DISCO wafer grinder DGP8761

DISCO DGP8761 maashinii guutummaatti ofumaan hojjetu kan cirrachaa/polishing ta'ee fi olka'iinsa teeknooloojii isaa bakka bu'u yoo ta'u, adeemsa gahumsa olaanaa inchii 12 (300mm) weefar qallachuuf addatti kan qophaa'edha. Amalli isaa inni ijoo dandeettii adeemsa guutuu xumuruu isaati-gara duubaa rough grinding fi fine grinding irraa kaasee hanga dhiibbaa balleessuutti-hojii tokko, walitti fufiinsa qabuun, wal irraa hin cinne wafers hanga furdina ultra-thin 25μm gadiitti adeemsuudha.

Akka fooyya'iinsa ofiisaa gara DGP8760 beekamaa fi gurguramaa ta'etti, oomishtoota olaanoo addunyaa gidduutti raawwii gurgurtaa olaanaa kan qabu yoo ta'u, meeshaa murteessaa paakeejii sadarkaa olaanaa, meeshaalee humnaa, fi adeemsa biroo kan weefar baay'ee haphii ta'e hojjechuuf barbaachisudha.

Hardware Core: Ogummaa fi Jijjiirama Dizaayinii Siiqqee Sadii

Giddu-galeessi jijjiirama raawwii DGP8761 ijaarsa isaa sirrii ta'e kan siiqqeewwan sadii (3 axes) fi afur-chuck-tables (4 chuck tables) keessatti argama.

Qoodinsa Hojii Siiqqee Sadii:

Z1 Axis (Rough Grinding): Meeshaa irra caalaan isaa gama duubaa wafer irraa saffisaan baasuuf itti gaafatamummaa qaba.

Z2 Axis (Fine Grinding): Fuula wefer irratti fine grinding raawwata, to’annoo furdina sirrii galmaan ga’a.

Z3 Axis (Versatile Processing): Kun furtuu jijjiirama isaati. Fayyadamtoonni goggogaa polishing (dhiphina hir'isuu), ultra-precision grinding (Poligrind/UltraPoligrind), ykn moojuulota CMP addaa filachuu danda'u, dhiibbaa balleessuu, getter balleessuu, fi dalagaalee biroo galmaan ga'uuf, adeemsa barbaachisummaa irratti hundaa'uun.

Ispiindilii Haaraa Misoome: Ispiindiliin haaraan kun saffisa guddaadhaan qamadii kan deeggaru yoo ta’u, yeroo adeemsa weefroota haphii haala bu’a qabeessa ta’een gabaabsa. Kanuma waliin, haala geejjibaa fooyya’e yeroo adeemsa hin taane hir’isa, kunis gahumsa waliigalaa fooyyessa.

Ispeesifikeeshinii Gahumsa Ispiindilii Ol’aanaa:

Z1/Z2 Axis: Humna ispiindilii gara 6.3 kW, saffisa 1,000 - 4,000 min−1, Z-axis imala 120 mm.

Siiqqee Z3: Humna ispiindilii 5.3 kW, imala siiqqee Z 65 mm.

Sirrummaa Z-Axis: Saffisa nyaata dhaabbataa 0.0001 - 0.08 mm/s, imalli xiqqaan 0.1 μm sirrii ta’uu maashinii mirkaneessa.

Ijaarsa Bal'aa Haala Waliigalaa

Ramaddii Paarameetarii | Agarsiistota Addaa

Guddina Hojii Hojiirra Oolmaa: Φ200 mm / Φ300 mm (inchii 8 / inchii 12)

Mala Ciccituu: Z1/Z2 Siiqqee: Nyaata keessaa qamadii (naanneffamuu wafer) .

Siiqqee Z3: Nyaata keessaa kan hin baramne (naannoo weefar addaa) .

Qindeessituu Ispiindilii: Ispiindilii sadii (3 axes) .

Qindeessituu Gabatee Hojii: Gabateewwan chuck afur (gabateewwan chuck 4), sirna gabatee naanneffamuu fayyadamuun

Meeshaalee Ciccituu/Polishing: Z1/Z2 Siiqqee: Φ300 mm wiil daayimandii cirrachaa

Siiqqee Z3 (DP): Φ450 mm paadiin goggogaa polishing

Siiqqee Z3 (CMP): Φ450 mm CMP paadiin polishing

Safartuu Meeshaalee: 1,690 mm (W) × 3,315 mm (D) × 1,800 mm (H) .

Moodeela FOUP irratti fe'ame: × 3,452 mm (D)

Ulfaatina Meeshaalee: Tilmaamaan. 6,700 kg (DP, qindeessaa Poligrind) .

Tilmaamaan. 6,900 kg (Qindaa'ina CMP) .

Humna Barbaachisu: Faasii sadii 200/220/380/400 V, 50/60 Hz

Qilleensa Dhiibbaa: 0.5 MPa ol, qulqulluu fi zayita irraa bilisa, qabxiin bokkaa -15°C gadi

Hojiiwwan Ijoo fi Faayidaa Adeemsaa:

Dorgommiin ijoo DGP8761 adeemsa hedduu milkaa'inaan walitti makuu isaatiin, bu'aa "1+1>2" galmaan ga'uu isaati.

Furmaata Dhaabbata Tokko: Karaa harka roobootii keessootiin, weefar adeemsa hunda ofumaan xumuruu danda’a, kunis balaa ciccituu dachaa qabachuudhaan dhufu hambisuu fi marsaa oomishaa haalaan gabaabsuu danda’a. DGP8761n cimina qaxxaamuraa olaanaa eeguudhaan jijjiirama furdina waliigalaa (TTV) 3μm gadi ta’e wal irraa hin cinne galmaan gahuu danda’a.

Dry Polishing fi Gooey Pickup (Getting): Kun wantoota DGP8761 keessatti baay'ee dinqisiifaman keessaa isa tokkodha. Innis Z3-axis dry polishing fayyadamuun laayibara dhiibbaa qamadii balleessuuf fayyadama, kunis adeemsa jiidha aadaa caalaa naannoodhaaf mijaawaa ta'uu qofa osoo hin taane (keemikaala ykn bishaan hin fayyadamne), garuu laayibara miidhaa xiqqaa to'atamuu danda'u wefer keessaa uumuun, akka "getter zone" ta'ee xurii sibiilaa qabachuuf tajaajila, oomishaa fi amanamummaa chippii fooyyessa. Teeknooloojiin addaa DISCO UltraPoligrind micro-abrasive jedhamu bu'aa getter kan qabatu yoo ta'u, humna chippii olaanaa kanaan dura hin argamne galmaan ga'a.

Sirna Ikoo Qindeessituu fi Fayyadama Daddabbii

DGP8761 meeshaa adda baafame miti; sirna otoomaatikii adda addaa keessatti haala wal hin tuqneen walitti makamuu danda’a.

Babal’ina Walitti Hidhamiinsa: Erga qalla’ee booda kallattiin DAF (Die Attach Film) walqabsiisuuf DFM2800 multi-functional wafer attacher waliin walqabsiisuu ni danda’ama. Akkasumas sirna adeemsa sadarkaa olaanaa kan akka DBG (Dicing Before Grinding) ijaaruun oomisha wafer haphii fooyyessuuf itti fayyadamuu ni danda’ama.

Suphaa fi Qaamolee: DISCO waliin kan walsimu 8000 series walsimsiisaa olaanaa kan qabu yoo ta’u, qaamoleen ijoo kanneen akka grinding wheels fi dressing plates wal jijjiiruun kan danda’amu yoo ta’u, suphaa kan mijeessuu fi baasii spare parts hir’isa.

Software fi Operation: Interface GUI kan teeknooloojii bilchaataa 8000 series irratti hundaa’e fayyadamuun, loojiki hojii tokkummaa yeroo leenjii opereteraa gabaabsa.

Ejjennoo Gabaa fi Fayyadama: DGP8761n paakeejii sadarkaa olaanaa (HPC/AI/3D IC), semikondaaktaroota humnaa, fi meeshaalee MEMS keessatti bal’inaan fayyadama. DISCOn meeshaa kana fayyadamuun wiirtuuwwan teeknooloojii addunyaa isaa (kan akka Chaayinaa fi Singaapoor) keessattis tajaajila faawundirii daayisii fi qamadii ni kenna.

Yaadannoowwan Suphaa: Sirrummaa mirkaneessuuf, barbaachisummaa naannoo (ho’aa fi jiidhinni ±1°C keessa jiru, qilleensa dhiibbaa qulqulluu) fi fayyadamaa DISCO cimsee hordofuun barbaachisaa dha. Kana malees, loojikii sochii siiqqee Z3 (tartiiba maashinii 5 fi paaraameetota iddoo dabalatee) kallattiin oomisha maashinii irratti dhiibbaa qaba; qindaa'inoota paarameetira sirrii hin taane rakkoo adeemsaa fiduu danda'a.

Guduunfaa: DISCO DGP8761 maashinii cirrachaa/polishing sadarkaa olaanaa qabuu fi sirritti ol’aanaa, gahumsa olaanaa, fi adeemsa jijjiirama haala gaariin walitti fidudha. Oomisha chiipsii ultra-thin sadarkaa olaanaa qabuuf karaa saaquu qofa osoo hin taane, karaa humna guddaa sirna guddina qabuun, warshaalee ismaartii semiconductor sadarkaa olaanaa qaban ijaaruu keessatti qaama ijoo ta'a. Oomishtoota adda duree raawwii olaanaa fi tasgabbii adeemsaa barbaadaniif invastimantii tarsiimoo guddaa bakka bu’a.