ម៉ាស៊ីនកិនបន្ទះសៀគ្វី DISCO DFG8541

ម៉ាស៊ីនកិន DISCO DFG8541 គឺជាម៉ាស៊ីនកិនស្វ័យប្រវត្តិពេញលេញ ដែលត្រូវបានបង្កើតឡើងដើម្បីបំពេញតម្រូវការនៃការស្តើងបន្ទះសៀគ្វីសម្រាប់បន្ទះសៀគ្វីទំហំ 8 អ៊ីញ និងតូចជាង។ ជាការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងពីម៉ាស៊ីនមុនរបស់វា ដែលជាម៉ាស៊ីនលក់ដាច់បំផុត DFG8540 វាអាចត្រូវបានដាក់ជា "ម៉ូដែលសំខាន់សម្រាប់ការស្តើងបន្ទះសៀគ្វីទំហំ 8 អ៊ីញ" ដែលល្បីល្បាញដោយសារភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ អនាម័យខ្ពស់ និងស្ថេរភាពល្អឥតខ្ចោះ ជាពិសេសស័ក្តិសមសម្រាប់ដំណើរការវត្ថុធាតុរឹង និងផុយស្រួយដូចជាស៊ីលីកុនកាប៊ីត (SiC)។

ខាងក្រោមនេះគឺជាការណែនាំលម្អិតអំពីគោលការណ៍ធ្វើការ មុខងារស្នូល លក្ខណៈបច្ចេកទេស និងតម្លៃទីផ្សាររបស់វា។

គោលការណ៍ធ្វើការ៖ ការរួមបញ្ចូលគ្នានៃប្រសិទ្ធភាព និងភាពជាក់លាក់នៃស្នូលពីរ

DFG8541 ប្រើប្រាស់ស្ថាបត្យកម្ម "dual-spindle, three-suction-cup"។

ការបែងចែកការងារយ៉ាងច្បាស់លាស់៖ ស្ពឺឌីលមួយដឹកកង់កិនរដុប ដើម្បីយកសម្ភារៈសំខាន់ចេញពីខាងក្រោយបន្ទះស្តើងបានយ៉ាងឆាប់រហ័ស។ ស្ពឺឌីលមួយទៀតដឹកកង់កិនល្អិតៗ ដើម្បីបញ្ចប់ផ្ទៃឱ្យបានល្អិតល្អន់ ដោយសម្រេចបានលទ្ធផលចុងក្រោយរលោង រាបស្មើ និងមិនខូចខាត។

ដំណើរការមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់៖ បន្ទះ wafer ត្រូវបានស្រូបចូលទៅក្នុងកន្លែងធ្វើការដោយបូមធូលី។ តាមរយៈការធ្វើផែនការដំណើរការដ៏ច្បាស់លាស់ លំហូរការងារ "ការគៀបម្តង ដំណើរការជាបន្តបន្ទាប់" ដោយស្វ័យប្រវត្តិយ៉ាងពេញលេញត្រូវបានសម្រេច ដោយជៀសវាងហានិភ័យនៃការចម្លងរោគ និងការខូចខាតដែលបណ្តាលមកពីការផ្ទេរសម្ភារៈរវាងឧបករណ៍ផ្សេងៗគ្នា។

កម្មវិធី និងតួនាទី៖ លើសពីស៊ីលីកុន

ក្នុងនាមជាឧបករណ៍សម្រាប់គោលបំណងទូទៅ វាដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់នៅក្នុងវិស័យឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកជំនាន់ទីបី។

ភារកិច្ចស្នូល៖ ការស្តើងបន្ទះសៀគ្វីទំហំ 8 អ៊ីញ និងតូចជាង (Si/SiC) ដើម្បីកំណត់កម្រាស់គោលដៅ ដោយធានាបាននូវឯកសណ្ឋានកម្រាស់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ (TTV) និងយកស្រទាប់ខូចខាតលើផ្ទៃដែលបណ្តាលមកពីដំណើរការមុនៗ។

កម្លាំង​ស្នូល​ថ្មី​៖ ដោយ​ជ្រើសរើស​ស្ពីនឌ័រ​ដែល​មាន​កម្លាំង​បង្វិល​ខ្ពស់ ម៉ាស៊ីន DFG8541 អាច​ដំណើរការ​សម្ភារៈ​រឹង​ខ្លាំង​ដូចជា SiC បាន​យ៉ាង​មាន​ស្ថេរភាព។ នេះ​ជា​ហេតុផល​ស្នូល​ដែល​វា​ត្រូវ​បាន​គេ​ពេញ​និយម​ខ្លាំង​នៅ​ក្នុង​ទីផ្សារ​ស៊ីមីកុងដុកទ័រ​ថាមពល​បច្ចុប្បន្ន។

ទិដ្ឋភាពទូទៅនៃប៉ារ៉ាម៉ែត្រសំខាន់ៗ

ប្រភេទប៉ារ៉ាម៉ែត្រ | លក្ខណៈបច្ចេកទេសជាក់លាក់

បំណែកការងារដែលអាចអនុវត្តបាន៖ Φ8 អ៊ីញ (200 ម.ម) និងខាងក្រោម; ឆបគ្នាជាមួយបន្ទះ Φ4, 5, 6 និង 8 អ៊ីញដោយប្រើ chuck ជាសកល

វិធីសាស្ត្រកិន៖ ការកិនក្នុងចំណីបណ្តោយបង្វិល

ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធ Spindle: ស្ពឺពីរ (អ័ក្ស 2), ស្ពឺទ្រទ្រង់ខ្យល់អ៊ីដ្រូស្តាទិច (ស្តង់ដារ)

ល្បឿន​វិល​ជុំ៖ ១០០០ - ៧០០០ rpm

ថាមពល Spindle: ស្តង់ដារ 4.2 kW

ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធតុធ្វើការ៖ តុធ្វើការចំនួនបី (តុ chuck ចំនួន 3)

លក្ខណៈបច្ចេកទេសនៃកង់កិន៖ កង់កិនពេជ្រ Φ200 ម.ម

វិមាត្រឧបករណ៍ (ទទឹង x ជម្រៅ x កម្ពស់): ប្រហែល 1,100 × 2,800 × 1,800 ម.ម

ទម្ងន់ឧបករណ៍៖ ប្រហែល 3,000 គីឡូក្រាម

មុខងារ និងលក្ខណៈពិសេសសំខាន់ៗ

DFG8541 តំណាងឱ្យការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងគួរឱ្យកត់សម្គាល់ពី DFG8540។

លក្ខណៈពិសេស/មុខងារ ការពិពណ៌នាលម្អិត

សមត្ថភាពសម្អាតដ៏ល្អឥតខ្ចោះ៖ ក្បាលបាញ់ទឹកពីរប្រភេទច្រើនស្ថានីយ៖ បើប្រៀបធៀបទៅនឹងការសម្អាតខ្យល់-ទឹកបែបប្រពៃណី វាជួយលុបភាគល្អិតធូលីល្អិតៗដែលជាប់នឹងបន្ទះសៀគ្វីបន្ទាប់ពីកិនបានយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព។ បច្ចេកវិទ្យានេះត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងស្ថានីយការងារស្នូលដូចជាពែងបឺត និងកន្លែងធ្វើការ ដែលកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការបាក់បន្ទះសៀគ្វីស្តើងៗបានយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព។

ការតម្រឹមមិនប៉ះ៖ ប្រើប្រាស់កាមេរ៉ាដើម្បីកំណត់ទីតាំងកណ្តាលបន្ទះ wafer ដោយជំនួសការប៉ះរាងកាយ និងលុបបំបាត់ស្នាមឆ្កូត ឬការខូចខាតគែមក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការតម្រឹម។

ការផលិតឆ្លាតវៃ៖ រូបមន្តក្នុងមួយបន្ទះ៖ អនុញ្ញាតឱ្យបន្ទះបន្ទះផ្សេងៗគ្នានៅក្នុងកាសែតបន្ទះបន្ទះដូចគ្នាត្រូវបានដំណើរការដោយស្វ័យប្រវត្តិទៅតាមរូបមន្តដែលបានកំណត់ជាមុនរៀងៗខ្លួន (កម្រាស់កិន ល្បឿន។ល។) ដែលសម្របខ្លួនយ៉ាងល្អឥតខ្ចោះទៅនឹងការផលិតចម្រុះប្រភេទ និងបាច់តូចៗ។

មុខងារការពារបន្ទះសៀគ្វី៖ រួមបញ្ចូលយន្តការការពារច្រើន រួមទាំងការគូសផែនទីបន្ទះសៀគ្វី (ប្រឆាំងនឹងការតម្រឹមមិនត្រឹមត្រូវ/បន្ទះសៀគ្វីទទេ) ការត្រួតពិនិត្យកម្រាស់ជាមុន (ប្រឆាំងនឹងកាសែតពីរជាន់) និងការរក្សាសុញ្ញកាស (ការជូនដំណឹងអំពីការដាច់ចរន្តអគ្គិសនីភ្លាមៗ) ដែលធានាសុវត្ថិភាពនៃបន្ទះសៀគ្វីដែលមានតម្លៃខ្ពស់។

ការកែតម្រូវទំនោរដែលអាចលៃតម្រូវបានដោយអគ្គិសនី៖ ទំនោរនៃពែងបឺតអាចត្រូវបានលៃតម្រូវដោយអគ្គិសនីតាមរយៈតម្លៃនៅលើអេក្រង់ ដែលធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវរូបរាងដំណើរការ និងកាត់បន្ថយពេលវេលារងចាំដោយដៃសម្រាប់ការក្រិតតាមខ្នាត។

ភាពងាយស្រួលប្រើប្រាស់ប្រសើរឡើងគួរឱ្យកត់សម្គាល់៖ GUI អេក្រង់ធំជាង 19 អ៊ីញ៖ បើប្រៀបធៀបទៅនឹងអេក្រង់ 15 អ៊ីញរបស់ DFG8540 ការបង្ហាញមិនត្រឹមតែធំជាងប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែវាក៏មានចំណុចប្រទាក់អ្នកប្រើក្រាហ្វិកដែលងាយស្រួលប្រើផងដែរ។

ការថែទាំប្រសើរឡើង៖ រចនាសម្ព័ន្ធសម្អាតខាងក្នុងដែលប្រសើរឡើងធ្វើឱ្យការថែទាំកាន់តែងាយស្រួល។

ការសន្សំសំចៃថាមពល និងការរចនាតូច៖ អ័ក្សខ្យល់ថ្មីកាត់បន្ថយការប្រើប្រាស់ខ្យល់បាន 50%; ការរចនាស្នប់បូមធូលីដែលភ្ជាប់មកជាមួយកាត់បន្ថយទំហំផ្ទៃដីបាន 15% បើប្រៀបធៀបទៅនឹងជំនាន់មុន ដែលសម្រេចបាននូវការសន្សំសំចៃបរិស្ថានទាំងផ្នែករឹង និងប្រតិបត្តិការ។

ការកំណត់ទីតាំងទីផ្សារ និងតម្លៃ៖ បើប្រៀបធៀបទៅនឹង DGP8761 ដែលជាផលិតផលលំដាប់កំពូល ដែលផ្តោតលើទីផ្សារទំហំ 12 អ៊ីញ DFG8541 ផ្តោតសំខាន់លើទីផ្សារទំហំ 8 អ៊ីញ ដែលធ្វើឱ្យវាក្លាយជាម៉ាស៊ីនលំដាប់កំពូលធម្មតា ដែលមាន "ដំណើរការខ្ពស់ និងសន្សំសំចៃ"៖

ការកំណត់ទីតាំងដំណើរការ៖ DFG8541 គឺជាស្តង់ដារដំណើរការសម្រាប់ម៉ាស៊ីនកិនទំហំ 8 អ៊ីញ។ តាមរយៈការជ្រើសរើស spindle ដែលមានកម្លាំងបង្វិលជុំខ្ពស់ វាអាចយកឈ្នះលើបញ្ហាប្រឈមនៃវត្ថុធាតុដើមរឹង និងផុយស្រួយដូចជា SiC ដោយជោគជ័យ ដោយពង្រឹងគុណសម្បត្តិដាច់ខាតរបស់វានៅក្នុងទីផ្សារទំហំ 8 អ៊ីញ។

តម្លៃវិនិយោគ៖ ក្នុងនាមជាការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវវេទិកាចាស់ទុំមួយ វាអាចទុកចិត្តបានទាក់ទងនឹងប្រតិបត្តិការដែលមានស្ថេរភាពរយៈពេលវែង និងទិន្នផលជាបន្តបន្ទាប់ ដែលធ្វើឱ្យវាក្លាយជាជម្រើសដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ ហានិភ័យទាប និងអាចទុកចិត្តបានសម្រាប់ការវិនិយោគលើឧបករណ៍ខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្មទំហំ 8 អ៊ីញ។ សាកលវិទ្យាល័យក្នុងស្រុកកំពូលៗ (ដូចជាសាកលវិទ្យាល័យ Xi'an Jiaotong) បានទិញឧបករណ៍នេះរួចហើយសម្រាប់ការស្រាវជ្រាវទំនើបៗ។

តម្រូវការថែទាំ និងដំឡើង៖ ដើម្បីធានាបាននូវប្រតិបត្តិការដែលមានស្ថេរភាព និងភាពជាក់លាក់ខ្ពស់រយៈពេលវែងរបស់ DFG8541 ការប្រកាន់ខ្ជាប់យ៉ាងតឹងរ៉ឹងចំពោះតម្រូវការរបស់ DISCO សម្រាប់បរិយាកាសដំឡើងគឺចាំបាច់៖

អនាម័យបរិស្ថាន៖ វាត្រូវតែត្រូវបានដំឡើងនៅក្នុងបន្ទប់ស្អាតដែលមានអនាម័យខ្ពស់។ សីតុណ្ហភាពព័ទ្ធជុំវិញត្រូវតែមានស្ថេរភាពនៅ 20-25℃ ជាមួយនឹងការប្រែប្រួលដែលគ្រប់គ្រងក្នុងរង្វង់ ±1℃។ សំណើមដែលទាក់ទងជាធម្មតាត្រូវបានទាមទារឱ្យនៅក្រោម 55%។

ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល៖

ខ្យល់ដែលបានបង្ហាប់៖ ត្រូវការខ្យល់ដែលបានបង្ហាប់ដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ស្អាត ស្ងួត និងគ្មានប្រេង ក្នុងសម្ពាធ 0.5 MPa ឬខ្ពស់ជាងនេះ ។

អគ្គិសនី៖ តម្រូវឱ្យមានការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលបីដំណាក់កាលដែលត្រូវនឹងតម្រូវការថាមពលរបស់ឧបករណ៍។

ទឹកត្រជាក់៖ ទឹកដែលគ្មានអ៊ីយ៉ូដ (ទឹក DI) ដែលមានអត្រាលំហូរមានស្ថេរភាព និងសីតុណ្ហភាពថេរ គឺត្រូវបានទាមទារសម្រាប់ការត្រជាក់របស់ spindle។ សីតុណ្ហភាពទឹកជាធម្មតាគួរតែត្រូវគ្នានឹងសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ជាមួយនឹងការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពតិចតួចបំផុត។

ការត្រួតពិនិត្យ និងការជំនួសកង់កិនជាប្រចាំ ការសម្អាតក្បាលម៉ាស៊ីនបូមធូលី និងការថែទាំអ័ក្សខ្យល់គឺមានសារៈសំខាន់ខ្លាំងណាស់សម្រាប់ការពន្យារអាយុកាលឧបករណ៍ និងធានាបាននូវទិន្នផលដំណើរការ។

សរុបមក DISCO DFG8541 គឺជាដំណោះស្រាយ​កាត់​ស្តើង​បន្ទះ​ស្តើង​ទំហំ 8 អ៊ីញ​ដែលមានភាពចាស់ទុំ និងអាចទុកចិត្តបាន។ វាសម្រេចបាននូវដំណើរការឈានមុខគេក្នុងឧស្សាហកម្មនៅក្នុងផ្នែកស្នូលរបស់វា ហើយត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរយ៉ាងទូលំទូលាយសម្រាប់ស្វ័យប្រវត្តិកម្ម អនាម័យ និងភាពងាយស្រួលនៃការប្រើប្រាស់ ដើម្បីបំពេញតម្រូវការនៃការផលិតទំនើប។