafeles īpaši plānās kārtās, kuru biezums ir zem 25 μm.

Kā oficiālais jauninājums labi zināmajam un vislabāk pārdotajam DGP8760, tas lepojas ar izciliem pārdošanas rādītājiem starp vadošajiem ražotājiem visā pasaulē un ir būtiska iekārta progresīviem iepakojumiem, barošanas ierīcēm un citiem procesiem, kam nepieciešama īpaši plānu plākšņu izgatavošana.

Aparatūras kodols: trīsasu dizaina atjautība un evolūcija

DGP8761 veiktspējas evolūcijas pamatā ir tā precīzā trīs asu (3 asis) un četru patronu galdu (4 patronu galdi) arhitektūra.

Trīs asu darba dalīšana:

Z1 ass (rupja slīpēšana): atbild par lielākās daļas materiāla ātru noņemšanu no vafeļa aizmugures.

Z2 ass (smalka slīpēšana): veic smalku slīpēšanu uz vafeļu virsmas, panākot precīzu biezuma kontroli.

Z3 ass (daudzpusīga apstrāde): Tas ir tās elastības atslēga. Lietotāji var izvēlēties sauso pulēšanu (sprieguma mazināšanai), īpaši precīzu slīpēšanu (Poligrind/UltraPoligrind) vai īpašus CMP moduļus, lai panāktu sprieguma noņemšanu, getera noņemšanu un citas funkcijas atkarībā no procesa prasībām.

Jaunizstrādāta vārpsta: Jaunā vārpsta atbalsta ātrgaitas slīpēšanu, efektīvi saīsinot plānu plākšņu apstrādes laiku. Vienlaikus optimizētais transportēšanas izkārtojums samazina apstrādes laiku, uzlabojot kopējo efektivitāti.

Augstākas vārpstas veiktspējas specifikācijas:

Z1/Z2 ass: vārpstas jauda palielināta līdz 6,3 kW, ātrums 1000–4000 min⁻¹, Z ass gājiens 120 mm.

Z3 ass: vārpstas jauda 5,3 kW, Z ass gājiens 65 mm.

Z ass precizitāte: vertikālā padeves ātrums 0,0001–0,08 mm/s, minimālais gājiens 0,1 μm nodrošina apstrādes precizitāti.

Detalizēta specifikāciju pārskats

Parametra kategorija | Specifiskie rādītāji

Piemērojamais sagataves izmērs: Φ200 mm / Φ300 mm (8 collas / 12 collas)

Slīpēšanas metode: Z1/Z2 ass: Padeves slīpēšana (vafeles rotācija)

Z3 ass: anomāla padeves slīpēšana (īpaša vafeļu rotācija)

Vārpstas konfigurācija: Trīs vārpstas (3 asis)

Darba galda konfigurācija: Četri patronu galdi (4 patronu galdi), izmantojot rotējošā galda sistēmu

Slīpēšanas/pulēšanas instrumenti: Z1/Z2 Ass: Φ300 mm dimanta slīpripa

Z3 ass (DP): Φ450 mm sausās pulēšanas spilventiņš

Z3 ass (CMP): Φ450 mm CMP pulēšanas spilventiņš

Iekārtas izmēri: 1690 mm (platums) × 3315 mm (dziļums) × 1800 mm (augstums)

FOUP stiprinājuma modelis: × 3452 mm (Dz)

Iekārtas svars: aptuveni 6700 kg (DP, Poligrind konfigurācija)

Aptuveni 6900 kg (CMP konfigurācija)

Jaudas prasības: Trīsfāžu 200/220/380/400 V, 50/60 Hz

Saspiests gaiss: virs 0,5 MPa, tīrs un bez eļļas, rasas punkts zem -15 ℃

Galvenās funkcijas un procesa priekšrocības:

DGP8761 galvenā konkurētspēja ir veiksmīga vairāku procesu integrācija, panākot "1+1>2" efektu.

Vienas pieturas risinājums: Izmantojot iekšējo robotizēto roku, vafele var automātiski pabeigt visu procesu — rupjo slīpēšanu, smalko slīpēšanu, sauso pulēšanu, tīrīšanu un žāvēšanu, novēršot fragmentācijas risku, ko rada vairākkārtēja apstrāde, un ievērojami saīsinot ražošanas ciklu. DGP8761 var pastāvīgi sasniegt kopējā biezuma variāciju (TTV), kas ir mazāka par 3 μm, vienlaikus saglabājot augstu lieces izturību.

Sausā pulēšana un lipīgu vielu savākšana (iegūšana): šī ir viena no DGP8761 atzītākajām funkcijām. Tā izmanto Z3 ass sauso pulēšanu, lai noņemtu slīpēšanas sprieguma slāni, kas ir ne tikai videi draudzīgāk nekā tradicionālie mitrie procesi (netiek izmantotas ķīmiskas vielas vai ūdens), bet arī rada kontrolējamu mikrobojājumu slāni vafeles iekšpusē, darbojoties kā "getter zona", lai uztvertu metāliskus piemaisījumus, uzlabojot ražu un mikroshēmas uzticamību. DISCO unikālā UltraPoligrind mikroabrazīvā tehnoloģija saglabā getter efektu, vienlaikus sasniedzot iepriekš nesasniedzamu augstu mikroshēmas izturību.

Elastīga konfigurācija un lietojumprogrammu ekosistēma

DGP8761 nav izolēta ierīce; to var nemanāmi integrēt dažādās automatizācijas sistēmās.

Savienojamības paplašināšana: To var savienot ar DFM2800 daudzfunkcionālo plākšņu piestiprināšanas ierīci tiešai DAF (Die Attach Film) piestiprināšanai pēc retināšanas. To var izmantot arī, lai izveidotu progresīvas procesu sistēmas, piemēram, DBG (Dicing Before Grinding), lai uzlabotu plāno plākšņu ražu.

Apkope un rezerves daļas: Saderīgs ar DISCO 8000. sērija nodrošina augstu saderību, un galvenās sastāvdaļas, piemēram, slīpripas un pulēšanas plāksnes, ir savstarpēji aizvietojamas, tādējādi atvieglojot apkopi un samazinot rezerves daļu izmaksas.

Programmatūra un darbība: Izmantojot GUI saskarni, kuras pamatā ir nobriedusi 8000 sērijas tehnoloģija, vienotā darbības loģika saīsina operatora apmācības laiku.

Tirgus pozīcija un pielietojums: DGP8761 tiek plaši izmantots progresīvos iepakojumos (HPC/AI/3D IC), jaudas pusvadītājos un MEMS ierīcēs. DISCO savos globālajos tehnoloģiju centros (piemēram, Ķīnā un Singapūrā) sniedz arī griešanas un slīpēšanas liešanas pakalpojumus, izmantojot šo aprīkojumu.

Apkopes apsvērumi: Lai nodrošinātu precizitāti, ir svarīgi stingri ievērot DISCO vides (temperatūra un mitrums ±1°C robežās, tīrs saspiests gaiss) un palīgmateriālu prasības. Turklāt Z3 ass kustības loģika (ieskaitot 5 apstrādes secības un pozīcijas parametrus) tieši ietekmē apstrādes ražu; nepareizi parametru iestatījumi var izraisīt procesa problēmas.

Kopsavilkums: DISCO DGP8761 ir augstas klases slīpēšanas/pulēšanas mašīna, kas lieliski apvieno augstu precizitāti, augstu efektivitāti un procesa elastību. Tā ne tikai paver ceļu modernai īpaši plānu mikroshēmu ražošanai, bet arī, pateicoties tās jaudīgajai sistēmas mērogojamībai, kļūst par galveno komponentu modernu pusvadītāju viedo rūpnīcu veidošanā. Vadošajiem ražotājiem, kas meklē visaugstāko veiktspēju un procesa stabilitāti, tā ir nozīmīga stratēģiska investīcija.