DISCO ostyaőrlő DGP8761

A DISCO DGP8761 egy teljesen automatizált köszörű/polírozó gép, amely a technológia csúcsát képviseli, és kifejezetten a nagy hatékonyságú 12 hüvelykes (300 mm-es) ostyavékonyítási folyamatokhoz tervezték. Legfontosabb jellemzője, hogy a teljes folyamatot – a hátoldali durva csiszolástól és finomcsiszolástól a feszültségmentesítésig – egyetlen, folyamatos művelettel képes elvégezni, következetesen ultravékony, 25 μm alatti vastagságúra dolgozva fel ostyákat.

A jól ismert és legkelendőbb DGP8760 hivatalos frissítéseként kiemelkedő értékesítési teljesítményt nyújt a világ vezető gyártói körében, és kulcsfontosságú berendezés a fejlett tokozások, tápegységek és egyéb, ultravékony wafer gyártást igénylő folyamatok számára.

Hardvermag: A háromtengelyes kialakítás találékonysága és evolúciója

A DGP8761 teljesítmény-evolúciójának lényege a precíz háromtengelyes (3 tengely) és négy tokmányos asztalos (4 tokmányos asztal) architektúra.

Háromtengelyes munkamegosztás:

Z1 tengely (durva csiszolás): Felelős az ostya hátoldaláról az anyag nagy részének gyors eltávolításáért.

Z2 tengely (finomcsiszolás): Finomcsiszolást végez az ostya felületén, így precíz vastagságszabályozást ér el.

Z3 tengely (sokoldalú megmunkálás): Ez a rugalmasság kulcsa. A felhasználók választhatnak száraz polírozást (feszültségmentesítés), ultraprecíziós köszörülést (Poligrind/UltraPoligrind) vagy speciális CMP modulokat a feszültségmentesítés, a getter eltávolítása és egyéb funkciók eléréséhez, a folyamatkövetelményektől függően.

Újonnan kifejlesztett orsó: Az új orsó támogatja a nagysebességű köszörülést, ami hatékonyan lerövidíti a vékony ostyák feldolgozási idejét. Ezzel egyidejűleg az optimalizált szállítási elrendezés csökkenti a feldolgozáson kívüli időt, javítva az általános hatékonyságot.

Nagyobb orsóteljesítményű specifikációk:

Z1/Z2 tengely: Az orsóteljesítmény 6,3 kW-ra nőtt, a fordulatszám 1000 - 4000 percenként, a Z tengely mozgása 120 mm.

Z3 tengely: Orsóteljesítmény 5,3 kW, Z tengely mozgástartománya 65 mm.

Z tengely pontossága: A 0,0001 - 0,08 mm/s függőleges előtolási sebesség és a 0,1 μm minimális elmozdulás biztosítja a megmunkálási pontosságot.

Részletes specifikációk áttekintése

Paraméter kategória | Specifikus mutatók

Alkalmazható munkadarab mérete: Φ200 mm / Φ300 mm (8 hüvelyk / 12 hüvelyk)

Köszörülési módszer: Z1/Z2 Tengely: Előtolásos köszörülés (ostyaforgatás)

Z3 tengely: Rendellenes előtolású köszörülés (speciális ostyaforgatás)

Orsókonfiguráció: Három orsó (3 tengely)

Munkaasztal konfiguráció: Négy tokmányasztal (4 tokmányasztal), forgóasztalos rendszerrel

Csiszoló/polírozó szerszámok: Z1/Z2 Tengely: Φ300 mm-es gyémántcsiszoló tárcsa

Z3 tengely (DP): Φ450 mm-es száraz polírozópárna

Z3 tengely (CMP): Φ450 mm CMP polírozópárna

Berendezés méretei: 1690 mm (Sz) × 3315 mm (M) × 1800 mm (Ma)

FOUP rögzítésű modell: × 3452 mm (Mé)

Berendezés súlya: Kb. 6700 kg (DP, Poligrind konfiguráció)

Kb. 6900 kg (CMP konfiguráció)

Tápellátás: Háromfázisú 200/220/380/400 V, 50/60 Hz

Sűrített levegő: 0,5 MPa felett, tiszta és olajmentes, harmatpont -15 ℃ alatt

Alapvető funkciók és folyamatelőnyök:

A DGP8761 alapvető versenyképessége abban rejlik, hogy több folyamatot sikeresen integrál, és így „1+1>2” hatást ér el.

Egyablakos megoldás: Egy belső robotkar segítségével a lapka automatikusan elvégezheti a durva csiszolástól a finom csiszoláson át a száraz polírozásig, majd a tisztításig és szárításig tartó teljes folyamatot, elkerülve a többszörös kezelés okozta széttöredezés kockázatát és jelentősen lerövidítve a gyártási ciklust. A DGP8761 következetesen kevesebb, mint 3 μm teljes vastagságváltozást (TTV) tud elérni, miközben megőrzi a nagy hajlítószilárdságot.

Száraz polírozás és ragacsos felszedés (eltávolítás): Ez a DGP8761 egyik legelismertebb tulajdonsága. Z3 tengelyes száraz polírozást alkalmaz a csiszolási feszültségréteg eltávolítására, ami nemcsak környezetbarátabb, mint a hagyományos nedves eljárások (vegyszerek és víz nélkül), hanem egy szabályozható mikrokárosodási réteget is létrehoz a lapka belsejében, amely „getter zónaként” működik a fémes szennyeződések megkötésére, javítva a hozamot és a chip megbízhatóságát. A DISCO egyedülálló UltraPoligrind mikrocsiszoló technológiája megőrzi a getter hatást, miközben korábban elérhetetlen nagy forgácsszilárdságot ér el.

Rugalmas konfiguráció és alkalmazás-ökoszisztéma

A DGP8761 nem egy elszigetelt eszköz; zökkenőmentesen integrálható különféle automatizálási rendszerekbe.

Csatlakoztathatóság bővítése: Csatlakoztatható a DFM2800 multifunkcionális ostyarögzítőhöz a közvetlen DAF (Die Attach Film) rögzítéshez a vékonyítás után. Használható fejlett folyamatrendszerek, például DBG (Dicing Before Grinding - kockázás őrlés előtt) kiépítéséhez a vékony ostyák hozamának javítása érdekében.

Karbantartás és alkatrészek: DISCO-kompatibilis A 8000-es sorozat magas szintű kompatibilitást biztosít, mivel a kulcsfontosságú alkatrészek, mint például a csiszolókorongok és a csiszolótárcsák, cserélhetők, ami megkönnyíti a karbantartást és csökkenti az alkatrészköltségeket.

Szoftver és működés: Az érett 8000-es sorozatú technológián alapuló grafikus felhasználói felület használatával az egységes működési logika lerövidíti a kezelő betanítási idejét.

Piaci pozíció és alkalmazások: A DGP8761-et széles körben használják fejlett tokozásokban (HPC/AI/3D IC), teljesítmény-félvezetőkben és MEMS eszközökben. A DISCO kockázási és őrlési öntödei szolgáltatásokat is nyújt ezzel a berendezéssel globális technológiai központjaiban (például Kínában és Szingapúrban).

Karbantartási szempontok: A pontosság biztosítása érdekében elengedhetetlen a DISCO környezeti (hőmérséklet és páratartalom ±1°C-on belül, tiszta sűrített levegő) és fogyóeszköz-követelményeinek szigorú betartása. Továbbá a Z3 tengely mozgáslogikája (beleértve az 5 megmunkálási szekvenciát és pozícióparamétert) közvetlenül befolyásolja a megmunkálási hozamot; a nem megfelelő paraméterbeállítások folyamatproblémákhoz vezethetnek.

Összefoglalás: A DISCO A DGP8761 egy csúcskategóriás köszörű-/polírozógép, amely tökéletesen ötvözi a nagy pontosságot, a nagy hatékonyságot és a folyamat rugalmasságát. Nemcsak a legmodernebb ultravékony chipgyártáshoz vezet, hanem a hatékony rendszerskálázhatóságának köszönhetően a fejlett félvezető intelligens gyárak építésének központi elemévé is válik. A legnagyobb teljesítményre és folyamatstabilitásra törekvő vezető gyártók számára jelentős stratégiai befektetést jelent.