DISCO млинац за вафле DGP8761

DISCO DGP8761 је потпуно аутоматизована машина за брушење/полирање која представља врхунац своје технологије, дизајнирана посебно за високо ефикасне процесе стањивања плочица од 12 инча (300 мм). Њена кључна карактеристика је способност да заврши цео процес - од грубог брушења задње стране и финог брушења до уклањања напона - у једној, континуираној операцији, доследно обрађујући плочице до ултратанких дебљина испод 25 μм.

Као званична надоградња добро познатог и најпродаванијег DGP8760, може се похвалити изванредним продајним перформансама међу водећим произвођачима широм света и кључни је део опреме за напредно паковање, уређаје за напајање и друге процесе који захтевају израду ултратанких плочица.

Хардверско језгро: Домишљатост и еволуција троосног дизајна

Суштина еволуције перформанси DGP8761 лежи у његовој прецизној архитектури са три осе (3 осе) и четири стезна стола (4 стезна стола).

Троосна подела рада:

Z1 оса (грубо брушење): Одговорна за брзо уклањање већине материјала са задње стране плочице.

Z2 оса (фино брушење): Врши фино брушење површине плочице, постижући прецизну контролу дебљине.

Z3 оса (свестрана обрада): Ово је кључно за њену флексибилност. Корисници могу да изаберу суво полирање (ублажавање напона), ултрапрецизно брушење (Poligrind/UltraPoligrind) или посебне CMP модуле за постизање уклањања напона, уклањања гетера и других функција, у зависности од захтева процеса.

Новоразвијено вретено: Ново вретено подржава брушење великом брзином, ефикасно скраћујући време обраде танких плочица. Истовремено, оптимизовани распоред транспорта смањује време необраде, побољшавајући укупну ефикасност.

Спецификације за веће перформансе вретена:

Оса Z1/Z2: Снага вретена повећана на 6,3 kW, брзина 1.000 - 4.000 min⁻¹, кретање Z-осе 120 mm.

Оса Z3: Снага вретена 5,3 kW, кретање осе Z 65 mm.

Тачност Z-осе: Вертикална брзина померања од 0,0001 - 0,08 mm/s, минимални помак од 0,1 μm обезбеђује тачност обраде.

Детаљан преглед спецификација

Категорија параметра | Специфични индикатори

Применљива величина радног комада: Φ200 мм / Φ300 мм (8 инча / 12 инча)

Метод брушења: Z1/Z2 Оса: Улазно брушење (ротација плочице)

Z3 оса: Аномално брушење у улазу (специјална ротација плочице)

Конфигурација вретена: Три вретена (3 осе)

Конфигурација радног стола: Четири стезна стола (4 стезна стола), коришћење система ротационог стола

Алати за брушење/полирање: Z1/Z2 оса: Φ300 mm дијамантски брусни точак

Z3 оса (DP): Φ450 mm подлога за суво полирање

Z3 оса (CMP): CMP полирајућа плочица Φ450 mm

Димензије опреме: 1.690 mm (Ш) × 3.315 mm (Д) × 1.800 mm (В)

FOUP модел са монтираним системом: × 3.452 mm (D)

Тежина опреме: приближно 6.700 кг (DP, конфигурација Poligrind)

Приближно 6.900 кг (CMP конфигурација)

Захтеви за напајање: Трофазни 200/220/380/400 V, 50/60 Hz

Компримовани ваздух: Изнад 0,5 MPa, чист и без уља, тачка росе испод -15℃

Основне функције и предности процеса:

Основна конкурентност DGP8761 лежи у његовој успешној интеграцији вишеструких процеса, постижући ефекат „1+1>2“.

Решење на једном месту: Захваљујући интерној роботској руци, плочица може аутоматски да заврши цео процес грубог брушења → финог брушења → сувог полирања → чишћења и сушења, избегавајући ризик од фрагментације изазване вишеструким руковањем и значајно скраћујући производни циклус. DGP8761 може константно постићи укупну варијацију дебљине (TTV) мању од 3μm уз одржавање високе чврстоће на савијање.

Суво полирање и сакупљање лепљиве материје (гетирање): Ово је једна од најцењенијих карактеристика DGP8761. Користи суво полирање по Z3 оси за уклањање слоја напрезања брушења, што је не само еколошки прихватљивије од традиционалних мокрих процеса (не користе се хемикалије или вода), већ и ствара контролисани слој микрооштећења унутар плочице, делујући као „гетер зона“ за хватање металних нечистоћа, побољшавајући принос и поузданост чипа. DISCO-ова јединствена UltraPoligrind микроабразивна технологија задржава гетер ефекат док постиже раније недостижну високу чврстоћу чипа.

Флексибилна конфигурација и екосистем апликација

DGP8761 није изолован уређај; може се беспрекорно интегрисати у различите системе аутоматизације.

Проширење повезивања: Може се повезати са мултифункционалним причвршћивачем плочица DFM2800 за директно причвршћивање DAF (Die Attach Film) након проређивања. Такође се може користити за изградњу напредних процесних система као што је DBG (Dicing Before Grinding) ради побољшања приноса танких плочица.

Одржавање и резервни делови: Компатибилност са DISCO Серија 8000 одржава високу компатибилност, при чему су кључне компоненте као што су брусни точкови и плоче за обраду заменљиве, што олакшава одржавање и смањује трошкове резервних делова.

Софтвер и рад: Коришћењем графичког корисничког интерфејса заснованог на зрелој технологији серије 8000, обједињена логика рада скраћује време обуке оператера.

Тржишна позиција и примене: DGP8761 се широко користи у напредном паковању (HPC/AI/3D IC), енергетским полупроводницима и MEMS уређајима. DISCO такође пружа услуге сечења и млевења ливница користећи ову опрему у својим глобалним технолошким центрима (као што су Кина и Сингапур).

Разматрања одржавања: Да би се осигурала тачност, неопходно је строго придржавање DISCO-ових захтева за животну средину (температура и влажност унутар ±1°C, чист компримовани ваздух) и потрошни материјал. Штавише, логика кретања Z3 осе (укључујући 5 секвенци обраде и параметара положаја) директно утиче на принос обраде; неправилна подешавања параметара могу довести до проблема у процесу.

Резиме: DISCO DGP8761 је врхунска машина за брушење/полирање која савршено комбинује високу прецизност, високу ефикасност и флексибилност процеса. Она не само да отвара пут најсавременијој производњи ултратанких чипова, већ, захваљујући својој моћној скалабилности система, постаје кључна компонента у изградњи напредних паметних фабрика полупроводника. За водеће произвођаче који траже највише перформансе и стабилност процеса, представља значајну стратешку инвестицију.