DISCO vaflių malūnėlis DGP8761

„DISCO DGP8761“ yra visiškai automatizuota šlifavimo / poliravimo mašina, atstovaujanti savo technologijos viršūnei, specialiai sukurta didelio efektyvumo 12 colių (300 mm) plokštelių retinimo procesams. Pagrindinė jos savybė yra gebėjimas atlikti visą procesą – nuo ​​grubaus šlifavimo iš galinės pusės ir smulkaus šlifavimo iki įtempių pašalinimo – per vieną, nepertraukiamą operaciją, nuosekliai apdorojant plokšteles iki itin plonų, mažesnių nei 25 μm storio plokštelių.

Kaip oficialus gerai žinomo ir perkamiausio DGP8760 atnaujinimas, jis pasižymi puikiais pardavimų rezultatais tarp geriausių pasaulio gamintojų ir yra labai svarbi įranga pažangiems pakavimo, maitinimo įrenginiams ir kitiems procesams, kuriems reikalinga itin plonų plokštelių gamyba.

Aparatūros branduolys: trijų ašių dizaino išradingumas ir evoliucija

DGP8761 našumo evoliucijos pagrindas slypi tikslioje trijų ašių (3 ašys) ir keturių griebtuvų (4 griebtuvų stalai) architektūroje.

Trijų ašių darbo pasidalijimas:

Z1 ašis (grubus šlifavimas): atsakinga už greitą daugumos medžiagos pašalinimą nuo plokštelės galinės pusės.

Z2 ašis (smulkusis šlifavimas): atlieka smulkųjį šlifavimą ant plokštelės paviršiaus, kad būtų pasiektas tikslus storio valdymas.

Z3 ašis (universalus apdirbimas): tai yra pagrindinis jos lankstumo veiksnys. Vartotojai gali pasirinkti sausą poliravimą (įtempių mažinimą), itin tikslų šlifavimą („Poligrind“ / „UltraPoligrind“) arba specialius CMP modulius, kad būtų pašalintas įtempis, geteris ir kitos funkcijos, priklausomai nuo proceso reikalavimų.

Naujai sukurtas velenas: naujas velenas palaiko greitą šlifavimą, efektyviai sutrumpindamas plonų plokštelių apdorojimo laiką. Tuo pačiu metu optimizuotas transportavimo išdėstymas sutrumpina neapdorojimo laiką, pagerindamas bendrą efektyvumą.

Didesnės veleno našumo specifikacijos:

Z1/Z2 ašis: veleno galia padidinta iki 6,3 kW, greitis 1 000–4 000 min⁻¹, Z ašies eiga 120 mm.

Z3 ašis: veleno galia 5,3 kW, Z ašies eiga 65 mm.

Z ašies tikslumas: vertikalus pastūmos greitis 0,0001–0,08 mm/s, minimali 0,1 μm eiga užtikrina apdirbimo tikslumą.

Išsamios specifikacijos apžvalga

Parametro kategorija | Specifiniai rodikliai

Taikomas ruošinio dydis: Φ200 mm / Φ300 mm (8 coliai / 12 colių)

Šlifavimo būdas: Z1/Z2 Ašis: Šlifavimas padavimo metu (plokštelės sukimasis)

Z3 ašis: anomalinis pastūmos šlifavimas (specialus plokštelių sukimas)

Veleno konfigūracija: trys velenai (3 ašys)

Darbinio stalo konfigūracija: keturi griebtuvų stalai (4 griebtuvų stalai), naudojant rotacinio stalo sistemą

Šlifavimo / poliravimo įrankiai: Z1 / Z2 ašis: Φ300 mm deimantinis šlifavimo diskas

Z3 ašis (DP): Φ450 mm sauso poliravimo padas

Z3 ašis (CMP): Φ450 mm CMP poliravimo padas

Įrangos matmenys: 1 690 mm (plotis) × 3 315 mm (gylis) × 1 800 mm (aukštis)

FOUP montuojamas modelis: × 3452 mm (G)

Įrangos svoris: apie 6 700 kg (DP, „Poligrind“ konfigūracija)

Apytiksliai 6 900 kg (CMP konfigūracija)

Maitinimo reikalavimai: Trifazis 200/220/380/400 V, 50/60 Hz

Suslėgtas oras: virš 0,5 MPa, švarus ir be alyvos, rasos taškas žemesnis nei -15 ℃

Pagrindinės funkcijos ir proceso pranašumai:

Pagrindinis DGP8761 konkurencingumas slypi sėkmingoje kelių procesų integracijoje, pasiekiant „1+1>2“ efektą.

Vieno langelio sprendimas: vidinės robotinės rankos dėka plokštelė gali automatiškai atlikti visą grubaus šlifavimo, smulkaus šlifavimo, sauso poliravimo, valymo ir džiovinimo procesą, taip išvengiant fragmentacijos rizikos, kurią sukelia daugkartinis apdorojimas, ir žymiai sutrumpinant gamybos ciklą. DGP8761 gali nuolat pasiekti mažesnį nei 3 μm bendrą storio pokytį (TTV), išlaikant didelį lenkimo stiprumą.

Sausas poliravimas ir lipnių dalelių surinkimas: Tai viena labiausiai vertinamų DGP8761 savybių. Šlifavimo įtempių sluoksniui pašalinti naudojamas Z3 ašies sausas poliravimas, kuris ne tik ekologiškesnis nei tradiciniai šlapi procesai (nereikia cheminių medžiagų ar vandens), bet ir sukuria kontroliuojamą mikropažeidimų sluoksnį plokštelės viduje, veikiantį kaip „getter“ zona, skirta metalinėms priemaišoms surinkti, taip pagerinant išeigą ir lustų patikimumą. Unikali DISCO „UltraPoligrind“ mikroabrazyvų technologija išlaiko getterio efektą, tuo pačiu pasiekdama anksčiau nepasiekiamą didelį lustų stiprumą.

Lanksti konfigūracija ir programų ekosistema

DGP8761 nėra izoliuotas įrenginys; jis gali sklandžiai integruotis į įvairias automatizavimo sistemas.

Ryšio išplėtimas: Jį galima prijungti prie daugiafunkcinio DFM2800 plokštelių tvirtinimo įrenginio, kad po retinimo būtų galima tiesiogiai pritvirtinti DAF (štampų plėvelės) plokšteles. Jis taip pat gali būti naudojamas kuriant pažangias procesų sistemas, tokias kaip DBG (pjaustymas kubeliais prieš šlifavimą), siekiant padidinti plonų plokštelių išeigą.

Priežiūra ir atsarginės dalys: Suderinamas su DISCO. 8000 serija išlaiko aukštą suderinamumą, o pagrindiniai komponentai, tokie kaip šlifavimo diskai ir apdirbimo plokštės, yra keičiami, todėl lengviau prižiūrėti ir sumažėja atsarginių dalių kaina.

Programinė įranga ir valdymas: naudojant grafinę vartotojo sąsają, pagrįstą brandžia 8000 serijos technologija, suvienodinta valdymo logika sutrumpina operatoriaus mokymo laiką.

Rinkos padėtis ir taikymas: DGP8761 yra plačiai naudojamas pažangiuose korpusuose (HPC / AI / 3D IC), galios puslaidininkiuose ir MEMS įrenginiuose. DISCO taip pat teikia kubelių pjovimo ir šlifavimo liejyklų paslaugas, naudodama šią įrangą savo pasauliniuose technologijų centruose (pvz., Kinijoje ir Singapūre).

Priežiūros aspektai: Siekiant užtikrinti tikslumą, būtina griežtai laikytis DISCO aplinkos (temperatūra ir drėgmė ±1 °C ribose, švarus suslėgtas oras) ir eksploatacinių medžiagų reikalavimų. Be to, Z3 ašies judėjimo logika (įskaitant 5 apdirbimo sekas ir padėties parametrus) tiesiogiai veikia apdirbimo išeigą; netinkami parametrų nustatymai gali sukelti proceso problemų.

Santrauka: DISCO DGP8761 yra aukščiausios klasės šlifavimo / poliravimo staklės, puikiai derinančios didelį tikslumą, efektyvumą ir proceso lankstumą. Jos ne tik atveria kelią pažangiausiai itin plonų lustų gamybai, bet ir dėl savo galingo sistemos mastelio keitimo tampa pagrindiniu komponentu kuriant pažangias puslaidininkių išmaniąsias gamyklas. Pirmaujantiems gamintojams, siekiantiems didžiausio našumo ir proceso stabilumo, tai yra reikšminga strateginė investicija.