Измельчитель вафель DISCO DFG8541

Шлифовальный станок DISCO DFG8541 — это полностью автоматизированный станок, разработанный для утонения пластин диаметром 8 дюймов и меньше. Являясь усовершенствованной версией своего предшественника, бестселлера DFG8540, он позиционируется как «основная модель для утонения 8-дюймовых пластин», известная своей высокой точностью, чистотой и превосходной стабильностью, особенно подходящая для обработки твердых и хрупких материалов, таких как карбид кремния (SiC).

Ниже приведено подробное описание принципа его работы, основных функций, технических характеристик и рыночной стоимости.

Принцип работы: двухъядерная синергия эффективности и точности.

В микросхеме DFG8541 используется архитектура "двухшпиндельная, с тремя присосками".

Четкое разделение труда: на одном шпинделе установлен крупнозернистый шлифовальный круг для быстрого удаления основного материала с обратной стороны пластины; на другом шпинделе установлен мелкозернистый шлифовальный круг для тонкой обработки поверхности, что позволяет получить гладкий, ровный и неповрежденный конечный результат.

Высокоэффективный процесс: пластина вакуумно адсорбируется на рабочем столе. Благодаря точному планированию процесса достигается полностью автоматизированный рабочий процесс «однократное зажимание, непрерывная обработка», исключающий риски загрязнения и повреждения, вызванные перемещением материалов между различными устройствами.

Области применения и роли: за пределами кремниевой промышленности

Как устройство общего назначения, оно играет решающую роль в области полупроводников третьего поколения.

Основная задача: истончение кремниевых пластин (Si/SiC) размером 8 дюймов и менее до заданной толщины, обеспечение превосходной однородности толщины (TTV) и удаление слоев повреждения поверхности, вызванных предыдущими процессами.

Перспективный продукт: Благодаря использованию шпинделя с высоким крутящим моментом, станок DFG8541 способен стабильно обрабатывать материалы сверхвысокой твердости, такие как карбид кремния (SiC). Это основная причина его высокой популярности на современном рынке силовых полупроводников.

Обзор ключевых параметров

Категория параметров | Конкретные характеристики

Применимые заготовки: диаметром 8 дюймов (200 мм) и меньше; совместимость с пластинами диаметром 4, 5, 6 и 8 дюймов при использовании универсального патрона.

Метод шлифования: Вращательное продольное шлифование с подачей материала.

Конфигурация шпинделя: два шпинделя (2 оси), шпиндель с пневматическими гидростатическими подшипниками (стандартная комплектация).

Скорость вращения шпинделя: 1000–7000 об/мин.

Мощность шпинделя: стандартная 4,2 кВт.

Конфигурация рабочего стола: Три рабочих стола (3 стола для зажима патронов)

Технические характеристики шлифовального круга: алмазный шлифовальный круг диаметром 200 мм.

Габариты оборудования (Ш x Г x В): приблизительно 1100 × 2800 × 1800 мм.

Вес оборудования: приблизительно 3000 кг.

Основные функции и особенности

Модель DFG8541 представляет собой значительное усовершенствование по сравнению с DFG8540.

Характеристики/Функции. Подробное описание.

Превосходные возможности очистки: Многопозиционные двухжидкостные форсунки: По сравнению с традиционной очисткой воздухом и водой, эта технология эффективно удаляет мелкие частицы пыли, прилипшие к пластине после шлифовки. Эта технология широко используется в основных рабочих зонах, таких как присоски и заготовки, эффективно снижая риск поломки тонких пластин.

Бесконтактное выравнивание: использует камеру для определения центра пластины, заменяя физический контакт и исключая царапины или повреждения краев в процессе выравнивания.

Интеллектуальное производство: рецептура для каждой пластины: позволяет автоматически обрабатывать различные пластины в одной и той же кассете в соответствии с заданными для них рецептами (толщина помола, скорость и т. д.), идеально адаптируясь к мелкосерийному производству различных видов продукции.

Функции защиты пластин: Интегрирует несколько механизмов защиты, включая картирование пластины (защита от смещения/пустых пластин), предварительный контроль толщины (защита от дублирования ленты) и вакуумную фиксацию (сигнализация о внезапном отключении питания), обеспечивая безопасность дорогостоящих пластин.

Электрически регулируемая коррекция наклона: наклон присоски можно точно настроить с помощью электропривода, отображаемого на экране, что оптимизирует форму обработки и сокращает время ручной калибровки.

Значительно улучшена функциональность: увеличенный 19-дюймовый графический интерфейс пользователя: по сравнению с 15-дюймовым экраном DFG8540, дисплей не только больше, но и имеет интуитивно понятный графический интерфейс пользователя.

Оптимизированное техническое обслуживание: улучшенная внутренняя конструкция для очистки упрощает техническое обслуживание.

Энергосбережение и компактная конструкция: новый пневматический шпиндель снижает потребление воздуха на 50%; встроенный вакуумный насос уменьшает габариты на 15% по сравнению с предшественником, обеспечивая экономию средств как на оборудовании, так и в процессе эксплуатации.

Позиционирование на рынке и ценность: По сравнению с флагманской моделью DGP8761, ориентированной на рынок 12-дюймовых экранов, DFG8541 больше нацелена на рынок 8-дюймовых экранов, что делает ее типичной флагманской моделью, отличающейся высокой производительностью и экономичностью:

Позиционирование по производительности: DFG8541 является эталоном производительности для 8-дюймовых шлифовальных машин. Благодаря использованию шпинделя с высоким крутящим моментом, она успешно преодолевает проблемы истончения твердых и хрупких материалов, таких как SiC, укрепляя свои позиции на рынке 8-дюймовых шлифовальных машин.

Инвестиционная ценность: Являясь стабильным обновлением зрелой платформы, это оборудование отличается надежностью в долгосрочной перспективе и обеспечивает непрерывный поток продукции, что делает его высокоэффективным, низкорисковым и надежным выбором для инвестиций в оборудование для 8-дюймовых производственных линий. Ведущие отечественные университеты (например, Сианьский университет Цзяотун) уже приобрели это оборудование для проведения передовых исследований.

Требования к техническому обслуживанию и установке: Для обеспечения долгосрочной стабильной и высокоточной работы DFG8541 необходимо строгое соблюдение требований DISCO к условиям установки:

Чистота окружающей среды: Устройство должно быть установлено в чистом помещении с высокими требованиями к чистоте. Температура окружающей среды должна быть стабильной в пределах 20-25℃, с колебаниями, контролируемыми в пределах ±1℃. Относительная влажность, как правило, должна быть ниже 55%.

Источник питания:

Сжатый воздух: Требуется чистый, сухой и обезжиренный сжатый воздух высокой степени очистки под давлением 0,5 МПа или выше.

Электропитание: Требуется трехфазный источник питания, соответствующий требованиям оборудования к электропитанию.

Охлаждающая вода: Для охлаждения шпинделя необходима деионизированная вода (ДИ вода) со стабильным расходом и постоянной температурой. Температура воды, как правило, должна соответствовать комнатной температуре с минимальными колебаниями.

Регулярный осмотр и замена шлифовальных кругов, очистка вакуумных патронов и техническое обслуживание пневматического шпинделя имеют решающее значение для продления срока службы оборудования и обеспечения высокой производительности обработки.

В заключение, DISCO DFG8541 — это зрелое и надежное решение для истончения 8-дюймовых пластин. Оно демонстрирует лучшие в отрасли показатели в основных областях и всесторонне оптимизировано для автоматизации, чистоты и простоты использования, чтобы соответствовать потребностям современного производства.