டிஸ்கோ வேஃபர் கிரைண்டர் DFG8541

டிஸ்கோ DFG8541 என்பது 8-அங்குலம் மற்றும் அதற்கும் சிறிய வேஃபர்களை மெல்லியதாக்கும் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்காக உருவாக்கப்பட்ட ஒரு முழுமையான தானியங்கி அரைக்கும் இயந்திரமாகும். இதற்கு முந்தைய, அதிகம் விற்பனையாகும் DFG8540 மாடலின் மேம்படுத்தப்பட்ட பதிப்பாக, இது அதன் உயர் துல்லியம், உயர் தூய்மை மற்றும் சிறந்த நிலைத்தன்மைக்காகப் புகழ்பெற்றது. குறிப்பாக, சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) போன்ற கடினமான மற்றும் உடையக்கூடிய பொருட்களைப் பதப்படுத்துவதற்கு இது மிகவும் பொருத்தமானது. எனவே, இதை "8-அங்குல வேஃபர் மெல்லியதாக்கலுக்கான ஒரு முக்கிய மாடல்" என்று நிலைநிறுத்தலாம்.

அதன் இயக்கக் கொள்கை, முக்கிய செயல்பாடுகள், விவரக்குறிப்புகள் மற்றும் சந்தை மதிப்பு குறித்த விரிவான அறிமுகம் பின்வருமாறு.

செயல்பாட்டுக் கொள்கை: செயல்திறன் மற்றும் துல்லியத்தின் இரட்டை மைய ஒருங்கிணைப்பு

DFG8541 ஆனது 'இரட்டைச் சுழல் தண்டு, மூன்று உறிஞ்சும் கோப்பை' கட்டமைப்பைக் கொண்டுள்ளது.

தெளிவான பணிப் பங்கீடு: ஒரு சுழல் அச்சானது, வேஃபரின் பின்புறத்திலிருந்து முக்கியப் பொருளை விரைவாக அகற்றுவதற்காக ஒரு கரடுமுரடான அரைக்கும் சக்கரத்தைக் கொண்டுள்ளது; மற்றொரு சுழல் அச்சானது, மேற்பரப்பை நேர்த்தியாக மெருகூட்டி, மென்மையான, தட்டையான மற்றும் சேதமற்ற இறுதி முடிவைப் பெறுவதற்காக ஒரு நுண்ணிய அரைக்கும் சக்கரத்தைக் கொண்டுள்ளது.

மிகவும் செயல்திறன் மிக்க செயல்முறை: வேஃபர், பணிமேசையின் மீது வெற்றிட உறிஞ்சல் மூலம் ஒட்டப்படுகிறது. துல்லியமான செயல்முறைத் திட்டமிடல் மூலம், வெவ்வேறு சாதனங்களுக்கு இடையில் பொருட்களை மாற்றுவதால் ஏற்படும் மாசுபடுதல் மற்றும் சேத அபாயங்களைத் தவிர்த்து, முழுமையாகத் தானியங்குபடுத்தப்பட்ட "ஒருமுறை இறுக்குதல், தொடர்ச்சியான செயலாக்கம்" என்ற பணிப்பாய்வு அடையப்படுகிறது.

பயன்பாடுகளும் பங்குகளும்: சிலிக்கானுக்கு அப்பால்

ஒரு பொதுப் பயன்பாட்டுச் சாதனமாக, இது மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தித் துறையில் ஒரு முக்கியப் பங்கை வகிக்கிறது.

முக்கியப் பணி: 8-அங்குலம் மற்றும் அதற்கும் சிறிய சிலிக்கான்/சிலிக்கான் கார்புரேட்டர்களை (Si/SiC) இலக்குத் தடிமன்களுக்கு மெல்லியதாக்குதல், சிறந்த தடிமன் சீரான தன்மையை (TTV) உறுதி செய்தல், மற்றும் முந்தைய செயல்முறைகளால் ஏற்பட்ட மேற்பரப்பு சேத அடுக்குகளை அகற்றுதல்.

வளர்ந்து வரும் முக்கிய அம்சம்: அதிக முறுக்குவிசை கொண்ட சுழல் தண்டை தேர்ந்தெடுப்பதன் மூலம், DFG8541 ஆனது SiC போன்ற மிக அதிக கடினத்தன்மை கொண்ட பொருட்களை நிலையாகச் செயலாக்க முடியும். தற்போதைய ஆற்றல் குறைக்கடத்தி சந்தையில் இது மிகவும் விரும்பப்படுவதற்கு இதுவே முக்கிய காரணமாகும்.

முக்கிய அளவுருக்கள் கண்ணோட்டம்

அளவுரு வகை | குறிப்பிட்ட விவரக்குறிப்புகள்

பொருந்தக்கூடிய பணித்துண்டுகள்: Φ8 அங்குலம் (200 மிமீ) மற்றும் அதற்குக் கீழ்; யுனிவர்சல் சக்கைப் பயன்படுத்தி Φ4, 5, 6, மற்றும் 8-அங்குல வேஃபர்களுடன் இணக்கமானது.

அரைக்கும் முறை: சுழலும் நீள்வட்ட உள்ளீட்டு அரைத்தல்

சுழல் அச்சு கட்டமைப்பு: இரட்டை சுழல் அச்சுகள் (2 அச்சுகள்), காற்று நீர்நிலை தாங்கு சுழல் அச்சு (தரநிலை)

சுழல் வேகம்: 1,000 - 7,000 ஆர்பிஎம்

சுழல் திறன்: தரநிலை 4.2 kW

பணிமேசை கட்டமைப்பு: மூன்று பணிமேசைகள் (3 சக் மேசைகள்)

அரைக்கும் சக்கரத்தின் விவரக்குறிப்புகள்: Φ200 மிமீ வைர அரைக்கும் சக்கரம்

உபகரணத்தின் பரிமாணங்கள் (அகலம் x ஆழம் x உயரம்): தோராயமாக 1,100 × 2,800 × 1,800 மிமீ

உபகரணத்தின் எடை: சுமார் 3,000 கிலோ

முக்கிய செயல்பாடுகள் மற்றும் அம்சங்கள்

DFG8541 ஆனது DFG8540 இலிருந்து ஒரு குறிப்பிடத்தக்க மேம்பாட்டைக் குறிக்கிறது.

அம்சங்கள்/செயல்பாடுகள் பற்றிய விரிவான விளக்கம்

மேம்பட்ட சுத்தப்படுத்தும் திறன்கள்: பல-நிலைய இரு-திரவ முனைகள்: பாரம்பரிய காற்று-நீர் சுத்தப்படுத்தும் முறையுடன் ஒப்பிடுகையில், இது அரைத்த பிறகு வேஃபரில் ஒட்டிக்கொண்டிருக்கும் நுண்ணிய தூசுத் துகள்களை சக்திவாய்心地மாக நீக்குகிறது. இந்தத் தொழில்நுட்பம், உறிஞ்சும் கோப்பைகள் மற்றும் பணித்துண்டுகள் போன்ற மையப் பணிநிலையங்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது மெல்லிய வேஃபர் உடைவதற்கான அபாயத்தைத் திறம்படக் குறைக்கிறது.

தொடுதலற்ற சீரமைப்பு: சீரமைப்புச் செயல்பாட்டின் போது ஏற்படும் கீறல்கள் அல்லது விளிம்புச் சேதங்களைத் தவிர்த்து, நேரடித் தொடர்புக்குப் பதிலாக கேமராவைப் பயன்படுத்தி வேஃபரின் மையத்தைக் கண்டறிகிறது.

அறிவார்ந்த உற்பத்தி: ஒவ்வொரு வேஃபருக்கான செய்முறை: ஒரே வேஃபர் கேசட்டிற்குள் இருக்கும் வெவ்வேறு வேஃபர்களை, அவற்றின் முன்னரே அமைக்கப்பட்ட செய்முறைகளின்படி (அரைக்கும் தடிமன், வேகம் போன்றவை) தானாகவே செயலாக்க இது அனுமதிக்கிறது. இதன்மூலம், பலவகை மற்றும் சிறிய தொகுதி உற்பத்திக்கு இது கச்சிதமாகப் பொருந்துகிறது.

வேஃபர் பாதுகாப்புச் செயல்பாடுகள்: வேஃபர் மேப்பிங் (தவறான சீரமைப்பு/வெற்று வேஃபர் தடுப்பு), தடிமன் முன்-ஆய்வு (இரட்டை நாடா தடுப்பு), மற்றும் வெற்றிடத் தக்கவைப்பு (திடீர் மின்சாரத் தடை எச்சரிக்கை) உள்ளிட்ட பல பாதுகாப்பு வழிமுறைகளை ஒருங்கிணைத்து, உயர் மதிப்புள்ள வேஃபர்களின் பாதுகாப்பை உறுதி செய்கிறது.

மின்சாரத்தால் சரிசெய்யக்கூடிய சாய்வுத் திருத்தம்: உறிஞ்சும் கோப்பையின் சாய்வை, திரையில் காட்டப்படும் மதிப்புகள் மூலம் மின்சார ரீதியாகத் துல்லியமாகச் சரிசெய்ய முடியும். இது செயலாக்க வடிவத்தை மேம்படுத்துவதோடு, அளவுத்திருத்தத்திற்கான கைமுறை நேர இழப்பையும் குறைக்கிறது.

கணிசமாக மேம்படுத்தப்பட்ட பயன்பாட்டுத்தன்மை: 19-அங்குல பெரிய திரை வரைகலை பயனர் இடைமுகம் (GUI): DFG8540-இன் 15-அங்குல திரையுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​இந்தத் திரை பெரியதாக இருப்பதுடன், பயன்படுத்த எளிதான வரைகலை பயனர் இடைமுகத்தையும் கொண்டுள்ளது.

மேம்படுத்தப்பட்ட பராமரிப்பு: மேம்படுத்தப்பட்ட உள்ளக சுத்திகரிப்பு அமைப்பு, பராமரிப்பை எளிதாக்குகிறது.

ஆற்றல் சேமிப்பு மற்றும் கச்சிதமான வடிவமைப்பு: புதிய ஏர் ஸ்பிண்டில், காற்றுப் பயன்பாட்டை 50% குறைக்கிறது; உள்ளமைக்கப்பட்ட வெற்றிட பம்ப் வடிவமைப்பு, அதன் முந்தைய மாடலுடன் ஒப்பிடும்போது இடத்தைப் பிடிக்கும் அளவை 15% குறைக்கிறது. இதன் மூலம் வன்பொருள் மற்றும் செயல்பாடு ஆகிய இரண்டிலும் பசுமைச் சேமிப்பு சாத்தியமாகிறது.

சந்தை நிலைப்படுத்தல் மற்றும் மதிப்பு: 12-அங்குல சந்தையை இலக்காகக் கொண்ட முதன்மை மாடலான DGP8761 உடன் ஒப்பிடுகையில், DFG8541 ஆனது 8-அங்குல சந்தையில் அதிக கவனம் செலுத்துகிறது, இது ஒரு வழக்கமான "உயர் செயல்திறன், செலவு குறைந்த" முதன்மை இயந்திரமாக அமைகிறது.

செயல்திறன் நிலைப்பாடு: 8-அங்குல அரைப்பான்களுக்கான செயல்திறன் அளவுகோலாக DFG8541 விளங்குகிறது. அதிக முறுக்குவிசை கொண்ட சுழல் தண்டைத் தேர்ந்தெடுப்பதன் மூலம், SiC போன்ற கடினமான மற்றும் உடையக்கூடிய பொருட்களின் மெலிதல் சவால்களை இது வெற்றிகரமாகச் சமாளித்து, 8-அங்குல சந்தையில் தனது முழுமையான மேன்மையை உறுதிப்படுத்துகிறது.

முதலீட்டு மதிப்பு: ஒரு முதிர்ந்த தளத்திற்கான நிலையான மேம்பாடாக, இது நீண்ட கால நிலையான செயல்பாடு மற்றும் தொடர்ச்சியான உற்பத்தி ஆகியவற்றின் அடிப்படையில் நம்பகமானது. இதனால், 8-அங்குல உற்பத்தி வரிசை உபகரண முதலீட்டிற்கு இது ஒரு உயர் செயல்திறன், குறைந்த இடர் மற்றும் நம்பகமான தேர்வாக அமைகிறது. சியான் ஜியாவோடாங் பல்கலைக்கழகம் போன்ற முன்னணி உள்நாட்டுப் பல்கலைக்கழகங்கள், தங்களின் அதிநவீன ஆராய்ச்சிக்காக இந்த உபகரணத்தை ஏற்கனவே வாங்கியுள்ளன.

பராமரிப்பு மற்றும் நிறுவல் தேவைகள்: DFG8541-இன் நீண்ட கால, நிலையான மற்றும் உயர் துல்லியமான செயல்பாட்டை உறுதிசெய்ய, நிறுவல் சூழலுக்கான DISCO-வின் தேவைகளைக் கண்டிப்பாகப் பின்பற்றுவது அவசியம்:

சுற்றுச்சூழல் தூய்மை: இது உயர் தூய்மை கொண்ட ஒரு சுத்தமான அறையில் நிறுவப்பட வேண்டும். சுற்றுப்புற வெப்பநிலை 20-25℃ அளவில் நிலையாக இருக்க வேண்டும், மேலும் அதன் ஏற்ற இறக்கங்கள் ±1℃ வரம்பிற்குள் கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும். ஒப்பு ஈரப்பதம் பொதுவாக 55%-க்கும் குறைவாக இருக்க வேண்டும்.

மின்சாரம்:

அழுத்தப்பட்ட காற்று: 0.5 MPa அல்லது அதற்கும் அதிகமான அழுத்தத்தில், சுத்தமான, உலர்ந்த, எண்ணெய் இல்லாத உயர் தூய்மை கொண்ட அழுத்தப்பட்ட காற்று தேவைப்படுகிறது.

மின்சாரம்: உபகரணத்தின் மின் தேவைகளுக்குப் பொருத்தமான மூன்று கட்ட மின்சாரம் தேவைப்படுகிறது.

குளிரூட்டும் நீர்: சுழல் தண்டை குளிர்விக்க, நிலையான பாய்வு விகிதம் மற்றும் மாறாத வெப்பநிலை கொண்ட அயனியகற்றப்பட்ட நீர் (DI நீர்) தேவைப்படுகிறது. நீரின் வெப்பநிலை, குறைந்தபட்ச வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களுடன், பொதுவாக அறை வெப்பநிலைக்கு ஏற்றதாக இருக்க வேண்டும்.

அரைக்கும் சக்கரங்களைத் தவறாமல் ஆய்வு செய்து மாற்றுவது, வெற்றிடப் பற்றுகளைச் சுத்தம் செய்வது மற்றும் காற்றுச் சுழலியைப் பராமரிப்பது ஆகியவை உபகரணங்களின் ஆயுளை நீட்டிப்பதற்கும் செயலாக்க விளைச்சலை உறுதி செய்வதற்கும் இன்றியமையாதவை ஆகும்.

சுருக்கமாக, டிஸ்கோ DFG8541 என்பது ஒரு முதிர்ந்த மற்றும் நம்பகமான 8-அங்குல வேஃபர் மெலிதாக்கும் தீர்வாகும். இது அதன் முக்கியப் பகுதிகளில் தொழில்துறையில் முன்னணி செயல்திறனை அடைவதோடு, நவீன உற்பத்தியின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும் வகையில் தானியக்கம், தூய்மை மற்றும் பயன்பாட்டு எளிமைக்காக முழுமையாக மேம்படுத்தப்பட்டுள்ளது.