DISCO ವೇಫರ್ ಗ್ರೈಂಡರ್ DFG8541

DISCO DFG8541 ಎಂಬುದು 8-ಇಂಚಿನ ಮತ್ತು ಚಿಕ್ಕ ವೇಫರ್‌ಗಳಿಗೆ ವೇಫರ್ ತೆಳುವಾಗಿಸುವ ಅಗತ್ಯಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಲಾದ ಸಂಪೂರ್ಣ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಯಂತ್ರವಾಗಿದೆ. ಅದರ ಪೂರ್ವವರ್ತಿಯಾದ, ಹೆಚ್ಚು ಮಾರಾಟವಾಗುವ DFG8540 ಗೆ ಅಪ್‌ಗ್ರೇಡ್ ಆಗಿ, ಇದನ್ನು "8-ಇಂಚಿನ ವೇಫರ್ ತೆಳುವಾಗುವುದಕ್ಕೆ ಮುಖ್ಯ ಮಾದರಿ"ಯಾಗಿ ಇರಿಸಬಹುದು, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುಚಿತ್ವ ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಸ್ಥಿರತೆಗೆ ಹೆಸರುವಾಸಿಯಾಗಿದೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC) ನಂತಹ ಕಠಿಣ ಮತ್ತು ಸುಲಭವಾಗಿ ಆಗುವ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಸಂಸ್ಕರಿಸಲು ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.

ಅದರ ಕಾರ್ಯ ತತ್ವ, ಮೂಲ ಕಾರ್ಯಗಳು, ವಿಶೇಷಣಗಳು ಮತ್ತು ಮಾರುಕಟ್ಟೆ ಮೌಲ್ಯದ ವಿವರವಾದ ಪರಿಚಯ ಇಲ್ಲಿದೆ.

ಕಾರ್ಯ ತತ್ವ: ದಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ನಿಖರತೆಯ ಡ್ಯುಯಲ್-ಕೋರ್ ಸಿನರ್ಜಿ

DFG8541 "ಡ್ಯುಯಲ್-ಸ್ಪಿಂಡಲ್, ಮೂರು-ಸಕ್ಷನ್-ಕಪ್" ವಾಸ್ತುಶಿಲ್ಪವನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಂಡಿದೆ.

ಕಾರ್ಮಿಕರ ಸ್ಪಷ್ಟ ವಿಭಾಗ: ಒಂದು ಸ್ಪಿಂಡಲ್ ವೇಫರ್‌ನ ಹಿಂಭಾಗದಿಂದ ಮುಖ್ಯ ವಸ್ತುವನ್ನು ತ್ವರಿತವಾಗಿ ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಒರಟಾದ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಚಕ್ರವನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ; ಇನ್ನೊಂದು ಸ್ಪಿಂಡಲ್ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ನುಣ್ಣಗೆ ಮುಗಿಸಲು ಉತ್ತಮವಾದ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಚಕ್ರವನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ, ಇದು ನಯವಾದ, ಸಮತಟ್ಟಾದ ಮತ್ತು ಹಾನಿ-ಮುಕ್ತ ಅಂತಿಮ ಫಲಿತಾಂಶವನ್ನು ಸಾಧಿಸುತ್ತದೆ.

ಹೆಚ್ಚು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ: ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ವರ್ಕ್‌ಟೇಬಲ್ ಮೇಲೆ ನಿರ್ವಾತ-ಹೀರಿಕೊಳ್ಳಲಾಗುತ್ತದೆ. ನಿಖರವಾದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಯೋಜನೆಯ ಮೂಲಕ, ಸಂಪೂರ್ಣ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ "ಒಂದು-ಬಾರಿ ಕ್ಲ್ಯಾಂಪಿಂಗ್, ನಿರಂತರ ಸಂಸ್ಕರಣೆ" ಕೆಲಸದ ಹರಿವನ್ನು ಸಾಧಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ವಿವಿಧ ಸಾಧನಗಳ ನಡುವೆ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ವರ್ಗಾಯಿಸುವುದರಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಮಾಲಿನ್ಯ ಮತ್ತು ಹಾನಿಯ ಅಪಾಯಗಳನ್ನು ತಪ್ಪಿಸುತ್ತದೆ.

ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳು ಮತ್ತು ಪಾತ್ರಗಳು: ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮೀರಿ

ಸಾಮಾನ್ಯ ಉದ್ದೇಶದ ಸಾಧನವಾಗಿ, ಇದು ಮೂರನೇ ತಲೆಮಾರಿನ ಅರೆವಾಹಕ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತದೆ.

ಮುಖ್ಯ ಕಾರ್ಯ: ದಪ್ಪಗಳನ್ನು ಗುರಿಯಾಗಿಸಲು 8-ಇಂಚಿನ ಮತ್ತು ಚಿಕ್ಕ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು (Si/SiC) ತೆಳುಗೊಳಿಸುವುದು, ಅತ್ಯುತ್ತಮ ದಪ್ಪ ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು (TTV) ಖಚಿತಪಡಿಸುವುದು ಮತ್ತು ಹಿಂದಿನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಂದ ಉಂಟಾದ ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯ ಪದರಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುವುದು.

ಉದಯೋನ್ಮುಖ ಮುಖ್ಯವಾಹಿನಿ: ಹೆಚ್ಚಿನ ಟಾರ್ಕ್ ಸ್ಪಿಂಡಲ್ ಅನ್ನು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡುವ ಮೂಲಕ, DFG8541 SiC ನಂತಹ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ಗಡಸುತನದ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಸ್ಥಿರವಾಗಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೊಳಿಸಬಹುದು. ಪ್ರಸ್ತುತ ವಿದ್ಯುತ್ ಅರೆವಾಹಕ ಮಾರುಕಟ್ಟೆಯಲ್ಲಿ ಇದು ಹೆಚ್ಚು ಜನಪ್ರಿಯವಾಗಲು ಇದು ಪ್ರಮುಖ ಕಾರಣವಾಗಿದೆ.

ಪ್ರಮುಖ ನಿಯತಾಂಕಗಳ ಅವಲೋಕನ

ನಿಯತಾಂಕ ವರ್ಗ | ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ವಿಶೇಷಣಗಳು

ಅನ್ವಯವಾಗುವ ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್‌ಗಳು: Φ8 ಇಂಚುಗಳು (200mm) ಮತ್ತು ಕೆಳಗಿನವು; ಸಾರ್ವತ್ರಿಕ ಚಕ್ ಬಳಸಿ Φ4, 5, 6 ಮತ್ತು 8-ಇಂಚಿನ ವೇಫರ್‌ಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.

ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ವಿಧಾನ: ರೋಟರಿ ಲಾಂಗಿಟ್ಯೂಡಿನಲ್ ಇನ್-ಫೀಡ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್

ಸ್ಪಿಂಡಲ್ ಕಾನ್ಫಿಗರೇಶನ್: ಡ್ಯುಯಲ್ ಸ್ಪಿಂಡಲ್‌ಗಳು (2 ಅಕ್ಷಗಳು), ಏರ್ ಹೈಡ್ರೋಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಬೇರಿಂಗ್ ಸ್ಪಿಂಡಲ್ (ಸ್ಟ್ಯಾಂಡರ್ಡ್)

ಸ್ಪಿಂಡಲ್ ವೇಗ: 1,000 - 7,000 rpm

ಸ್ಪಿಂಡಲ್ ಪವರ್: ಸ್ಟ್ಯಾಂಡರ್ಡ್ 4.2 kW

ವರ್ಕ್‌ಟೇಬಲ್ ಕಾನ್ಫಿಗರೇಶನ್: ಮೂರು ವರ್ಕ್‌ಟೇಬಲ್‌ಗಳು (3 ಚಕ್ ಟೇಬಲ್‌ಗಳು)

ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ವೀಲ್ ವಿಶೇಷಣಗಳು: Φ200 ಎಂಎಂ ಡೈಮಂಡ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ವೀಲ್

ಸಲಕರಣೆಗಳ ಆಯಾಮಗಳು (ಅಂಗಡಿ x ಆಳ x ಎತ್ತರ): ಅಂದಾಜು 1,100 × 2,800 × 1,800 ಮಿಮೀ

ಸಲಕರಣೆ ತೂಕ: ಅಂದಾಜು 3,000 ಕೆಜಿ

ಪ್ರಮುಖ ಕಾರ್ಯಗಳು ಮತ್ತು ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು

DFG8541, DFG8540 ಗಿಂತ ಗಮನಾರ್ಹವಾದ ನವೀಕರಣವನ್ನು ಪ್ರತಿನಿಧಿಸುತ್ತದೆ.

ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು/ಕಾರ್ಯಗಳ ವಿವರವಾದ ವಿವರಣೆ

ಉನ್ನತ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯಗಳು: ಬಹು-ನಿಲ್ದಾಣ ಎರಡು-ದ್ರವ ನಳಿಕೆಗಳು: ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಗಾಳಿ-ನೀರಿನ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, ಇದು ರುಬ್ಬಿದ ನಂತರ ವೇಫರ್‌ಗೆ ಅಂಟಿಕೊಂಡಿರುವ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಧೂಳಿನ ಕಣಗಳನ್ನು ಶಕ್ತಿಯುತವಾಗಿ ತೆಗೆದುಹಾಕುತ್ತದೆ. ಈ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಸಕ್ಷನ್ ಕಪ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್‌ಗಳಂತಹ ಕೋರ್ ವರ್ಕ್‌ಸ್ಟೇಷನ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ತೆಳುವಾದ ವೇಫರ್ ಒಡೆಯುವಿಕೆಯ ಅಪಾಯವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಸಂಪರ್ಕವಿಲ್ಲದ ಜೋಡಣೆ: ವೇಫರ್ ಕೇಂದ್ರವನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಲು ಕ್ಯಾಮೆರಾವನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ, ಭೌತಿಕ ಸಂಪರ್ಕವನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಜೋಡಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಗೀರುಗಳು ಅಥವಾ ಅಂಚಿನ ಹಾನಿಯನ್ನು ನಿವಾರಿಸುತ್ತದೆ.

ಬುದ್ಧಿವಂತ ಉತ್ಪಾದನೆ: ಪ್ರತಿ-ವೇಫರ್ ಪಾಕವಿಧಾನ: ಒಂದೇ ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾಸೆಟ್‌ನಲ್ಲಿರುವ ವಿಭಿನ್ನ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಅವುಗಳ ಪೂರ್ವನಿಗದಿ ಪಾಕವಿಧಾನಗಳ ಪ್ರಕಾರ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತವಾಗಿ ಸಂಸ್ಕರಿಸಲು ಅನುಮತಿಸುತ್ತದೆ (ರುಬ್ಬುವ ದಪ್ಪ, ವೇಗ, ಇತ್ಯಾದಿ), ಬಹು-ವೈವಿಧ್ಯಮಯ, ಸಣ್ಣ-ಬ್ಯಾಚ್ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.

ವೇಫರ್ ಪ್ರೊಟೆಕ್ಷನ್ ಕಾರ್ಯಗಳು: ವೇಫರ್ ಮ್ಯಾಪಿಂಗ್ (ತಪ್ಪಾಗಿ ಜೋಡಿಸುವಿಕೆ/ಖಾಲಿ ವೇಫರ್), ದಪ್ಪ ಪೂರ್ವ-ತಪಾಸಣೆ (ಡಬಲ್ ಟೇಪ್ ವಿರೋಧಿ), ಮತ್ತು ನಿರ್ವಾತ ಹಿಡಿತ (ಹಠಾತ್ ವಿದ್ಯುತ್ ವೈಫಲ್ಯ ಎಚ್ಚರಿಕೆ) ಸೇರಿದಂತೆ ಬಹು ರಕ್ಷಣಾ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನಗಳನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಮೌಲ್ಯದ ವೇಫರ್‌ಗಳ ಸುರಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.

ವಿದ್ಯುತ್ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ ಟಿಲ್ಟ್ ತಿದ್ದುಪಡಿ: ಸಕ್ಷನ್ ಕಪ್ ಟಿಲ್ಟ್ ಅನ್ನು ಆನ್-ಸ್ಕ್ರೀನ್ ಮೌಲ್ಯಗಳ ಮೂಲಕ ವಿದ್ಯುತ್ ಮೂಲಕ ಫೈನ್-ಟ್ಯೂನ್ ಮಾಡಬಹುದು, ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಆಕಾರವನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯಕ್ಕಾಗಿ ಹಸ್ತಚಾಲಿತ ಡೌನ್‌ಟೈಮ್ ಅನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ವರ್ಧಿತ ಬಳಕೆಯ ಸಾಧ್ಯತೆ: 19-ಇಂಚಿನ ದೊಡ್ಡ ಪರದೆಯ GUI: DFG8540 ರ 15-ಇಂಚಿನ ಪರದೆಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, ಪ್ರದರ್ಶನವು ದೊಡ್ಡದಾಗಿದೆ ಮಾತ್ರವಲ್ಲದೆ ಅರ್ಥಗರ್ಭಿತ ಚಿತ್ರಾತ್ಮಕ ಬಳಕೆದಾರ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ ಅನ್ನು ಸಹ ಹೊಂದಿದೆ.

ಅತ್ಯುತ್ತಮ ನಿರ್ವಹಣೆ: ಸುಧಾರಿತ ಆಂತರಿಕ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ರಚನೆಯು ನಿರ್ವಹಣೆಯನ್ನು ಸುಲಭಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.

ಇಂಧನ ಉಳಿತಾಯ ಮತ್ತು ಸಾಂದ್ರ ವಿನ್ಯಾಸ: ಹೊಸ ಏರ್ ಸ್ಪಿಂಡಲ್ ಗಾಳಿಯ ಬಳಕೆಯನ್ನು 50% ರಷ್ಟು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ; ಅಂತರ್ನಿರ್ಮಿತ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ವಿನ್ಯಾಸವು ಅದರ ಹಿಂದಿನದಕ್ಕೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ಹೆಜ್ಜೆಗುರುತನ್ನು 15% ರಷ್ಟು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಹಾರ್ಡ್‌ವೇರ್ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ ಎರಡರಲ್ಲೂ ಹಸಿರು ಉಳಿತಾಯವನ್ನು ಸಾಧಿಸುತ್ತದೆ.

ಮಾರುಕಟ್ಟೆ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ಮತ್ತು ಮೌಲ್ಯ: 12-ಇಂಚಿನ ಮಾರುಕಟ್ಟೆಯನ್ನು ಗುರಿಯಾಗಿಸಿಕೊಂಡಿರುವ ಫ್ಲ್ಯಾಗ್‌ಶಿಪ್ DGP8761 ಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, DFG8541 8-ಇಂಚಿನ ಮಾರುಕಟ್ಟೆಯ ಮೇಲೆ ಹೆಚ್ಚು ಗಮನಹರಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ವಿಶಿಷ್ಟವಾದ "ಉನ್ನತ-ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ, ವೆಚ್ಚ-ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ" ಫ್ಲ್ಯಾಗ್‌ಶಿಪ್ ಯಂತ್ರವನ್ನಾಗಿ ಮಾಡುತ್ತದೆ:

ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ: DFG8541 8-ಇಂಚಿನ ಗ್ರೈಂಡರ್‌ಗಳಿಗೆ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಮಾನದಂಡವಾಗಿದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ಟಾರ್ಕ್ ಸ್ಪಿಂಡಲ್ ಅನ್ನು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡುವ ಮೂಲಕ, ಇದು SiC ನಂತಹ ಗಟ್ಟಿಯಾದ ಮತ್ತು ಸುಲಭವಾಗಿ ಬಳಸುವ ವಸ್ತುಗಳ ತೆಳುವಾಗಿಸುವ ಸವಾಲುಗಳನ್ನು ಯಶಸ್ವಿಯಾಗಿ ನಿವಾರಿಸುತ್ತದೆ, 8-ಇಂಚಿನ ಮಾರುಕಟ್ಟೆಯಲ್ಲಿ ಅದರ ಸಂಪೂರ್ಣ ಪ್ರಯೋಜನವನ್ನು ಕ್ರೋಢೀಕರಿಸುತ್ತದೆ.

ಹೂಡಿಕೆ ಮೌಲ್ಯ: ಪ್ರಬುದ್ಧ ವೇದಿಕೆಗೆ ಸ್ಥಿರವಾದ ಅಪ್‌ಗ್ರೇಡ್ ಆಗಿ, ಇದು ದೀರ್ಘಾವಧಿಯ ಸ್ಥಿರ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ ಮತ್ತು ನಿರಂತರ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ವಿಷಯದಲ್ಲಿ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹವಾಗಿದೆ, ಇದು 8-ಇಂಚಿನ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸಾಲಿನ ಉಪಕರಣಗಳ ಹೂಡಿಕೆಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ದಕ್ಷತೆ, ಕಡಿಮೆ-ಅಪಾಯ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಆಯ್ಕೆಯಾಗಿದೆ. ಉನ್ನತ ದೇಶೀಯ ವಿಶ್ವವಿದ್ಯಾಲಯಗಳು (ಕ್ಸಿಯಾನ್ ಜಿಯಾಟಾಂಗ್ ವಿಶ್ವವಿದ್ಯಾಲಯದಂತಹವು) ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ಸಂಶೋಧನೆಗಾಗಿ ಈ ಉಪಕರಣವನ್ನು ಈಗಾಗಲೇ ಖರೀದಿಸಿವೆ.

ನಿರ್ವಹಣೆ ಮತ್ತು ಅನುಸ್ಥಾಪನಾ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು: DFG8541 ನ ದೀರ್ಘಕಾಲೀನ ಸ್ಥಿರ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು, ಅನುಸ್ಥಾಪನಾ ಪರಿಸರಕ್ಕಾಗಿ DISCO ನ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾಗಿ ಪಾಲಿಸುವುದು ಅವಶ್ಯಕ:

ಪರಿಸರ ಸ್ವಚ್ಛತೆ: ಇದನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ವಚ್ಛತೆ ಇರುವ ಸ್ವಚ್ಛ ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿ ಅಳವಡಿಸಬೇಕು. ಸುತ್ತುವರಿದ ತಾಪಮಾನವು 20-25℃ ನಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರವಾಗಿರಬೇಕು, ಏರಿಳಿತಗಳನ್ನು ± 1℃ ಒಳಗೆ ನಿಯಂತ್ರಿಸಬೇಕು. ಸಾಪೇಕ್ಷ ಆರ್ದ್ರತೆಯು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 55% ಕ್ಕಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಇರಬೇಕು.

ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜು:

ಸಂಕುಚಿತ ಗಾಳಿ: 0.5 MPa ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನ ಒತ್ತಡದಲ್ಲಿ ಶುದ್ಧ, ಶುಷ್ಕ ಮತ್ತು ಎಣ್ಣೆ-ಮುಕ್ತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಸಂಕುಚಿತ ಗಾಳಿಯ ಅಗತ್ಯವಿದೆ.

ವಿದ್ಯುತ್: ಉಪಕರಣದ ವಿದ್ಯುತ್ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೆಯಾಗುವ ಮೂರು-ಹಂತದ ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜು ಅಗತ್ಯವಿದೆ.

ತಂಪಾಗಿಸುವ ನೀರು: ಸ್ಪಿಂಡಲ್ ತಂಪಾಗಿಸಲು ಸ್ಥಿರ ಹರಿವಿನ ಪ್ರಮಾಣ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರ ತಾಪಮಾನದೊಂದಿಗೆ ಅಯಾನೀಕರಿಸಿದ ನೀರು (DI ನೀರು) ಅಗತ್ಯವಿದೆ. ನೀರಿನ ತಾಪಮಾನವು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಕನಿಷ್ಠ ತಾಪಮಾನ ಏರಿಳಿತಗಳೊಂದಿಗೆ ಕೋಣೆಯ ಉಷ್ಣಾಂಶಕ್ಕೆ ಹೊಂದಿಕೆಯಾಗಬೇಕು.

ನಿಯಮಿತವಾಗಿ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಚಕ್ರಗಳನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸುವುದು ಮತ್ತು ಬದಲಾಯಿಸುವುದು, ನಿರ್ವಾತ ಚಕ್‌ಗಳನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುವುದು ಮತ್ತು ಗಾಳಿಯ ಸ್ಪಿಂಡಲ್ ಅನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವುದು ಸಲಕರಣೆಗಳ ಜೀವಿತಾವಧಿಯನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸಲು ಮತ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಇಳುವರಿಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ.

ಸಂಕ್ಷಿಪ್ತವಾಗಿ ಹೇಳುವುದಾದರೆ, DISCO DFG8541 ಒಂದು ಪ್ರಬುದ್ಧ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ 8-ಇಂಚಿನ ವೇಫರ್ ತೆಳುಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಪರಿಹಾರವಾಗಿದೆ. ಇದು ತನ್ನ ಪ್ರಮುಖ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ಉದ್ಯಮ-ಪ್ರಮುಖ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಆಧುನಿಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಅಗತ್ಯಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಯಾಂತ್ರೀಕೃತಗೊಳಿಸುವಿಕೆ, ಶುಚಿತ್ವ ಮತ್ತು ಬಳಕೆಯ ಸುಲಭತೆಗಾಗಿ ಸಮಗ್ರವಾಗಿ ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಿದೆ.