DISCO վաֆլիի հղկող DGP8761

DISCO DGP8761-ը լիովին ավտոմատացված հղկման/փայլեցման մեքենա է, որը ներկայացնում է իր տեխնոլոգիայի գագաթնակետը, որը նախագծված է հատուկ 12 դյույմանոց (300 մմ) բարձր արդյունավետությամբ վաֆլիների նոսրացման գործընթացների համար: Դրա հիմնական առանձնահատկությունն ամբողջ գործընթացը՝ հետևի կոպիտ հղկումից և նուրբ հղկումից մինչև լարվածության վերացում, մեկ, անընդհատ գործողությամբ ավարտելու ունակությունն է՝ հետևողականորեն մշակելով վաֆլիներ մինչև 25 մկմ-ից ցածր գերբարակ հաստություններ:

Որպես հայտնի և ամենաշատ վաճառվող DGP8760-ի պաշտոնական թարմացում, այն հպարտանում է աշխարհի առաջատար արտադրողների շրջանում վաճառքի ակնառու ցուցանիշներով և հանդիսանում է առաջադեմ փաթեթավորման, էլեկտրական սարքերի և գերբարակ վեֆլերի արտադրություն պահանջող այլ գործընթացների համար անհրաժեշտ սարքավորումների կարևոր մաս։

Սարքավորումների միջուկ. Եռաառանցքային դիզայնի հնարամտությունն ու էվոլյուցիան

DGP8761-ի կատարողականի էվոլյուցիայի միջուկը կայանում է դրա ճշգրիտ եռաառանցքային (3 առանցք) և չորս սեղմակային սեղաններով (4 սեղմակային սեղան) ճարտարապետության մեջ։

Աշխատանքի եռառանցքային բաժանում.

Z1 առանցք (կոպիտ հղկում). պատասխանատու է վաֆլիի հետևի մասից նյութի մեծ մասի արագ հեռացման համար։

Z2 առանցք (նուրբ հղկում). Կատարում է նուրբ հղկում վաֆլիի մակերեսի վրա՝ հասնելով հաստության ճշգրիտ կարգավորման։

Z3 առանցք (բազմակողմանի մշակում). Սա ճկունության գրավականն է: Օգտագործողները կարող են ընտրել չոր հղկում (լարվածության վերացում), գերճշգրիտ հղկում (Poligrind/UltraPoligrind) կամ հատուկ CMP մոդուլներ՝ լարվածության վերացման, ճնշող նյութերի վերացման և այլ գործառույթներ իրականացնելու համար՝ կախված գործընթացի պահանջներից:

Նոր մշակված առանցք. Նոր առանցքը ապահովում է բարձր արագությամբ հղկում, արդյունավետորեն կրճատելով բարակ թիթեղների մշակման ժամանակը: Միաժամանակ, օպտիմալացված տեղափոխման դասավորությունը կրճատում է ոչ մշակման ժամանակը, բարելավելով ընդհանուր արդյունավետությունը:

Ավելի բարձր լիսեռի կատարողականի տեխնիկական բնութագրերը՝

Z1/Z2 առանցք. Առանցքի հզորությունը մեծացել է մինչև 6.3 կՎտ, արագությունը՝ 1000 - 4000 րոպե⁻¹, Z առանցքի ընթացքը՝ 120 մմ։

Z3 առանցք. Առանցքի հզորություն՝ 5.3 կՎտ, Z առանցքի շարժում՝ 65 մմ։

Z-առանցքի ճշգրտություն. 0.0001 - 0.08 մմ/վրկ ուղղահայաց մատակարարման արագություն, 0.1 մկմ նվազագույն տեղաշարժը ապահովում է մեքենայական ճշգրտություն։

Մանրամասն տեխնիկական բնութագրերի ակնարկ

Պարամետրերի կատեգորիա | Հատուկ ցուցանիշներ

Կիրառելի աշխատանքային մասի չափսը՝ Φ200 մմ / Φ300 մմ (8 դյույմ / 12 դյույմ)

Հղկման մեթոդ՝ Z1/Z2 Առանցք՝ ներհոսքային հղկում (վաֆլիի պտույտ)

Z3 առանցք. Աննորմալ ներհոսքային հղկում (հատուկ վաֆլիի պտույտ)

Առանցքի կոնֆիգուրացիա՝ Երեք առանցք (3 առանցք)

Աշխատանքային սեղանի կոնֆիգուրացիա. Չորս սեղմակով սեղաններ (4 սեղմակով սեղաններ), օգտագործելով պտտվող սեղանի համակարգ

Հղկող/փայլեցնող գործիքներ՝ Z1/Z2, առանցք՝ Φ300 մմ ադամանդե հղկող սկավառակ

Z3 առանցք (DP): Φ450 մմ չոր հղկող բարձիկ

Z3 առանցք (CMP): Φ450 մմ CMP հղկող բարձիկ

Սարքավորման չափսերը՝ 1,690 մմ (Լայնություն) × 3,315 մմ (Խորություն) × 1,800 մմ (Բարձրություն)

FOUP-ի վրա տեղադրված մոդել՝ × 3,452 մմ (D)

Սարքավորման քաշը՝ մոտավոր 6,700 կգ (DP, Poligrind կոնֆիգուրացիա)

Մոտավորապես 6,900 կգ (CMP կոնֆիգուրացիա)

Հզորության պահանջներ՝ Եռաֆազ 200/220/380/400 Վ, 50/60 Հց

Սեղմված օդ. 0.5 ՄՊա-ից բարձր, մաքուր և յուղազուրկ, ցողի կետը -15℃-ից ցածր

Հիմնական գործառույթները և գործընթացի առավելությունները.

DGP8761-ի հիմնական մրցունակությունը կայանում է բազմաթիվ գործընթացների հաջող ինտեգրման մեջ՝ հասնելով «1+1>2» էֆեկտի։

Միակողմանի լուծում. Ներքին ռոբոտացված ձեռքի միջոցով, վաֆլին կարող է ավտոմատ կերպով ավարտել կոպիտ հղկման → նուրբ հղկման → չոր հղկման → մաքրման և չորացման ամբողջ գործընթացը՝ խուսափելով բազմակի մշակման հետևանքով առաջացած մասնատման ռիսկից և զգալիորեն կրճատելով արտադրական ցիկլը: DGP8761-ը կարող է կայուն կերպով հասնել 3 մկմ-ից պակաս ընդհանուր հաստության տատանման (TTV)՝ պահպանելով բարձր ծռման ամրությունը:

Չոր հղկում և կպչունության հավաքում (հավաքում). Սա DGP8761-ի ամենահայտնի առանձնահատկություններից մեկն է: Այն օգտագործում է Z3 առանցքի չոր հղկումը՝ հղկման լարվածության շերտը հեռացնելու համար, որը ոչ միայն ավելի էկոլոգիապես մաքուր է, քան ավանդական խոնավ գործընթացները (քիմիական նյութեր կամ ջուր չեն օգտագործվում), այլև ստեղծում է կառավարելի միկրովնասվածքի շերտ վաֆլիի ներսում, որը գործում է որպես «հավաքող գոտի»՝ մետաղական խառնուրդները հավաքելու համար, բարելավելով արտադրողականությունը և չիպի հուսալիությունը: DISCO-ի եզակի UltraPoligrind միկրոհղկող տեխնոլոգիան պահպանում է հավաքող էֆեկտը՝ միաժամանակ հասնելով նախկինում անհասանելի բարձր չիպի ամրության:

ճկուն կոնֆիգուրացիա և կիրառական էկոհամակարգ

DGP8761-ը մեկուսացված սարք չէ. այն կարող է անխափան ինտեգրվել տարբեր ավտոմատացման համակարգերի հետ։

Կապի ընդլայնում. Այն կարող է միացվել DFM2800 բազմաֆունկցիոնալ վաֆլիների կցորդին՝ նոսրացումից հետո DAF (մաղով կցվող թաղանթ) ուղղակի կցման համար: Այն կարող է նաև օգտագործվել առաջադեմ տեխնոլոգիական համակարգեր կառուցելու համար, ինչպիսիք են DBG-ն (կտրատում նախքան հղկումը)՝ բարակ վաֆլիների արտադրողականությունը բարելավելու համար:

Սպասարկում և պահեստամասեր. համատեղելի է DISCO-ի հետ։ 8000 շարքը պահպանում է բարձր համատեղելիություն, որի հիմնական բաղադրիչները, ինչպիսիք են հղկող անիվները և մշակման թիթեղները, փոխարինելի են, ինչը հեշտացնում է սպասարկումը և նվազեցնում պահեստամասերի ծախսերը։

Ծրագրային ապահովում և շահագործում. Օգտագործելով հասուն 8000 շարքի տեխնոլոգիայի վրա հիմնված GUI ինտերֆեյս, միասնական շահագործման տրամաբանությունը կրճատում է օպերատորի ուսուցման ժամանակը:

Շուկայի դիրքը և կիրառությունները. DGP8761-ը լայնորեն օգտագործվում է առաջադեմ փաթեթավորման (HPC/AI/3D IC), էլեկտրական կիսահաղորդիչների և MEMS սարքերի մեջ: DISCO-ն նաև տրամադրում է կտրատման և մանրացման ձուլման ծառայություններ՝ օգտագործելով այս սարքավորումները իր գլոբալ տեխնոլոգիական կենտրոններում (օրինակ՝ Չինաստանում և Սինգապուրում):

Պահպանման նկատառումներ. Ճշգրտությունն ապահովելու համար անհրաժեշտ է խստորեն հետևել DISCO-ի շրջակա միջավայրի (ջերմաստիճան և խոնավություն ±1°C սահմաններում, մաքուր սեղմված օդ) և սպառվող նյութերի պահանջներին: Ավելին, Z3 առանցքի շարժման տրամաբանությունը (ներառյալ 5 մեքենայական հաջորդականությունները և դիրքի պարամետրերը) անմիջականորեն ազդում է մեքենայական մշակման արդյունավետության վրա. պարամետրերի սխալ կարգավորումները կարող են հանգեցնել գործընթացի խնդիրների:

Ամփոփում. DISCO DGP8761-ը բարձրակարգ հղկող/փայլեցնող մեքենա է, որը կատարելապես համատեղում է բարձր ճշգրտությունը, բարձր արդյունավետությունը և գործընթացի ճկունությունը: Այն ոչ միայն հարթում է ճանապարհը գերբարակ չիպերի առաջադեմ արտադրության համար, այլև, իր հզոր համակարգի մասշտաբայնության շնորհիվ, դառնում է առաջատար կիսահաղորդչային խելացի գործարանների կառուցման հիմնական բաղադրիչ: Առաջատար արտադրողների համար, որոնք ձգտում են ամենաբարձր արդյունավետությանը և գործընթացի կայունությանը, այն ներկայացնում է նշանակալի ռազմավարական ներդրում: