DISCO vafli üyüdücü DGP8761

DISCO DGP8761, texnologiyasının zirvəsini təmsil edən tam avtomatlaşdırılmış üyütmə/cilalama maşınıdır və xüsusilə yüksək səmərəlilikli 12 düymlük (300 mm) lövhə incəltmə prosesləri üçün hazırlanmışdır. Əsas xüsusiyyəti, arxa tərəfdən kobud üyütmə və incə üyütmədən stressin aradan qaldırılmasına qədər bütün prosesi tək, davamlı bir əməliyyatla tamamlamaq, lövhələri 25 μm-dən aşağı ultra nazik qalınlıqlara qədər ardıcıl olaraq emal etmək qabiliyyətidir.

Tanınmış və ən çox satılan DGP8760-a rəsmi yeniləmə olaraq, dünyanın ən yaxşı istehsalçıları arasında üstün satış göstəricilərinə malikdir və qabaqcıl qablaşdırma, güc cihazları və ultra nazik lövhə istehsalı tələb edən digər proseslər üçün vacib bir avadanlıqdır.

Aparat Təchizatının Əsası: Üç Oxlu Dizaynın İxtiraçılığı və Təkamülü

DGP8761-in performans təkamülünün əsasını dəqiq üç oxlu (3 ox) və dörd çuqunlu (4 çuqunlu masa) arxitekturası təşkil edir.

Üç Oxlu Əmək Bölgüsü:

Z1 Ox (Kobud Üyüdülmə): Plitələrin arxa tərəfindən materialın çox hissəsini tez bir zamanda çıxarmaqdan məsuldur.

Z2 Ox (İncə Üyüdülmə): Plitənin səthində incə üyüdülmə işləri aparır və dəqiq qalınlıq nəzarətinə nail olur.

Z3 Ox (Çoxfunksiyalı Emal): Bu, onun elastikliyinin açarıdır. İstifadəçilər proses tələblərindən asılı olaraq, stressin aradan qaldırılması, qıcıqlanmanın aradan qaldırılması və digər funksiyalara nail olmaq üçün quru cilalama (stress relyefi), ultra dəqiq üyütmə (Poligrind/UltraPoligrind) və ya xüsusi CMP modullarını seçə bilərlər.

Yeni hazırlanmış mil: Yeni mil yüksək sürətli üyüdülməni dəstəkləyir və nazik lövhələrin emal müddətini effektiv şəkildə qısaldır. Eyni zamanda, optimallaşdırılmış daşınma sxemi emal olunmayan vaxtı azaldır və ümumi səmərəliliyi artırır.

Daha Yüksək Mili Performans Xüsusiyyətləri:

Z1/Z2 Ox: Mili gücü 6,3 kVt-a qədər artırıldı, sürət 1000 - 4000 dəq⁻¹, Z oxunun hərəkət məsafəsi 120 mm.

Z3 oxu: Mili güc 5.3 kVt, Z oxunun hərəkət məsafəsi 65 mm.

Z oxu dəqiqliyi: Şaquli qidalanma sürəti 0,0001 - 0,08 mm/s, minimum 0,1 μm hərəkət emal dəqiqliyini təmin edir.

Ətraflı Xüsusiyyətlərə Baxış

Parametr Kateqoriyası | Xüsusi Göstəricilər

Uyğun iş parçasının ölçüsü: Φ200 mm / Φ300 mm (8 düym / 12 düym)

Üyütmə Metodu: Z1/Z2 Ox: Yemdə üyüdülmə (vafli fırlanması)

Z3 Ox: Anormal qidalanma üyütmə (xüsusi lövhə fırlanması)

Mili Konfiqurasiya: Üç mil (3 ox)

İş masasının konfiqurasiyası: Dörd patron masası (4 patron masası), fırlanan masa sistemindən istifadə etməklə

Cilalama/Cilalama Alətləri: Z1/Z2 Ox: Φ300 mm almaz cilalama çarxı

Z3 Ox (DP): Φ450 mm quru cilalama yastığı

Z3 Ox (CMP): Φ450 mm CMP cilalama yastığı

Avadanlıq Ölçüləri: 1690 mm (E) × 3315 mm (D) × 1800 mm (H)

FOUP Montajlı Model: × 3,452 mm (D)

Avadanlıq Çəkisi: Təxminən 6700 kq (DP, Poligrind konfiqurasiyası)

Təxminən 6900 kq (CMP konfiqurasiyası)

Güc Tələbləri: Üç fazalı 200/220/380/400 V, 50/60 Hz

Sıxılmış hava: 0,5 MPa-dan yuxarı, təmiz və yağsız, şeh nöqtəsi -15℃-dən aşağı

Əsas funksiyalar və proses üstünlükləri:

DGP8761-in əsas rəqabət qabiliyyəti, "1+1>2" effektinə nail olmaqla, çoxsaylı proseslərin uğurlu inteqrasiyasındadır.

Tək Pəncərəli Həll: Daxili robot qol vasitəsilə lövhə, kobud üyütmə → incə üyütmə → quru cilalama → təmizləmə və qurutma prosesini avtomatik olaraq tamamlaya bilər, çoxsaylı işləmə nəticəsində yaranan parçalanma riskini aradan qaldırır və istehsal dövrünü əhəmiyyətli dərəcədə qısaldır. DGP8761, yüksək əyilmə möhkəmliyini qoruyarkən, ardıcıl olaraq 3μm-dən az ümumi qalınlıq dəyişikliyinə (TTV) nail ola bilər.

Quru Cilalama və Yapışqanlı Çıxarma (Çıxarma): Bu, DGP8761-in ən çox bəyənilən xüsusiyyətlərindən biridir. O, üyütmə gərginliyi təbəqəsini təmizləmək üçün Z3 oxlu quru cilalamadan istifadə edir ki, bu da ənənəvi yaş proseslərdən (kimyəvi maddələr və ya su istifadə olunmur) daha ekoloji cəhətdən təmiz olmaqla yanaşı, lövhənin içərisində idarəolunan mikro-zərər təbəqəsi yaradır və metal çirkləri tutmaq üçün "çıxarma zonası" kimi çıxış edir, məhsuldarlığı və çip etibarlılığını artırır. DISCO-nun unikal UltraPoligrind mikro-aşındırıcı texnologiyası əvvəllər əldə edilə bilməyən yüksək çip möhkəmliyinə nail olmaqla yanaşı, çip effektini qoruyur.

Çevik Konfiqurasiya və Tətbiq Ekosistemi

DGP8761 təcrid olunmuş bir cihaz deyil; müxtəlif avtomatlaşdırma sistemlərinə sorunsuz şəkildə inteqrasiya oluna bilər.

Bağlantı Genişləndirilməsi: İncəltmədən sonra birbaşa DAF (Die Attach Film) bərkitməsi üçün DFM2800 çoxfunksiyalı lövhə bərkidicisinə qoşula bilər. Nazik lövhələrin məhsuldarlığını artırmaq üçün DBG (Üyütmədən Əvvəl Doğranma) kimi qabaqcıl proses sistemləri qurmaq üçün də istifadə edilə bilər.

Texniki Xidmət və Ehtiyat Hissələri: DISCO ilə uyğundur. 8000 seriyası yüksək uyğunluğu qoruyur, üyütmə çarxları və sarğı lövhələri kimi əsas komponentlər bir-birini əvəz edə bilir, texniki xidməti asanlaşdırır və ehtiyat hissələrinin xərclərini azaldır.

Proqram təminatı və Əməliyyat: Yetkin 8000 seriyalı texnologiyaya əsaslanan GUI interfeysindən istifadə edərək, vahid əməliyyat məntiqi operator təlim müddətini qısaldır.

Bazar Mövqeyi və Tətbiqləri: DGP8761 qabaqcıl qablaşdırmada (HPC/AI/3D IC), güc yarımkeçiricilərində və MEMS cihazlarında geniş istifadə olunur. DISCO həmçinin qlobal texnologiya mərkəzlərində (məsələn, Çin və Sinqapurda) bu avadanlıqdan istifadə edərək doğrama və üyütmə tökmə xidmətləri göstərir.

Texniki Xidmətlə bağlı Mülahizələr: Dəqiqliyi təmin etmək üçün DISCO-nun ətraf mühit (±1°C temperatur və rütubət, təmiz sıxılmış hava) və istehlak tələblərinə ciddi şəkildə riayət etmək vacibdir. Bundan əlavə, Z3 oxunun hərəkət məntiqi (5 emal ardıcıllığı və mövqe parametrləri daxil olmaqla) emal məhsuldarlığına birbaşa təsir göstərir; düzgün olmayan parametr parametrləri proses problemlərinə səbəb ola bilər.

Xülasə: DISCO DGP8761, yüksək dəqiqlik, yüksək səmərəlilik və proses elastikliyini mükəmməl şəkildə birləşdirən yüksək səviyyəli üyütmə/cilalama maşınıdır. Bu, təkcə qabaqcıl ultra nazik çip istehsalı üçün yol açmır, həm də güclü sistem miqyaslılığı sayəsində qabaqcıl yarımkeçirici ağıllı fabriklərin qurulmasında əsas komponentə çevrilir. Ən yüksək performans və proses sabitliyi axtaran aparıcı istehsalçılar üçün bu, əhəmiyyətli strateji bir investisiyadır.