DISCO mlin za oblatne DGP8761

DISCO DGP8761 je potpuno automatizirana mašina za brušenje/poliranje koja predstavlja vrhunac svoje tehnologije, dizajnirana posebno za visokoefikasne procese stanjivanja pločica od 12 inča (300 mm). Njena ključna karakteristika je sposobnost da završi cijeli proces - od grubog brušenja zadnje strane i finog brušenja do uklanjanja napona - u jednoj, kontinuiranoj operaciji, dosljedno obrađujući pločice do ultra tankih debljina ispod 25 μm.

Kao zvanična nadogradnja dobro poznatog i najprodavanijeg DGP8760, može se pohvaliti izvanrednim prodajnim performansama među vodećim proizvođačima širom svijeta i ključni je dio opreme za napredno pakovanje, energetske uređaje i druge procese koji zahtijevaju izradu ultra tankih pločica.

Hardverska jezgra: Domišljatost i evolucija troosnog dizajna

Suština evolucije performansi DGP8761 leži u njegovoj preciznoj arhitekturi sa tri ose (3 ose) i četiri stezna stola (4 stezna stola).

Troosna podjela rada:

Z1 osa (grubo brušenje): Odgovorna za brzo uklanjanje većine materijala sa zadnje strane pločice.

Z2 osa (fino brušenje): Vrši fino brušenje površine pločice, postižući preciznu kontrolu debljine.

Z3 osa (svestrana obrada): Ovo je ključ njegove fleksibilnosti. Korisnici mogu odabrati suho poliranje (ublažavanje naprezanja), ultraprecizno brušenje (Poligrind/UltraPoligrind) ili posebne CMP module za postizanje uklanjanja naprezanja, uklanjanja getera i drugih funkcija, ovisno o zahtjevima procesa.

Novo razvijeno vreteno: Novo vreteno podržava brušenje velikom brzinom, efikasno skraćujući vrijeme obrade tankih pločica. Istovremeno, optimizovani raspored transporta smanjuje vrijeme neobrade, poboljšavajući ukupnu efikasnost.

Specifikacije za bolje performanse vretena:

Osa Z1/Z2: Snaga vretena povećana na 6,3 kW, brzina 1.000 - 4.000 min⁻¹, hod Z-ose 120 mm.

Z3 osa: Snaga vretena 5,3 kW, hod Z-ose 65 mm.

Tačnost Z-ose: Vertikalna brzina pomaka od 0,0001 - 0,08 mm/s, minimalni pomak od 0,1 μm osigurava tačnost obrade.

Detaljni pregled specifikacija

Kategorija parametra | Specifični indikatori

Primjenjiva veličina radnog komada: Φ200 mm / Φ300 mm (8 inča / 12 inča)

Metoda brušenja: Z1/Z2 Osa: Ulazno brušenje (rotacija pločice)

Z3 osa: Anomalno brušenje ulaznog materijala (posebna rotacija pločice)

Konfiguracija vretena: Tri vretena (3 ose)

Konfiguracija radnog stola: Četiri stezna stola (4 stezna stola), korištenjem sistema rotacionog stola

Alati za brušenje/poliranje: Osa Z1/Z2: Dijamantska brusna ploča Φ300 mm

Z3 osa (DP): Φ450 mm jastučić za suho poliranje

Z3 osa (CMP): Φ450 mm CMP polirajuća ploča

Dimenzije opreme: 1.690 mm (Š) × 3.315 mm (D) × 1.800 mm (V)

FOUP model montiran na platformu: × 3.452 mm (D)

Težina opreme: cca. 6.700 kg (DP, konfiguracija Poligrind)

Približno 6.900 kg (CMP konfiguracija)

Zahtjevi za napajanje: Trofazni 200/220/380/400 V, 50/60 Hz

Komprimovani vazduh: Iznad 0,5 MPa, čist i bez ulja, tačka rose ispod -15℃

Osnovne funkcije i prednosti procesa:

Osnovna konkurentnost DGP8761 leži u uspješnoj integraciji više procesa, postižući efekat "1+1>2".

Rješenje na jednom mjestu: Pomoću interne robotske ruke, pločica može automatski završiti cijeli proces grubog brušenja → finog brušenja → suhog poliranja → čišćenja i sušenja, izbjegavajući rizik od fragmentacije uzrokovane višestrukim rukovanjem i značajno skraćujući proizvodni ciklus. DGP8761 može konzistentno postići ukupnu varijaciju debljine (TTV) manju od 3μm uz održavanje visoke čvrstoće na savijanje.

Suho poliranje i skupljanje ljepljive mase (Getting): Ovo je jedna od najcjenjenijih karakteristika DGP8761. Koristi suho poliranje po Z3 osi za uklanjanje sloja naprezanja brušenja, što je ne samo ekološki prihvatljivije od tradicionalnih mokrih procesa (ne koriste se hemikalije ili voda), već i stvara kontrolirani sloj mikro oštećenja unutar pločice, djelujući kao "zona gettera" za hvatanje metalnih nečistoća, poboljšavajući prinos i pouzdanost čipa. DISCO-ova jedinstvena UltraPoligrind mikro-abrazivna tehnologija zadržava getter efekat, a istovremeno postiže prethodno nedostižnu visoku čvrstoću čipa.

Fleksibilna konfiguracija i ekosistem aplikacija

DGP8761 nije izolirani uređaj; može se besprijekorno integrirati u različite sisteme automatizacije.

Proširenje povezivanja: Može se povezati s multifunkcionalnim uređajem za pričvršćivanje pločica DFM2800 za direktno pričvršćivanje DAF-a (Die Attach Film) nakon prorjeđivanja. Također se može koristiti za izgradnju naprednih procesnih sistema kao što je DBG (Dicing Before Grinding) radi poboljšanja prinosa tankih pločica.

Održavanje i rezervni dijelovi: Kompatibilno s DISCO-om. Serija 8000 održava visoku kompatibilnost, s ključnim komponentama poput brusnih ploča i ploča za poravnavanje koje su zamjenjive, što olakšava održavanje i smanjuje troškove rezervnih dijelova.

Softver i rad: Korištenjem GUI interfejsa zasnovanog na zreloj tehnologiji serije 8000, ujedinjena logika rada skraćuje vrijeme obuke operatera.

Tržišna pozicija i primjene: DGP8761 se široko koristi u naprednim pakovanjima (HPC/AI/3D IC), energetskim poluprovodnicima i MEMS uređajima. DISCO također pruža usluge rezanja i mljevenja u ljevaonicama koristeći ovu opremu u svojim globalnim tehnološkim centrima (kao što su Kina i Singapur).

Razmatranja održavanja: Da bi se osigurala tačnost, neophodno je strogo pridržavanje DISCO-ovih zahtjeva za okolinu (temperatura i vlažnost unutar ±1°C, čist komprimirani zrak) i potrošni materijal. Nadalje, logika kretanja Z3 ose (uključujući 5 sekvenci obrade i parametara položaja) direktno utiče na prinos obrade; nepravilna podešavanja parametara mogu dovesti do problema u procesu.

Sažetak: DISCO DGP8761 je vrhunska mašina za brušenje/poliranje koja savršeno kombinuje visoku preciznost, visoku efikasnost i fleksibilnost procesa. Ne samo da otvara put najsavremenijoj proizvodnji ultra-tankih čipova, već i, zahvaljujući svojoj snažnoj skalabilnosti sistema, postaje ključna komponenta u izgradnji naprednih pametnih fabrika poluprovodnika. Za vodeće proizvođače koji traže najviše performanse i stabilnost procesa, predstavlja značajnu stratešku investiciju.