DISCO ostyaőrlő DFG8541

A DISCO DFG8541 egy teljesen automatizált köszörűgép, amelyet a 8 hüvelykes és kisebb ostyák ostyavékonyítási igényeinek kielégítésére fejlesztettek ki. Elődjének, a legkelendőbb DFG8540-nek a továbbfejlesztéseként a „8 hüvelykes ostyavékonyítás fő modelljeként” pozicionálható, amely nagy pontosságáról, tisztaságáról és kiváló stabilitásáról ismert, különösen alkalmas kemény és rideg anyagok, például szilícium-karbid (SiC) megmunkálására.

A következőkben részletesen ismertetjük a működési elvét, alapvető funkcióit, specifikációit és piaci értékét.

Működési elv: A hatékonyság és a precizitás kétmagos szinergiája

A DFG8541 „kétorsós, három tapadókorongos” architektúrát alkalmaz.

Világos munkamegosztás: Az egyik orsó egy durva köszörűkoronggal van felszerelve, hogy gyorsan eltávolítsa a fő anyagot a lapka hátuljáról; a másik orsó egy finom köszörűkoronggal van felszerelve, hogy finoman megmunkálja a felületet, sima, lapos és sérülésmentes végeredményt érjen el.

Rendkívül hatékony folyamat: A lapkát vákuumban adszorbeálják a munkaasztalra. A precíz folyamattervezésnek köszönhetően egy teljesen automatizált „egyszeri befogás, folyamatos feldolgozás” munkafolyamat valósítható meg, elkerülve a szennyeződés és a különböző eszközök közötti anyagmozgatás okozta károsodás kockázatát.

Alkalmazások és szerepek: A szilíciumon túl

Általános célú eszközként kulcsszerepet játszik a harmadik generációs félvezetők területén.

Fő feladat: 8 hüvelykes és kisebb ostyák (Si/SiC) célzott vastagságúra ritkítása, kiváló vastagságegyenletesség (TTV) biztosítása, valamint a korábbi folyamatok okozta felületi károsodási rétegek eltávolítása.

Feltörekvő főszereplő: A nagy nyomatékú orsó kiválasztásával a DFG8541 stabilan képes megmunkálni a rendkívül kemény anyagokat, például a SiC-ot. Ez a fő oka annak, hogy a jelenlegi teljesítmény-félvezető piacon nagy népszerűségnek örvend.

Főbb paraméterek áttekintése

Paraméter kategória | Specifikus specifikációk

Alkalmazható munkadarabok: Φ8 hüvelyk (200 mm) és az alatt; kompatibilis a Φ4, 5, 6 és 8 hüvelykes lapkákkal univerzális tokmány használatával

Köszörülési módszer: Hosszanti forgó köszörülés

Orsókonfiguráció: Kettős orsók (2 tengely), levegős hidrosztatikus csapágyazású orsó (standard)

Orsófordulatszám: 1000 - 7000 fordulat/perc

Orsóteljesítmény: Standard 4,2 kW

Munkaasztal konfiguráció: Három munkaasztal (3 tokmányasztal)

Csiszolókorong specifikációi: Φ200 mm-es gyémántcsiszolókorong

Berendezés méretei (Szé x Mé x Ma): Kb. 1100 × 2800 × 1800 mm

Berendezés súlya: Kb. 3000 kg

Főbb funkciók és jellemzők

A DFG8541 jelentős fejlesztést jelent a DFG8540-hez képest.

Jellemzők/Funkciók Részletes leírás

Kiváló tisztítási képességek: Többállomásos, kétfolyadékos fúvókák: A hagyományos levegő-víz tisztítással összehasonlítva ez a technológia hatékonyan eltávolítja a csiszolás után a lapkára tapadt finom porrészecskéket. Ezt a technológiát széles körben használják központi munkaállomásokon, például tapadókorongoknál és munkadaraboknál, hatékonyan csökkentve a vékony lapka törésének kockázatát.

Érintésmentes igazítás: Kamerát használ a lapka középpontjának megtalálásához, helyettesíti a fizikai érintkezést, és kiküszöböli a karcolásokat vagy a szélek sérülését az igazítási folyamat során.

Intelligens gyártás: Ostyareceptenként: Lehetővé teszi az ugyanazon ostyakazettán belüli különböző ostyák automatikus feldolgozását a hozzájuk tartozó előre beállított receptek (őrlési vastagság, sebesség stb.) szerint, tökéletesen alkalmazkodva a többféle változatot tartalmazó, kis tételű gyártáshoz.

Wafer védelmi funkciók: Több védelmi mechanizmust integrál, beleértve a wafer mapping-et (elcsúszás/üres wafer elleni védelem), a vastagság előzetes ellenőrzését (dupla szalag elleni védelem) és a vákuumos tartást (hirtelen áramkimaradás riasztás), biztosítva a nagy értékű waferek biztonságát.

Elektromosan állítható dőlésszög-korrekció: A tapadókorong dőlése elektromosan finomhangolható a képernyőn megjelenő értékek segítségével, optimalizálva a feldolgozási formát és csökkentve a kalibrálás miatti manuális állásidőt.

Jelentősen megnövelt használhatóság: 19 hüvelykkel nagyobb képernyő grafikus felhasználói felülete: A DFG8540 15 hüvelykes képernyőjéhez képest a kijelző nemcsak nagyobb, hanem intuitív grafikus felhasználói felülettel is rendelkezik.

Optimalizált karbantartás: A továbbfejlesztett belső tisztítószerkezet megkönnyíti a karbantartást.

Energiatakarékos és kompakt kialakítás: Az új levegős orsó 50%-kal csökkenti a levegőfogyasztást; a beépített vákuumszivattyú kialakítása 15%-kal csökkenti a helyigényt az elődjéhez képest, így zöld megtakarítást ér el mind a hardver, mind az üzemeltetés terén.

Piaci pozicionálás és érték: A 12 hüvelykes piacot megcélzó DGP8761 zászlóshajóhoz képest a DFG8541 inkább a 8 hüvelykes piacra koncentrál, így tipikus „nagy teljesítményű, költséghatékony” zászlóshajó géppé válik:

Teljesítménypozicionálás: A DFG8541 a 8 hüvelykes köszörűk teljesítmény-etalonja. Nagy nyomatékú orsó kiválasztásával sikeresen leküzd a kemény és rideg anyagok, például a SiC vékonyodási kihívásait, megszilárdítva abszolút előnyét a 8 hüvelykes piacon.

Befektetési érték: Egy kiforrott platform stabil fejlesztéseként megbízható a hosszú távú stabil működés és a folyamatos teljesítmény tekintetében, így nagy hatékonyságú, alacsony kockázatú és megbízható választás a 8 hüvelykes gyártósori berendezésekbe való befektetéshez. A vezető hazai egyetemek (mint például a Xi'an Jiaotong Egyetem) már megvásárolták ezt a berendezést élvonalbeli kutatás céljából.

Karbantartási és telepítési követelmények: A DFG8541 hosszú távú stabil és nagy pontosságú működésének biztosításához szigorúan be kell tartani a DISCO telepítési környezetre vonatkozó követelményeit:

Környezeti tisztaság: A készüléket nagy tisztaságú tisztaszobában kell telepíteni. A környezeti hőmérsékletnek stabilnak 20-25 ℃ között kell lennie, az ingadozásokat ±1 ℃-on belül kell szabályozni. A relatív páratartalomnak jellemzően 55% alatt kell lennie.

Tápegység:

Sűrített levegő: Tiszta, száraz és olajmentes, nagy tisztaságú, 0,5 MPa vagy annál nagyobb nyomású sűrített levegőre van szükség.

Elektromosság: A berendezés teljesítményigényének megfelelő háromfázisú tápegységre van szükség.

Hűtővíz: Az orsó hűtéséhez stabil áramlási sebességű és állandó hőmérsékletű ioncserélt víz (DI) szükséges. A víz hőmérsékletének jellemzően meg kell egyeznie a szobahőmérséklettel, minimális hőmérséklet-ingadozással.

A köszörűkorongok rendszeres ellenőrzése és cseréje, a vákuumos tokmányok tisztítása és a légorsó karbantartása elengedhetetlen a berendezések élettartamának meghosszabbításához és a feldolgozási hozam biztosításához.

Összefoglalva, a DISCO DFG8541 egy kiforrott és megbízható 8 hüvelykes ostyavékonyító megoldás. Fő területein iparágvezető teljesítményt nyújt, és átfogóan optimalizált az automatizálás, a tisztaság és a könnyű kezelhetőség szempontjából, hogy megfeleljen a modern gyártás igényeinek.