DISCO gofret öğütücü DFG8541

DISCO DFG8541, 8 inç ve daha küçük wafer'ların inceltme ihtiyaçlarını karşılamak üzere geliştirilmiş, tamamen otomatik bir taşlama makinesidir. Önceki modeli olan ve çok satan DFG8540'ın geliştirilmiş bir versiyonu olarak, yüksek hassasiyeti, yüksek temizliği ve mükemmel stabilitesiyle tanınan ve özellikle silisyum karbür (SiC) gibi sert ve kırılgan malzemelerin işlenmesi için uygun olan bu makine, "8 inç wafer inceltme için temel model" olarak konumlandırılabilir.

Aşağıda, çalışma prensibi, temel işlevleri, özellikleri ve piyasa değeri hakkında detaylı bir tanıtım yer almaktadır.

Çalışma Prensibi: Verimlilik ve Hassasiyetin Çift Çekirdekli Sinerjisi

DFG8541, "çift milli, üç vantuzlu" bir mimariye sahiptir.

Net İş Bölümü: Bir mil, yonga levhasının arka yüzeyindeki ana malzemeyi hızlıca çıkarmak için kaba bir taşlama tekerleği taşır; diğer mil ise yüzeyi ince bir şekilde işlemek ve pürüzsüz, düz ve hasarsız bir sonuç elde etmek için ince bir taşlama tekerleği taşır.

Son derece verimli işlem: Yonga levhası vakumla çalışma tablasına yapıştırılır. Hassas işlem planlaması sayesinde, farklı cihazlar arasında malzeme transferinden kaynaklanan kirlenme ve hasar risklerini önleyen, tamamen otomatikleştirilmiş "tek seferlik kenetleme, sürekli işleme" iş akışı elde edilir.

Uygulamalar ve Roller: Silikonun Ötesinde

Çok amaçlı bir cihaz olarak, üçüncü nesil yarı iletken alanında çok önemli bir rol oynamaktadır.

Temel Görev: 8 inç ve daha küçük silikon/silikon karbür levhaları hedef kalınlıklara inceltmek, mükemmel kalınlık homojenliği (TTV) sağlamak ve önceki işlemlerden kaynaklanan yüzey hasar katmanlarını gidermek.

Yeni Bir Temel Unsur: Yüksek torklu bir mil seçimiyle, DFG8541, SiC gibi ultra yüksek sertlikteki malzemeleri istikrarlı bir şekilde işleyebilir. Bu, günümüz güç yarı iletken pazarında bu kadar çok tercih edilmesinin temel nedenidir.

Temel Parametrelere Genel Bakış

Parametre Kategorisi | Spesifik Özellikler

Uygulanabilir İş Parçaları: Φ8 inç (200 mm) ve altı; üniversal mandren kullanılarak Φ4, 5, 6 ve 8 inç wafer'larla uyumludur.

Öğütme Yöntemi: Döner uzunlamasına beslemeli öğütme

Mil Konfigürasyonu: Çift mil (2 eksen), hava hidrostatik yataklı mil (standart)

Mil Hızı: 1.000 - 7.000 dev/dak

İş mili gücü: Standart 4,2 kW

Çalışma Masası Yapılandırması: Üç çalışma masası (3 aynalı tabla)

Taşlama Taşı Özellikleri: Φ200 mm elmas taşlama taşı

Ekipman Boyutları (G x D x Y): Yaklaşık 1.100 × 2.800 × 1.800 mm

Ekipman Ağırlığı: Yaklaşık 3.000 kg

Temel Fonksiyonlar ve Özellikler

DFG8541, DFG8540'a kıyasla önemli bir gelişmeyi temsil etmektedir.

Özellikler/Fonksiyonlar Ayrıntılı Açıklama

Üstün Temizleme Yetenekleri: Çok istasyonlu çift akışlı nozullar: Geleneksel hava-su temizliğine kıyasla, bu teknoloji taşlama işleminden sonra gofret üzerinde kalan ince toz parçacıklarını güçlü bir şekilde temizler. Bu teknoloji, vantuzlar ve iş parçaları gibi temel iş istasyonlarında yaygın olarak kullanılır ve ince gofret kırılma riskini etkili bir şekilde azaltır.

Temassız Hizalama: Hizalama işlemi sırasında fiziksel teması ortadan kaldırarak ve çizik veya kenar hasarını önleyerek, plakanın merkezini bulmak için bir kamera kullanır.

Akıllı Üretim: Her Gofret İçin Ayrı Tarif: Aynı gofret kaseti içindeki farklı gofretlerin, önceden belirlenmiş tariflerine (öğütme kalınlığı, hız vb.) göre otomatik olarak işlenmesini sağlar ve çok çeşitli, küçük partili üretime mükemmel şekilde uyum sağlar.

Yonga Levha Koruma Fonksiyonları: Yonga levha haritalama (hizalama hatası/boş yonga levha önleme), kalınlık ön kontrolü (çift bant önleme) ve vakum tutma (ani güç kesintisi alarmı) dahil olmak üzere birden fazla koruma mekanizmasını entegre ederek yüksek değerli yonga levhaların güvenliğini sağlar.

Elektrikle Ayarlanabilir Eğim Düzeltme: Vantuzun eğimi, ekrandaki değerler aracılığıyla elektrikle hassas bir şekilde ayarlanabilir, böylece işleme şekli optimize edilir ve kalibrasyon için gereken manuel bekleme süresi azaltılır.

Kullanılabilirlik Önemli Ölçüde Geliştirildi: 19 İnç Daha Büyük Ekranlı Grafik Kullanıcı Arayüzü: DFG8540'ın 15 inçlik ekranına kıyasla, ekran yalnızca daha büyük olmakla kalmıyor, aynı zamanda sezgisel bir grafik kullanıcı arayüzüne de sahip.

Optimize Edilmiş Bakım: Geliştirilmiş iç temizleme yapısı bakımı kolaylaştırır.

Enerji Tasarrufu ve Kompakt Tasarım: Yeni hava mili, hava tüketimini %50 azaltır; dahili vakum pompası tasarımı, önceki modele kıyasla kapladığı alanı %15 azaltarak hem donanım hem de işletme açısından çevre dostu tasarruf sağlar.

Pazar Konumlandırması ve Değeri: 12 inç pazarı hedefleyen amiral gemisi DGP8761 ile karşılaştırıldığında, DFG8541 daha çok 8 inç pazarına odaklanarak tipik bir "yüksek performanslı, uygun fiyatlı" amiral gemisi makine haline geliyor:

Performans Konumlandırması: DFG8541, 8 inçlik taşlama makineleri için performans ölçütüdür. Yüksek torklu bir mil seçimiyle, SiC gibi sert ve kırılgan malzemelerin incelme zorluklarının üstesinden başarıyla gelir ve 8 inçlik pazardaki mutlak üstünlüğünü pekiştirir.

Yatırım Değeri: Olgun bir platforma istikrarlı bir yükseltme olarak, uzun vadeli istikrarlı çalışma ve sürekli üretim açısından güvenilirdir; bu da onu 8 inçlik üretim hattı ekipmanı yatırımı için yüksek verimlilikli, düşük riskli ve güvenilir bir seçenek haline getirir. Önde gelen yerli üniversiteler (örneğin Xi'an Jiaotong Üniversitesi) bu ekipmanı ileri düzey araştırmaları için zaten satın almıştır.

Bakım ve Kurulum Gereksinimleri: DFG8541'in uzun vadeli, istikrarlı ve yüksek hassasiyetli çalışmasını sağlamak için, DISCO'nun kurulum ortamına ilişkin gereksinimlerine sıkı bir şekilde uyulması gerekmektedir:

Ortam Temizliği: Yüksek temizlik standartlarına sahip bir temiz oda ortamına kurulmalıdır. Ortam sıcaklığı 20-25℃ arasında sabit olmalı ve ±1℃ içinde dalgalanmalar kontrol edilmelidir. Bağıl nemin genellikle %55'in altında olması gerekmektedir.

Güç Kaynağı:

Basınçlı Hava: 0,5 MPa veya daha yüksek basınçta, temiz, kuru ve yağsız yüksek saflıkta basınçlı hava gereklidir.

Elektrik: Ekipmanın güç gereksinimlerini karşılayacak üç fazlı bir güç kaynağı gereklidir.

Soğutma Suyu: Mil soğutması için sabit akış hızına ve sabit sıcaklığa sahip deiyonize su (DI suyu) gereklidir. Su sıcaklığı, minimum sıcaklık dalgalanmalarıyla genellikle oda sıcaklığına eşit olmalıdır.

Taşlama disklerinin düzenli olarak incelenmesi ve değiştirilmesi, vakum aynalarının temizlenmesi ve hava milinin bakımı, ekipman ömrünü uzatmak ve işleme verimliliğini sağlamak için çok önemlidir.

Özetle, DISCO DFG8541, olgun ve güvenilir bir 8 inçlik wafer inceltme çözümüdür. Temel alanlarında sektör lideri performans sergiler ve modern üretim ihtiyaçlarını karşılamak için otomasyon, temizlik ve kullanım kolaylığı açısından kapsamlı bir şekilde optimize edilmiştir.