Melin waffer DISCO DGP8761

Mae'r DISCO DGP8761 yn beiriant malu/sgleinio cwbl awtomataidd sy'n cynrychioli uchafbwynt ei dechnoleg, wedi'i gynllunio'n benodol ar gyfer prosesau teneuo wafferi 12 modfedd (300mm) effeithlonrwydd uchel. Ei nodwedd allweddol yw ei allu i gwblhau'r broses gyfan—o falu garw ochr gefn a malu mân i gael gwared ar straen—mewn un gweithrediad parhaus, gan brosesu wafferi'n gyson i drwch ultra-denau o dan 25μm.

Fel yr uwchraddiad swyddogol i'r DGP8760 adnabyddus a mwyaf poblogaidd, mae'n ymfalchïo mewn perfformiad gwerthu rhagorol ymhlith gweithgynhyrchwyr gorau ledled y byd ac mae'n ddarn hanfodol o offer ar gyfer pecynnu uwch, dyfeisiau pŵer, a phrosesau eraill sy'n gofyn am weithgynhyrchu wafferi ultra-denau.

Craidd Caledwedd: Dyfeisgarwch ac Esblygiad y Dyluniad Tair Echel

Mae craidd esblygiad perfformiad y DGP8761 yn gorwedd yn ei bensaernïaeth fanwl gywir tair echelin (3 echelin) a phedair bwrdd cicio (4 bwrdd cicio).

Rhaniad Llafur Tair Echel:

Echel Z1 (Malu Garw): Yn gyfrifol am gael gwared â'r rhan fwyaf o'r deunydd yn gyflym o gefn y wafer.

Echel Z2 (Malu Mân): Yn malu'n fân ar wyneb y wafer, gan gyflawni rheolaeth drwch manwl gywir.

Echel Z3 (Prosesu Amlbwrpas): Dyma'r allwedd i'w hyblygrwydd. Gall defnyddwyr ddewis sgleinio sych (rhyddhau straen), malu manwl iawn (Poligrind/UltraPoligrind), neu fodiwlau CMP arbennig i gyflawni tynnu straen, tynnu getter, a swyddogaethau eraill, yn dibynnu ar ofynion y broses.

Werthyd Newydd ei Ddatblygu: Mae'r werthyd newydd yn cefnogi malu cyflym, gan fyrhau'r amser prosesu ar gyfer wafferi tenau yn effeithiol. Ar yr un pryd, mae'r cynllun trafnidiaeth wedi'i optimeiddio yn lleihau'r amser di-brosesu, gan wella effeithlonrwydd cyffredinol.

Manylebau Perfformiad Gwerthyd Uwch:

Echel Z1/Z2: Cynyddwyd pŵer y werthyd i 6.3 kW, cyflymder 1,000 - 4,000 mun⁻¹, teithio echel-Z 120 mm.

Echel Z3: Pŵer y werthyd 5.3 kW, teithio echel-Z 65 mm.

Cywirdeb Echel-Z: Cyfradd bwydo fertigol o 0.0001 - 0.08 mm/s, mae teithio lleiaf o 0.1 μm yn sicrhau cywirdeb peiriannu.

Trosolwg Manwl o'r Manylebau

Categori Paramedr | Dangosyddion Penodol

Maint y Gwaith Gwaith Cymwys: Φ200 mm / Φ300 mm (8 modfedd / 12 modfedd)

Dull Malu: Echel Z1/Z2: Malu mewn-bwydo (cylchdroi wafer)

Echel Z3: Malu mewn-bwydo annormal (cylchdroi wafer arbennig)

Ffurfweddiad y Werthyd: Tri werthyd (3 echel)

Ffurfweddiad Bwrdd Gwaith: Pedwar bwrdd chuck (4 bwrdd chuck), gan ddefnyddio system bwrdd cylchdro

Offer Malu/Gwygio: Echel Z1/Z2: olwyn malu diemwnt Φ300 mm

Echel Z3 (DP): pad sgleinio sych Φ450 mm

Echel Z3 (CMP): pad sgleinio CMP Φ450 mm

Dimensiynau'r Offer: 1,690 mm (L) × 3,315 mm (D) × 1,800 mm (U)

Model wedi'i osod ar FOUP: × 3,452 mm (D)

Pwysau'r Offer: Tua 6,700 kg (DP, ffurfweddiad Poligrind)

Tua 6,900 kg (cyfluniad CMP)

Gofynion Pŵer: Tri cham 200/220/380/400 V, 50/60 Hz

Aer Cywasgedig: Uwchlaw 0.5 MPa, glân a di-olew, pwynt gwlith islaw -15 ℃

Swyddogaethau Craidd a Manteision Proses:

Mae cystadleurwydd craidd y DGP8761 yn gorwedd yn ei lwyddiant i integreiddio prosesau lluosog, gan gyflawni effaith "1+1>2".

Datrysiad Un Stop: Trwy fraich robotig fewnol, gall y wafer gwblhau'r broses gyfan o falu garw → malu mân → sgleinio sych → glanhau a sychu yn awtomatig, gan osgoi'r risg o ddarnio a achosir gan drin lluosog a byrhau'r cylch cynhyrchu yn sylweddol. Gall y DGP8761 gyflawni amrywiad trwch cyfan (TTV) o lai na 3μm yn gyson wrth gynnal cryfder plygu uchel.

Sgleinio Sych a Chasglu Gludiog (Cael): Dyma un o nodweddion mwyaf clodwiw'r DGP8761. Mae'n defnyddio sgleinio sych echelin Z3 i gael gwared ar yr haen straen malu, sydd nid yn unig yn fwy cyfeillgar i'r amgylchedd na phrosesau gwlyb traddodiadol (dim cemegau na dŵr yn cael eu defnyddio), ond hefyd yn creu haen micro-ddifrod y gellir ei rheoli y tu mewn i'r wafer, gan weithredu fel "parth caffiwr" i ddal amhureddau metelaidd, gan wella cynnyrch a dibynadwyedd sglodion. Mae technoleg micro-sgraffiniol unigryw UltraPoligrind DISCO yn cadw'r effaith caffiwr wrth gyflawni cryfder sglodion uchel na ellid ei gyflawni o'r blaen.

Ffurfweddiad Hyblyg ac Ecosystem Cymwysiadau

Nid dyfais ynysig yw'r DGP8761; gall integreiddio'n ddi-dor i wahanol systemau awtomeiddio.

Ehangu Cysylltedd: Gellir ei gysylltu â'r atodwr wafferi amlswyddogaethol DFM2800 ar gyfer atodiad DAF (Die Attach Film) uniongyrchol ar ôl teneuo. Gellir ei ddefnyddio hefyd i adeiladu systemau prosesu uwch fel DBG (Dicing Before Grinding) i wella cynnyrch wafferi tenau.

Cynnal a Chadw a Rhannau Sbâr: Yn gydnaws â DISCO Mae'r gyfres 8000 yn cynnal cydnawsedd uchel, gyda chydrannau allweddol fel olwynion malu a phlatiau gwisgo yn gyfnewidiol, gan hwyluso cynnal a chadw a lleihau costau rhannau sbâr.

Meddalwedd a Gweithrediad: Gan ddefnyddio rhyngwyneb GUI yn seiliedig ar dechnoleg gyfres 8000 aeddfed, mae'r rhesymeg weithredu unedig yn byrhau amser hyfforddi gweithredwyr.

Safle yn y Farchnad a Chymwysiadau: Defnyddir y DGP8761 yn helaeth mewn pecynnu uwch (HPC/AI/3D IC), lled-ddargludyddion pŵer, a dyfeisiau MEMS. Mae DISCO hefyd yn darparu gwasanaethau ffowndri disio a malu gan ddefnyddio'r offer hwn yn ei ganolfannau technoleg byd-eang (megis yn Tsieina a Singapore).

Ystyriaethau Cynnal a Chadw: Er mwyn sicrhau cywirdeb, mae'n hanfodol glynu'n gaeth at ofynion amgylcheddol (tymheredd a lleithder o fewn ±1°C, aer cywasgedig glân) a gofynion traul DISCO. Ar ben hynny, mae rhesymeg symudiad echel Z3 (gan gynnwys 5 dilyniant peiriannu a pharamedrau safle) yn effeithio'n uniongyrchol ar gynnyrch peiriannu; gall gosodiadau paramedr amhriodol arwain at broblemau prosesu.

Crynodeb: DISCO Mae'r DGP8761 yn beiriant malu/sgleinio pen uchel sy'n cyfuno cywirdeb uchel, effeithlonrwydd uchel, a hyblygrwydd prosesau yn berffaith. Nid yn unig y mae'n paratoi'r ffordd ar gyfer gweithgynhyrchu sglodion ultra-denau arloesol ond hefyd, trwy ei raddadwyedd system pwerus, mae'n dod yn elfen graidd wrth adeiladu ffatrïoedd clyfar lled-ddargludyddion uwch. I weithgynhyrchwyr blaenllaw sy'n chwilio am y perfformiad a'r sefydlogrwydd prosesau uchaf, mae'n cynrychioli buddsoddiad strategol sylweddol.