DISCO DFG8560 վաֆլիի մանրացնող

Որպես DFG800 շարքի արդիականացում, DISCO DFG8560-ը լիովին ավտոմատացված վաֆլիի նոսրացման մեքենա է: Այն հատուկ նախագծված է 12 դյույմանոց վաֆլիի նոսրացման մարտահրավերները բավարարելու համար: Դրա հիմնական աշխատանքային սկզբունքը հիմնված է կրկնակի առանցքով և եռակի սեղմակով կոնֆիգուրացիայի վրա, որը մեկ վաֆլիի սեղմման գործողությամբ ավարտում է նոսրացման գործընթացի ինչպես «կոպիտ մանրացման», այնպես էլ «նուրբ մանրացման» փուլերը: Այս դիզայնը զգալիորեն բարելավում է մշակման արդյունավետությունը և ճշգրիտ կառավարումը:

**Աշխատանքային սկզբունք**

DFG8560-ը հասնում է վաֆլիների նոսրացմանը՝ բարձր ճշգրտության մեխանիկական շարժման միջոցով։

**Բարձր կոշտության կառուցվածք.** Մեքենան օգտագործում է բարձր կոշտության օդային կրող լիսեռ, որը ապահովում է գերազանց կայունություն հղկման ողջ գործընթացի ընթացքում։

**Երկփուլ հղկման գործընթաց**

**Կոպիտ հղկում.** Առաջին իլիկի համար օգտագործվում է ավելի խոշոր հատիկավոր անիվ (օրինակ՝ խեժով միացված ադամանդե անիվ): Բարձր արագությամբ պտտումը արագորեն հեռացնում է նյութի մեծ մասը վաֆլիի հետևի մասից՝ մաքսիմալացնելով արդյունավետությունը:

**Նուրբ հղկում**: Երկրորդ իլիկը օգտագործում է ավելի նուրբ հատիկավոր անիվ (օրինակ՝ կերամիկական միացմամբ ադամանդե անիվ)՝ վաֆլիի ճշգրիտ հղկման համար: Այս գործընթացը ստեղծում է հարթ, հարթ մակերես և հեռացնում է կոպիտ հղկման փուլում առաջացած վնասված շերտը:

Իրականում, վաֆլիի ամրակը ամրացված է պտտվող սեղմակի վրա վակուումային ներծծման միջոցով: Շեղակը պտտվում է բարձր արագությամբ հղկող անիվին հակառակ ուղղությամբ. անիվը շարժվում է ուղղահայաց դեպի ներքև՝ կտրելով վաֆլիի մակերեսը:

**Հիմնական առանձնահատկություններ**

DFG8560-ի հիմնական գործառույթը վաֆլիի նոսրացումն է: Այդ նպատակով այն ներառում է մի շարք հիմնական գործառույթներ.

**Լիովին ավտոմատացված աշխատանք**: Այս սարքավորումը ավտոմատացնում է ամբողջ աշխատանքային հոսքը՝ սկսած թիթեղների բեռնումից, հավասարեցումից, հղկումից, մաքրումից մինչև բեռնաթափում, զգալիորեն նվազեցնելով ձեռքով միջամտությունը և բարելավելով արտադրության արդյունավետությունը:

**Բարձր ճշգրտությամբ հաստության կառավարում** Բարձր թույլտվությամբ (0.1 մկմ) առցանց հաստության չափման համակարգի ինտեգրման միջոցով սարքավորումը հասնում է հղկման գործընթացի փակ ցիկլի կառավարմանը՝ ապահովելով վաֆլիի վերջնական հաստության ճշգրտությունը։

**Գերբարակ վաֆլիների մշակում.** Հղկման և մշակման համակարգի պարամետրերը օպտիմալացնելով՝ DFG8560-ը կարող է կայուն կերպով մշակել 100 մկմ կամ ավելի փոքր հաստությամբ գերբարակ վաֆլիներ՝ միաժամանակ նվազագույնի հասցնելով վաֆլիի կոտրվելու ռիսկը։

**Թերությունների հայտնաբերում.** Այս համակարգը կարող է հայտնաբերել թիթեղի մակերեսի վրա առկա թերությունները՝ ապահովելով անհրաժեշտ տվյալների աջակցություն հետագա վերանորոգման գործընթացների կամ հետադարձ կապի ցիկլերի համար։

**Օգտագործողի համար հարմար ինտերֆեյս.** Հագեցած լինելով սենսորային LCD էկրանով և գրաֆիկական օգտագործողի ինտերֆեյսով (GUI), համակարգը իրական ժամանակում ցուցադրում է մշակման և սարքավորումների կարգավիճակը, ինչը շահագործումն ու սպասարկումը դարձնում է ավելի պարզ և ինտուիտիվ։

**Առցանց ինտեգրում և ընդլայնում.** DFG8560-ը կարող է անխափան ինտեգրվել ավելի բարդ ավտոմատացված արտադրական գծերի մեջ, ինչպիսիք են՝

**DBG (մաղելուց հետո հղկման) համակարգ.** Ինտեգրում է կտրատման և նոսրացման գործընթացները, ինչը այն հատկապես հարմար է դարձնում գերբարակ չիպսերի արտադրության համար։

**Չոր հղկման մեքենա (օրինակ՝ DFP8160):** Ստեղծում է ինտեգրված համակարգ, որը հղկման գործընթացներից հետո կատարում է չոր հղկում, է՛լ ավելի նվազեցնելով թիթեղների մակերեսի կոպտությունը (Ry արժեք) և վերացնելով հղկման հետևանքով առաջացած վնասը:

**Վաֆլի լամինատոր/հեռացնող սարք.** Ինտեգրված է պաշտպանիչ փայլեցնող թաղանթները ավտոմատ կերպով քսելու կամ հեռացնելու համար՝ ստեղծելով ամբողջական ավտոմատացված աշխատանքային հոսք:

**SECS/GEM հաղորդակցություն։** Այս սարքը աջակցում է SECS/GEM հաղորդակցման արձանագրությունը, որը հնարավորություն է տալիս միանալ գործարանի արտադրական կատարման համակարգին (MES)՝ հեռակառավարման մոնիթորինգի և արտադրական տվյալների ավտոմատացված ձեռքբերման համար։

**Ծրագրեր և գործառույթներ**

DFG8560-ի հիմնական գործառույթը վաֆլիներին միատարր հաստություն և գերազանց մակերեսային որակ ապահովելն է հետագա գործընթացների, ինչպիսիք են կտրատումը և փաթեթավորումը, համար։ Դրա լայն նյութական համատեղելիությունը այն նաև հարմար է դարձնում կիրառությունների լայն շրջանակի համար։

**Վաֆլիի նոսրացում.** Վաֆլիի հաստության նվազեցում սկզբնական հաստությունից մինչև նպատակային հաստություն՝ հիմնարար պահանջ գրեթե բոլոր կիրառությունների համար։

**Վնասվածքային շերտերի հեռացում.** Վերին հոսանքի գործընթացներում (օրինակ՝ հետևի հղկման) առաջացած լարվածությունից վնասված շերտերի հեռացում. չիպի մեխանիկական ամրությունն ապահովելու կարևոր քայլ է։

**Մակերևույթի հարթեցում**։ Հետագա ճշգրիտ գործընթացների համար (օրինակ՝ ֆոտոլիտոգրաֆիա և կապակցում) ապահովելը բարձր ճշգրտությամբ արտադրության նախապայման է։

**3D փաթեթավորում և TSV էքսպոզիցիա.** Ապահովում է բարակ թիթեղներ, որոնք անհրաժեշտ են Through-Silicon Vias (TSV) տեխնոլոգիան իրականացնելու և TSV կառուցվածքի ներքևի մասը ճշգրիտ էքսպոզիցիոնելու համար, որը առաջադեմ փաթեթավորման հիմնական բաղադրիչն է։

Հզորության և ռադիոհաճախականության սարքերի արտադրություն. Օգտագործվում է SiC, GaN և այլ բարդ կիսահաղորդչային թիթեղների նոսրացման համար՝ միացման դիմադրությունը նվազեցնելու և ջերմության ցրումը բարելավելու համար։

Օպտիկական սարքի և ֆիլտրի պատրաստում. Օգտագործվում է կոշտ և փխրուն նյութերի, ինչպիսիք են շափյուղան (LED հիմք) և լիթիումի տանտալատը/լիթիումի նիոբատը (RF ֆիլտր), ճշգրիտ նոսրացման և հարթեցման համար։

Մանրամասն տեխնիկական բնութագրեր

Տեխնիկական բնութագրեր

Կիրառելի աշխատանքային մասի չափսը՝ Φ300 մմ (12 դյույմ): Համընդհանուր սեղմակը ամրացնում է Φ200 մմ/Φ300 մմ վեֆլերներ:

Մանրացման մեթոդ. Վաֆլիի պտույտով երկայնական ներհոսքային մանրացում:

Առանցքի կոնֆիգուրացիա՝ Երկակի առանցքներ (2 առանցք): Ներկառուցված բարձր հաճախականության շարժիչով աշխատող օդային-ստատիկ առանցք:

Չափիչ սեղանի կոնֆիգուրացիա. Երեք չափիչ սեղան, օգտագործելով պտտվող սեղանի համակարգ: Չափիչ արագություն՝ 0-300 պտույտ/րոպե:

Առանցքի հզորություն՝ 4.8 կՎտ անվանական ելքային հզորություն։

Առանցքի արագություն՝ 1000 - 4000 րոպե⁻¹ (պտույտ/րոպե):

Z-առանցքի ընթացքը՝ 120 մմ (ներառյալ սկզբնակետը):

Z-առանցքի հղկման սնուցման արագությունը՝ 0.0001 - 0.08 մմ/վ (0.1 - 80 մկմ/վ):

Z-առանցքի նվազագույն շարժում՝ 0.1 մկմ։

Հաստության չափման միջակայք՝ 0 - 1800 մկմ։

Հաստության չափման լուծաչափը՝ 0.1 մկմ։

Հաստության չափման կրկնելիությունը՝ ±0.5 մկմ։

Հղկող անիվի տեխնիկական բնութագրերը՝ Φ300 մմ ադամանդե հղկող անիվ։

Թիթեղի ներքին հաստության շեղում (TTV): 3.0 մկմ-ից պակաս (օգտագործելով հատուկ աշխատանքային սեղան, φ300 մմ թիթեղ):

Թիթեղների միջև հաստության շեղումը՝ ±3.0 մկմ-ից պակաս։

Մակերեսի կոպտությունը մշակումից հետո՝ մոտավորապես 0.13 մկմ (օգտագործելով #2000 հղկող սկավառակ), մոտավորապես 0.15 մկմ (օգտագործելով #1400 հղկող սկավառակ):

Սարքավորման չափսերը (Լայնություն × Խորություն × Բարձրություն): Մոտավորապես 1,400 × 3,190 × 1,800 մմ:

Սարքավորման քաշը՝ մոտավորապես 4000 կգ։

Պահանջվող հզորություն՝ Եռաֆազ 200/220/380/400 Վ, 50/60 Հց, առավելագույն հզորության սպառում մոտավորապես 22 կՎԱ:

Անհրաժեշտ սեղմված օդ՝ 0.5 ՄՊա-ից բարձր, մաքուր և յուղազուրկ, ցողի կետը -15℃-ից ցածր, հոսքի արագությունը մոտավորապես 1000 NL/րոպե։

Ջրամատակարարման պահանջները՝ DI ջուր (ապաիոնացված ջուր), ջերմաստիճան 23±1℃, հոսքի արագություն 6-10 լ/րոպե։

Հիմնական առավելություններ

DFG8560-ը շարունակում է ամրապնդել իր շուկայական դիրքերը որպես բարձր արդյունավետությամբ վաֆլիների նոսրացման սարքավորում՝ հետևյալ առավելություններով.

Բարձր աղացման ճշգրտություն. Օպտիմիզացված դիզայնի շնորհիվ աղացման որակը արդյունավետորեն բարելավվում է՝ հասնելով թիթեղների ներսում հաստության գերազանց միատարրության (TTV) և թիթեղների միջև հետևողականության, ապահովելով կատարողականություն այնպիսի պահանջկոտ գործընթացների համար, ինչպիսին է առաջադեմ փաթեթավորումը:

Կայուն հղկման որակ. Օպտիմալացված հղկման և մշակման պարամետրերը հնարավորություն են տալիս կայուն գերբարակ վաֆլի հղկել, արդյունավետորեն վերահսկելով կոտրման արագությունը, ինչը կարևոր է բարձր արժեք ունեցող մեծ չափի վաֆլիների համար։

Գերազանց մասշտաբայնություն. Առաջարկում է գծային ինտեգրման բազմաթիվ տարբերակներ (օրինակ՝ DBG և չոր հղկում), ճկունորեն հարմարվելով արտադրական գծի արդիականացումներին և լիովին պաշտպանելով օգտատիրոջ ներդրումները:

Հզոր համատեղելիություն. Կարող է աշխատել տարբեր նյութերի հետ (օրինակ՝ սիլիցիում, SiC, GaN, շափյուղա, LT/LN), ապահովելով զգալի գործընթացային ճկունություն տարբեր կիսահաղորդիչների և օպտոէլեկտրոնային սարքերի արտադրության համար։

Օգտագործողի համար հարմար և հեշտ սպասարկվող. Օգտագործողի համար հարմար գրաֆիկական ինտերֆեյսը և սենսորային էկրանը զգալիորեն իջեցնում են շահագործման շեմը: Միևնույն ժամանակ, հիմնական բաղադրիչները փոխարինելի են 800 շարքի հետ, ինչը նվազեցնում է պահեստամասերի պաշարների ծախսերը և անսարքության ռիսկերը:

Թեթև դիզայն. 1.0 տոննա քաշի կրճատում (մոտավորապես 20%) է ձեռք բերվել՝ պահպանելով տեխնիկական բնութագրերը և կատարողականը: Ավելի թեթև սարքավորումները պարզեցնում են տեղադրման գործընթացը և նվազեցնում գործարանի հատակի բեռնատարողության պահանջները:

Տեխնիկական առանձնահատկությունների համառոտ նկարագրություն. Երկառանցքանի եռաներծծող բաժակի դիզայն. Առանձնացնում է կոպիտ և նուրբ հղկումը՝ դրանք ավարտելով մեկ սեղմման գործողությամբ, բարելավելով արդյունավետությունը՝ միաժամանակ ապահովելով ճշգրտություն:

Օդա-ստատիկ իլիկ. Օդա-ստատիկ իլիկի օգտագործմամբ այս դիզայնը վերացնում է մեխանիկական շփումը, ինչը հանգեցնում է նվազագույն մաշվածության և երկար ժամանակահատվածում բարձր պտտման ճշգրտության պահպանման: Այն հիմնական բաղադրիչ է գերբարձր մեխանիկական ճշգրտության հասնելու համար:

Երկակի հղկման կետի հավասարեցման տեխնոլոգիա. Այս տեխնոլոգիան թույլ է տալիս երկու առանցքակալներին կիսել նույն ֆիզիկական հղկման դիրքը՝ վերացնելով մշակման կետի անհամապատասխանության պատճառով առաջացող համակարգային սխալները: Սա միաժամանակ բարելավում է հաստության միատարրությունը (TTV) մեկ թիթեղի ներսում և հաստության համապատասխանությունը թիթեղների միջև, դարձնելով այն կայուն գերբարակ հղկման հասնելու հիմնական տեխնոլոգիա:

Ամփոփում. Եզրափակելով՝ DISCO DFG8560-ը լիովին ավտոմատացված 12 դյույմանոց վաֆլիների նոսրացման լուծում է, որը նախատեսված է զանգվածային արտադրության համար: Դրա հիմնական առանձնահատկություններից են ճշգրիտ կրկնակի առանցքային ճարտարապետությունը և համակարգի գերազանց կայունությունը, որը հնարավորություն է տալիս ապահովել բարձր մակարդակի միատարրություն և մակերեսի որակ մեծ, գերբարակ վաֆլիների մշակման ժամանակ, ինչպես նաև հզոր ավտոմատացման ինտեգրման հնարավորություններ: