ម៉ាស៊ីនកិនបន្ទះសៀគ្វី DISCO DGP8761

ម៉ាស៊ីន DISCO DGP8761 គឺជាម៉ាស៊ីនកិន/ប៉ូលាដោយស្វ័យប្រវត្តិពេញលេញ ដែលតំណាងឱ្យកំពូលនៃបច្ចេកវិទ្យារបស់វា ដែលត្រូវបានរចនាឡើងជាពិសេសសម្រាប់ដំណើរការស្តើងបន្ទះស្តើងទំហំ 12 អ៊ីញ (300 មីលីម៉ែត្រ) ដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់។ លក្ខណៈពិសេសចម្បងរបស់វាគឺសមត្ថភាពរបស់វាក្នុងការបញ្ចប់ដំណើរការទាំងមូល — ចាប់ពីការកិនរដុបផ្នែកខាងក្រោយ និងការកិនល្អិតៗ រហូតដល់ការលុបបំបាត់ភាពតានតឹង — ក្នុងប្រតិបត្តិការតែមួយជាបន្តបន្ទាប់ ដោយដំណើរការបន្ទះស្តើងជាប់លាប់រហូតដល់កម្រាស់ស្តើងបំផុតក្រោម 25 μm។

ក្នុងនាមជាការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងជាផ្លូវការទៅកាន់ DGP8760 ដ៏ល្បីល្បាញ និងលក់ដាច់បំផុត វាមានដំណើរការលក់ដ៏លេចធ្លោក្នុងចំណោមក្រុមហ៊ុនផលិតកំពូលៗទូទាំងពិភពលោក និងជាឧបករណ៍ដ៏សំខាន់សម្រាប់ការវេចខ្ចប់កម្រិតខ្ពស់ ឧបករណ៍ថាមពល និងដំណើរការផ្សេងទៀតដែលត្រូវការការផលិតបន្ទះសៀគ្វីស្តើងបំផុត។

ស្នូលផ្នែករឹង៖ ភាពប៉ិនប្រសប់ និងការវិវត្តនៃការរចនាអ័ក្សបី

ស្នូលនៃការវិវត្តន៍ដំណើរការរបស់ DGP8761 ស្ថិតនៅក្នុងស្ថាបត្យកម្មអ័ក្សបី (អ័ក្ស 3) និងតារាង chuck បួន (តារាង chuck 4) ដ៏ច្បាស់លាស់របស់វា។

ការបែងចែកការងារបីអ័ក្ស៖

អ័ក្ស Z1 (ការកិនរដុប)៖ ទទួលខុសត្រូវចំពោះការដកសម្ភារៈភាគច្រើនចេញពីផ្នែកខាងក្រោយនៃបន្ទះ wafer យ៉ាងរហ័ស។

អ័ក្ស Z2 (ការកិនល្អិតៗ): អនុវត្តការកិនល្អិតៗលើផ្ទៃបន្ទះស្តើង ដោយសម្រេចបានការគ្រប់គ្រងកម្រាស់យ៉ាងច្បាស់លាស់។

អ័ក្ស Z3 (ដំណើរការចម្រុះ): នេះគឺជាគន្លឹះនៃភាពបត់បែនរបស់វា។ អ្នកប្រើប្រាស់អាចជ្រើសរើសការប៉ូលាស្ងួត (ការបំបាត់ភាពតានតឹង) ការកិនដោយភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ (Poligrind/UltraPoligrind) ឬម៉ូឌុល CMP ពិសេស ដើម្បីសម្រេចបាននូវការលុបបំបាត់ភាពតានតឹង ការដកចេញ និងមុខងារផ្សេងទៀត អាស្រ័យលើតម្រូវការដំណើរការ។

ស្ពឺដែលទើបបង្កើតថ្មី៖ ស្ពឺថ្មីគាំទ្រដល់ការកិនល្បឿនលឿន ដែលកាត់បន្ថយពេលវេលាដំណើរការសម្រាប់បន្ទះស្តើងៗបានយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ ប្លង់ដឹកជញ្ជូនដែលបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងកាត់បន្ថយពេលវេលាមិនដំណើរការ ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវប្រសិទ្ធភាពរួម។

លក្ខណៈបច្ចេកទេសនៃដំណើរការ Spindle ខ្ពស់ជាងមុន៖

អ័ក្ស Z1/Z2៖ ថាមពល​ស្ពីន​បាន​កើន​ឡើង​ដល់ 6.3 kW ល្បឿន 1,000 - 4,000 នាទី⁻¹ ចម្ងាយ​រំកិល​អ័ក្ស Z 120 mm។

អ័ក្ស Z3៖ ថាមពល​ស្នូល 5.3 kW ចម្ងាយ​រំកិល​អ័ក្ស Z 65 mm។

ភាពត្រឹមត្រូវនៃអ័ក្ស Z៖ អត្រាចំណីបញ្ឈរ 0.0001 - 0.08 mm/s ការធ្វើដំណើរអប្បបរមា 0.1 μm ធានានូវភាពត្រឹមត្រូវនៃម៉ាស៊ីន។

ទិដ្ឋភាពទូទៅនៃលក្ខណៈបច្ចេកទេសលម្អិត

ប្រភេទប៉ារ៉ាម៉ែត្រ | សូចនាករជាក់លាក់

ទំហំ​ការងារ​ដែល​អាច​អនុវត្ត​បាន៖ Φ200 ម.ម / Φ300 ម.ម (8 អ៊ីញ / 12 អ៊ីញ)

វិធីសាស្ត្រកិន៖ អ័ក្ស Z1/Z2៖ ការកិនក្នុងចំណី (ការបង្វិលបន្ទះស្តើង)

អ័ក្ស Z3៖ ការកិនក្នុងចំណីមិនប្រក្រតី (ការបង្វិលបន្ទះ wafer ពិសេស)

ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធ Spindle: បី spindles (អ័ក្ស 3)

ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធតុធ្វើការ៖ តុ chuck ចំនួនបួន (តុ chuck ចំនួន 4) ដោយប្រើប្រព័ន្ធតុបង្វិល

ឧបករណ៍កិន/ប៉ូលា៖ អ័ក្ស Z1/Z2៖ កង់កិនពេជ្រ Φ300 ម.ម

អ័ក្ស Z3 (DP): បន្ទះប៉ូលាស្ងួត Φ450 ម.ម

អ័ក្ស Z3 (CMP): បន្ទះប៉ូលា CMP Φ450 mm

វិមាត្រឧបករណ៍៖ ១,៦៩០ ម.ម (ទទឹង) × ៣៣១៥ ម.ម (ជម្រៅ) × ១,៨០០ ម.ម (កម្ពស់)

ម៉ូដែល​ដែល​បាន​ម៉ោន​លើ FOUP៖ × 3,452 ម.ម (D)

ទម្ងន់ឧបករណ៍៖ ប្រហែល 6,700 គីឡូក្រាម (DP, ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធ Poligrind)

ប្រហែល 6,900 គីឡូក្រាម (ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធ CMP)

តម្រូវការថាមពល៖ បីហ្វាស 200/220/380/400 V, 50/60 Hz

ខ្យល់ដែលបានបង្ហាប់៖ លើសពី 0.5 MPa ស្អាត និងគ្មានប្រេង ចំណុចទឹកសន្សើមក្រោម -15 ℃

មុខងារស្នូល និងគុណសម្បត្តិនៃដំណើរការ៖

សមត្ថភាពប្រកួតប្រជែងស្នូលរបស់ DGP8761 ស្ថិតនៅក្នុងការរួមបញ្ចូលគ្នាដ៏ជោគជ័យនៃដំណើរការច្រើន ដោយសម្រេចបាននូវប្រសិទ្ធភាព "1+1>2"។

ដំណោះស្រាយ​តែមួយ​កន្លែង៖ តាមរយៈ​ដៃ​មនុស្សយន្ត​ខាងក្នុង បន្ទះ​បន្ទះ​អាច​បញ្ចប់​ដំណើរការ​ទាំងមូល​នៃ​ការកិន​រដុប → ការកិន​ល្អិតៗ → ការ​ប៉ូលា​ស្ងួត → ការ​សម្អាត និង​សម្ងួត​ដោយ​ស្វ័យប្រវត្តិ ដោយ​ជៀសវាង​ហានិភ័យ​នៃ​ការ​បែកខ្ញែក​ដែល​បណ្តាល​មក​ពី​ការ​ដោះស្រាយ​ច្រើន​ដង និង​ធ្វើ​ឱ្យ​វដ្ត​ផលិតកម្ម​ខ្លី​ជាង​មុន​យ៉ាង​សំខាន់។ DGP8761 អាច​សម្រេច​បាន​នូវ​ភាព​ប្រែប្រួល​កម្រាស់​សរុប (TTV) តិច​ជាង 3μm ជាប់​លាប់ ខណៈ​ពេល​ដែល​រក្សា​បាន​នូវ​កម្លាំង​ពត់​កោង​ខ្ពស់។

ការប៉ូលាស្ងួត និងការឡើងស្អិត (Getting): នេះគឺជាលក្ខណៈពិសេសមួយក្នុងចំណោមលក្ខណៈពិសេសដែលទទួលបានការសរសើរបំផុតរបស់ DGP8761។ វាប្រើប្រាស់ការប៉ូលាស្ងួតអ័ក្ស Z3 ដើម្បីយកស្រទាប់ភាពតានតឹងកិនចេញ ដែលមិនត្រឹមតែមិនប៉ះពាល់ដល់បរិស្ថានជាងដំណើរការសើមបែបប្រពៃណី (មិនប្រើសារធាតុគីមី ឬទឹកទេ) ប៉ុន្តែវាក៏បង្កើតស្រទាប់ខូចខាតខ្នាតតូចដែលអាចគ្រប់គ្រងបាននៅខាងក្នុងបន្ទះ wafer ដែលដើរតួជា "តំបន់ទទួល" ដើម្បីចាប់យកភាពមិនបរិសុទ្ធនៃលោហធាតុ ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវទិន្នផល និងភាពជឿជាក់នៃបន្ទះឈីប។ បច្ចេកវិទ្យាសំណឹកខ្នាតតូច UltraPoligrind តែមួយគត់របស់ DISCO រក្សាបាននូវប្រសិទ្ធភាពទទួល ខណៈពេលដែលសម្រេចបាននូវកម្លាំងបន្ទះឈីបខ្ពស់ដែលមិនធ្លាប់មានពីមុនមក។

ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធ និងប្រព័ន្ធអេកូឡូស៊ីកម្មវិធីដែលអាចបត់បែនបាន

ឧបករណ៍ DGP8761 មិនមែនជាឧបករណ៍ដាច់ដោយឡែកមួយទេ វាអាចធ្វើសមាហរណកម្មទៅក្នុងប្រព័ន្ធស្វ័យប្រវត្តិកម្មផ្សេងៗបានយ៉ាងរលូន។

ការពង្រីកការតភ្ជាប់៖ វាអាចត្រូវបានភ្ជាប់ទៅនឹងឧបករណ៍ភ្ជាប់បន្ទះស្តើង DFM2800 ពហុមុខងារសម្រាប់ការភ្ជាប់ DAF (Die Attach Film) ដោយផ្ទាល់បន្ទាប់ពីការស្តើង។ វាក៏អាចត្រូវបានប្រើដើម្បីបង្កើតប្រព័ន្ធដំណើរការកម្រិតខ្ពស់ដូចជា DBG (ការកាត់មុនពេលកិន) ដើម្បីបង្កើនទិន្នផលនៃបន្ទះស្តើង។

ការថែទាំ និងគ្រឿងបន្លាស់៖ ឆបគ្នាជាមួយ DISCO ស៊េរី 8000 រក្សាបាននូវភាពឆបគ្នាខ្ពស់ ដោយសមាសធាតុសំខាន់ៗដូចជាកង់កិន និងចានតុបតែងអាចផ្លាស់ប្តូរគ្នាបាន ដែលជួយសម្រួលដល់ការថែទាំ និងកាត់បន្ថយថ្លៃដើមគ្រឿងបន្លាស់។

កម្មវិធី និងប្រតិបត្តិការ៖ ដោយប្រើប្រាស់ចំណុចប្រទាក់ GUI ដោយផ្អែកលើបច្ចេកវិទ្យាស៊េរី 8000 ចាស់ទុំ តក្កវិជ្ជាប្រតិបត្តិការបង្រួបបង្រួមធ្វើឱ្យពេលវេលាបណ្តុះបណ្តាលប្រតិបត្តិករខ្លីជាងមុន។

ទីតាំងទីផ្សារ និងការអនុវត្ត៖ DGP8761 ត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងការវេចខ្ចប់កម្រិតខ្ពស់ (HPC/AI/3D IC) ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកថាមពល និងឧបករណ៍ MEMS។ DISCO ក៏ផ្តល់សេវាកម្មផលិត និងកិនដោយប្រើប្រាស់ឧបករណ៍នេះនៅក្នុងមជ្ឈមណ្ឌលបច្ចេកវិទ្យាសកលរបស់ខ្លួន (ដូចជានៅក្នុងប្រទេសចិន និងសិង្ហបុរី)។

ការពិចារណាលើការថែទាំ៖ ដើម្បីធានាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវ ការប្រកាន់ខ្ជាប់យ៉ាងតឹងរ៉ឹងចំពោះតម្រូវការបរិស្ថាន (សីតុណ្ហភាព និងសំណើមក្នុងរង្វង់ ±1°C ខ្យល់ដែលបានបង្ហាប់ស្អាត) និងតម្រូវការប្រើប្រាស់របស់ DISCO គឺមានសារៈសំខាន់។ លើសពីនេះ តក្កវិជ្ជាចលនាអ័ក្ស Z3 (រួមទាំងលំដាប់ម៉ាស៊ីនចំនួន 5 និងប៉ារ៉ាម៉ែត្រទីតាំង) ប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ដល់ទិន្នផលម៉ាស៊ីន។ ការកំណត់ប៉ារ៉ាម៉ែត្រមិនត្រឹមត្រូវអាចនាំឱ្យមានបញ្ហាដំណើរការ។

សេចក្តីសង្ខេប៖ DISCO ម៉ាស៊ីន DGP8761 គឺជាម៉ាស៊ីនកិន/ប៉ូលាកម្រិតខ្ពស់ ដែលរួមបញ្ចូលគ្នាយ៉ាងល្អឥតខ្ចោះនូវភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ និងភាពបត់បែននៃដំណើរការ។ វាមិនត្រឹមតែបើកផ្លូវសម្រាប់ការផលិតបន្ទះឈីបស្តើងបំផុតទំនើបប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែតាមរយៈសមត្ថភាពធ្វើមាត្រដ្ឋានប្រព័ន្ធដ៏មានអានុភាពរបស់វា វាបានក្លាយជាសមាសធាតុស្នូលក្នុងការកសាងរោងចក្រឆ្លាតវៃ semiconductor កម្រិតខ្ពស់។ សម្រាប់ក្រុមហ៊ុនផលិតឈានមុខគេដែលស្វែងរកដំណើរការខ្ពស់បំផុត និងស្ថេរភាពនៃដំណើរការ វាតំណាងឱ្យការវិនិយោគជាយុទ្ធសាស្ត្រដ៏សំខាន់មួយ។