Измельчитель вафель DISCO DGP8761

Станок DISCO DGP8761 — это полностью автоматизированный шлифовально-полировальный станок, представляющий собой вершину технологического прогресса, разработанный специально для высокоэффективных процессов утонения 12-дюймовых (300-мм) пластин. Его ключевая особенность — способность выполнять весь процесс — от черновой и тонкой шлифовки обратной стороны до снятия напряжений — за одну непрерывную операцию, обеспечивая стабильную обработку пластин до сверхтонкой толщины менее 25 мкм.

Являясь официальным обновлением хорошо известной и самой продаваемой микросхемы DGP8760, она демонстрирует выдающиеся показатели продаж среди ведущих мировых производителей и является важнейшим элементом оборудования для передовых технологий упаковки, силовых устройств и других процессов, требующих изготовления сверхтонких пластин.

Аппаратная основа: изобретательность и эволюция трехкоординатной конструкции.

В основе повышения производительности DGP8761 лежит его точная трехкоординатная (3 оси) и четырехпозиционная (4 позиционных) архитектура.

Трехосевое разделение труда:

Ось Z1 (черновая шлифовка): отвечает за быстрое удаление большей части материала с обратной стороны пластины.

Ось Z2 (тонкая шлифовка): выполняет тонкую шлифовку поверхности пластины, обеспечивая точный контроль толщины.

Ось Z3 (универсальная обработка): это ключевой элемент гибкости системы. Пользователи могут выбрать сухую полировку (снятие напряжений), сверхточную шлифовку (Poligrind/UltraPoligrind) или специальные модули CMP для снятия напряжений, удаления геттера и других функций в зависимости от требований процесса.

Новая конструкция шпинделя: Новый шпиндель поддерживает высокоскоростное шлифование, эффективно сокращая время обработки тонких пластин. Одновременно оптимизированная схема транспортировки сокращает время, не связанное с обработкой, повышая общую эффективность.

Технические характеристики шпинделя с улучшенными характеристиками:

Ось Z1/Z2: Мощность шпинделя увеличена до 6,3 кВт, скорость 1000–4000 мин⁻¹, ход по оси Z 120 мм.

Ось Z3: мощность шпинделя 5,3 кВт, ход по оси Z 65 мм.

Точность по оси Z: Вертикальная скорость подачи 0,0001 - 0,08 мм/с, минимальный ход 0,1 мкм обеспечивают точность обработки.

Подробный обзор технических характеристик

Категория параметров | Конкретные показатели

Применимый размер заготовки: Φ200 мм / Φ300 мм (8 дюймов / 12 дюймов)

Метод шлифования: Ось Z1/Z2: Шлифование с подачей (вращение пластины)

Ось Z3: Аномальная подача при шлифовании (специальное вращение пластины)

Конфигурация шпинделя: Три шпинделя (3 оси)

Конфигурация рабочего стола: четыре патронных стола (4 патронных стола), с использованием системы поворотного стола.

Инструменты для шлифовки/полировки: ось Z1/Z2: алмазный шлифовальный круг диаметром 300 мм.

Ось Z3 (DP): полировальная подушка для сухой полировки диаметром 450 мм.

Ось Z3 (CMP): полировальная подушка для CMP диаметром 450 мм.

Габариты оборудования: 1690 мм (Ш) × 3315 мм (Г) × 1800 мм (В)

Модель FOUP в монтировке: × 3452 мм (диаметр)

Вес оборудования: приблизительно 6700 кг (конфигурация DP, Poligrind)

Приблизительно 6900 кг (в конфигурации CMP)

Требования к электропитанию: трехфазное напряжение 200/220/380/400 В, 50/60 Гц.

Сжатый воздух: давление выше 0,5 МПа, чистый и безмасляный, точка росы ниже -15℃.

Основные функции и преимущества процесса:

Ключевое конкурентное преимущество DGP8761 заключается в успешной интеграции множества процессов, что позволяет достичь эффекта «1+1>2».

Комплексное решение: благодаря встроенному роботизированному манипулятору пластина автоматически проходит весь процесс от черновой шлифовки → тонкой шлифовки → сухой полировки → очистки и сушки, избегая риска фрагментации, вызванного многократной обработкой, и значительно сокращая производственный цикл. DGP8761 обеспечивает стабильное изменение общей толщины (TTV) менее 3 мкм при сохранении высокой прочности на изгиб.

Сухая полировка и захват частиц (геттинг): это одна из самых известных особенностей DGP8761. Она использует сухую полировку по оси Z3 для удаления слоя напряжений, возникающих при шлифовании, что не только более экологично, чем традиционные влажные процессы (без использования химикатов или воды), но и создает контролируемый слой микроповреждений внутри пластины, действующий как «зона захвата» для улавливания металлических примесей, повышая выход годной продукции и надежность чипа. Уникальная микроабразивная технология UltraPoligrind от DISCO сохраняет эффект геттинга, обеспечивая при этом ранее недостижимую высокую прочность чипа.

Гибкая конфигурация и экосистема приложений

DGP8761 — это не изолированное устройство; оно может беспрепятственно интегрироваться в различные системы автоматизации.

Расширение возможностей подключения: его можно подключить к многофункциональному устройству для крепления пластин DFM2800 для прямого нанесения пленки DAF (Die Attach Film) после утонения. Также его можно использовать для создания передовых технологических систем, таких как DBG (Dicing Before Grinding), для повышения выхода годных тонких пластин.

Техническое обслуживание и запасные части: Совместимость с DISCO. Серия 8000 отличается высокой совместимостью: ключевые компоненты, такие как шлифовальные круги и правящие плиты, взаимозаменяемы, что упрощает техническое обслуживание и снижает затраты на запасные части.

Программное обеспечение и управление: Использование графического интерфейса пользователя (GUI), основанного на отработанной технологии серии 8000, позволяет создать единую логику управления и сократить время обучения операторов.

Рыночное положение и области применения: DGP8761 широко используется в передовых технологиях упаковки (HPC/AI/3D IC), силовых полупроводниках и MEMS-устройствах. Компания DISCO также предоставляет услуги по резке и шлифовке полупроводников с использованием этого оборудования в своих глобальных технологических центрах (например, в Китае и Сингапуре).

Рекомендации по техническому обслуживанию: Для обеспечения точности необходимо строго соблюдать требования DISCO к условиям окружающей среды (температура и влажность в пределах ±1°C, чистый сжатый воздух) и расходным материалам. Кроме того, логика перемещения оси Z3 (включая 5 последовательностей обработки и параметры положения) напрямую влияет на выход годной продукции; неправильная настройка параметров может привести к проблемам в процессе обработки.

Краткое описание: DISCO DGP8761 — это высокопроизводительный шлифовально-полировальный станок, идеально сочетающий в себе высокую точность, эффективность и гибкость процесса. Он не только открывает путь к передовому производству сверхтонких микросхем, но и, благодаря своей мощной масштабируемости, становится ключевым компонентом в создании современных интеллектуальных заводов по производству полупроводников. Для ведущих производителей, стремящихся к высочайшей производительности и стабильности процесса, это представляет собой значительную стратегическую инвестицию.