Mașină de râșnit napolitane DISCO DFG8541

DISCO DFG8541 este o mașină de șlefuit complet automatizată, dezvoltată pentru a satisface nevoile de subțiere a napolitanelor de 8 inch și mai mici. Ca un upgrade față de predecesorul său, cel mai bine vândut DFG8540, aceasta poate fi poziționată ca „model principal pentru subțierea napolitanelor de 8 inch”, renumită pentru precizia ridicată, curățenia ridicată și stabilitatea excelentă, fiind potrivită în special pentru prelucrarea materialelor dure și fragile, cum ar fi carbura de siliciu (SiC).

Următoarea este o introducere detaliată a principiului său de funcționare, funcțiilor de bază, specificațiilor și valorii de piață.

Principiu de funcționare: Sinergie dual-core între eficiență și precizie

DFG8541 adoptă o arhitectură „cu două axe și trei ventuze”.

Diviziune clară a muncii: Un ax poartă o roată de șlefuit grosier pentru a îndepărta rapid materialul principal din spatele plachetei; celălalt ax poartă o roată de șlefuit fin pentru a finisa fin suprafața, obținând un rezultat final neted, plat și fără deteriorări.

Proces extrem de eficient: Placheta este adsorbită în vid pe masa de lucru. Prin planificarea precisă a procesului, se obține un flux de lucru complet automatizat de tip „prindere unică, procesare continuă”, evitând riscurile de contaminare și deteriorare cauzate de transferul de materiale între diferite dispozitive.

Aplicații și roluri: Dincolo de siliciu

Ca dispozitiv de uz general, joacă un rol crucial în domeniul semiconductorilor de a treia generație.

Sarcină principală: Subțierea napolitanelor de 8 inch și mai mici (Si/SiC) la grosimile țintă, asigurând o uniformitate excelentă a grosimii (TTV) și îndepărtând straturile de deteriorare a suprafeței cauzate de procesele anterioare.

Pilon emergent: Prin selectarea unui ax cu cuplu ridicat, DFG8541 poate procesa stabil materiale cu duritate ultra-înaltă, cum ar fi SiC. Acesta este motivul principal pentru care este atât de popular pe piața actuală a semiconductorilor de putere.

Prezentare generală a parametrilor cheie

Categorie de parametri | Specificații specifice

Piese de prelucrat aplicabile: Φ8 inci (200 mm) și mai mici; compatibil cu napolitane Φ4, 5, 6 și 8 inci folosind o mandrină universală

Metodă de rectificare: Rectificare rotativă longitudinală cu avans

Configurația axului: Axuri duble (2 axe), ax cu rulment hidrostatic pneumatic (standard)

Turația axului: 1.000 - 7.000 rpm

Putere ax: Standard 4,2 kW

Configurația mesei de lucru: Trei mese de lucru (3 mese cu mandrină)

Specificații ale discului abraziv: Disc abraziv diamantat Φ200 mm

Dimensiunile echipamentului (l x A x Î): Aprox. 1.100 × 2.800 × 1.800 mm

Greutatea echipamentului: Aprox. 3.000 kg

Funcții și caracteristici cheie

DFG8541 reprezintă o îmbunătățire semnificativă față de DFG8540.

Descriere detaliată a caracteristicilor/funcțiilor

Capacități superioare de curățare: Duze cu două fluide, cu mai multe stații: Comparativ cu curățarea tradițională aer-apă, aceasta îndepărtează puternic particulele fine de praf care aderă la napolitană după măcinare. Această tehnologie este utilizată pe scară largă în stațiile de lucru principale, cum ar fi ventuzele și piesele de prelucrat, reducând eficient riscul de spargere a napolitanelor subțiri.

Aliniere fără contact: Utilizează o cameră pentru a localiza centrul plachetei, înlocuind contactul fizic și eliminând zgârieturile sau deteriorarea marginilor în timpul procesului de aliniere.

Producție inteligentă: Rețetă per napolitană: Permite procesarea automată a diferitelor napolitane din aceeași casetă de napolitane în funcție de rețetele prestabilite respective (grosimea de măcinare, viteza etc.), adaptându-se perfect la producția multi-varietate, în loturi mici.

Funcții de protecție a napolitanelor: Integrează multiple mecanisme de protecție, inclusiv maparea napolitanelor (anti-nealiniere/napolitană goală), pre-inspecția grosimii (bandă anti-dublă) și menținerea vidului (alarmă în caz de pană de curent bruscă), asigurând siguranța napolitanelor de mare valoare.

Corecția înclinării reglabilă electric: Înclinarea ventuzei poate fi reglată fin electric prin intermediul valorilor afișate pe ecran, optimizând forma de procesare și reducând timpul de nefuncționare manual pentru calibrare.

Utilizabilitate semnificativ îmbunătățită: Interfață grafică cu ecran mai mare de 19 inci: Comparativ cu ecranul de 15 inci al modelului DFG8540, afișajul nu este doar mai mare, ci dispune și de o interfață grafică intuitivă.

Întreținere optimizată: Structura internă îmbunătățită de curățare facilitează întreținerea.

Economie de energie și design compact: Noul ax pneumatic reduce consumul de aer cu 50%; designul pompei de vid încorporate reduce amprenta cu 15% față de predecesorul său, realizând economii ecologice atât la nivelul hardware-ului, cât și la funcționare.

Poziționare pe piață și valoare: Comparativ cu modelul emblematic DGP8761, care vizează piața de 12 inch, DFG8541 se concentrează mai mult pe piața de 8 inch, ceea ce îl face un model emblematic tipic „de înaltă performanță și rentabil”.

Poziționare în materie de performanță: DFG8541 este standardul de performanță pentru polizoarele de 8 inch. Prin selectarea unui ax cu cuplu ridicat, depășește cu succes provocările de subțiere ale materialelor dure și fragile, cum ar fi SiC, consolidându-și avantajul absolut pe piața de 8 inch.

Valoarea investiției: Fiind o actualizare stabilă a unei platforme mature, este fiabilă în ceea ce privește funcționarea stabilă pe termen lung și producția continuă, ceea ce o face o alegere de înaltă eficiență, risc redus și fiabilă pentru investițiile în echipamente pentru linii de producție de 8 inch. Universități autohtone de top (cum ar fi Universitatea Xi'an Jiaotong) au achiziționat deja acest echipament pentru cercetare de vârf.

Cerințe de întreținere și instalare: Pentru a asigura funcționarea stabilă și de înaltă precizie pe termen lung a DFG8541, este necesară respectarea strictă a cerințelor DISCO privind mediul de instalare:

Curățenia mediului: Trebuie instalat într-o cameră sterilă cu un nivel ridicat de curățenie. Temperatura ambientală trebuie să fie stabilă la 20-25 ℃, cu fluctuații controlate în limita a ±1 ℃. Umiditatea relativă este de obicei sub 55%.

Alimentare electrică:

Aer comprimat: Este necesar aer comprimat de înaltă puritate, curat, uscat și fără ulei, la o presiune de 0,5 MPa sau mai mare.

Electricitate: Este necesară o sursă de alimentare trifazată care să corespundă cerințelor de putere ale echipamentului.

Apă de răcire: Pentru răcirea axului este necesară apă deionizată (apă DI) cu un debit stabil și o temperatură constantă. Temperatura apei ar trebui să corespundă, de obicei, temperaturii camerei, cu fluctuații minime de temperatură.

Inspectarea și înlocuirea regulată a corpurilor de șlefuit, curățarea mandrinelor cu vid și întreținerea axului pneumatic sunt cruciale pentru prelungirea duratei de viață a echipamentului și asigurarea randamentului de prelucrare.

În concluzie, DISCO DFG8541 este o soluție matură și fiabilă pentru subțierea waferelor de 8 inci. Atinge performanțe de vârf în industrie în domeniile sale principale și este optimizată complet pentru automatizare, curățenie și ușurință în utilizare pentru a satisface nevoile producției moderne.