Подрібнювач вафель DISCO DFG8541

DISCO DFG8541 – це повністю автоматизований шліфувальний верстат, розроблений для задоволення потреб стоншування пластин діаметром 8 дюймів і менше. Як оновлення до свого попередника, бестселера DFG8540, він може бути позиціонований як «основна модель для стоншування пластин діаметром 8 дюймів», відомий своєю високою точністю, високою чистотою та чудовою стабільністю, особливо підходить для обробки твердих і крихких матеріалів, таких як карбід кремнію (SiC).

Нижче наведено детальний вступ до його принципу роботи, основних функцій, технічних характеристик та ринкової вартості.

Принцип роботи: двоядерний процесор, синергія ефективності та точності

DFG8541 використовує архітектуру "двошпиндельної, триприсоски".

Чіткий розподіл праці: один шпиндель оснащений грубим шліфувальним кругом для швидкого видалення основного матеріалу з тильної сторони пластини; інший шпиндель оснащений дрібним шліфувальним кругом для ретельної обробки поверхні, що забезпечує гладкий, рівний та без пошкоджень кінцевий результат.

Високоефективний процес: Пластина адсорбується на робочому столі у вакуумі. Завдяки точному плануванню процесу досягається повністю автоматизований робочий процес «одноразового затискання, безперервної обробки», що дозволяє уникнути ризиків забруднення та пошкодження, спричинених перенесенням матеріалів між різними пристроями.

Застосування та ролі: За межами кремнію

Як пристрій загального призначення, він відіграє вирішальну роль у галузі напівпровідників третього покоління.

Основне завдання: Зменшення товщини пластин (Si/SiC) розміром 8 дюймів і менше до цільової товщини, забезпечення відмінної однорідності товщини (TTV) та видалення шарів поверхневих пошкоджень, спричинених попередніми процесами.

Новий основний напрямок: Завдяки використанню шпинделя з високим крутним моментом, DFG8541 може стабільно обробляти матеріали надвисокої твердості, такі як SiC. Це основна причина, чому він користується великою популярністю на сучасному ринку силових напівпровідників.

Огляд ключових параметрів

Категорія параметра | Специфічні характеристики

Застосовувані заготовки: Φ8 дюймів (200 мм) і менше; сумісний з пластинами Φ4, 5, 6 та 8 дюймів за допомогою універсального патрона

Спосіб шліфування: Ротаційне поздовжнє шліфування з подачею

Конфігурація шпинделя: Подвійні шпинделі (2 осі), шпиндель з пневматичним гідростатичним підшипником (стандарт)

Швидкість шпинделя: 1000 - 7000 об/хв

Потужність шпинделя: стандартна 4,2 кВт

Конфігурація робочого столу: Три робочі столи (3 затискні столи)

Технічні характеристики шліфувального круга: алмазний шліфувальний круг Φ200 мм

Розміри обладнання (Ш x Г x В): приблизно 1100 × 2800 × 1800 мм

Вага обладнання: приблизно 3000 кг

Основні функції та характеристики

DFG8541 являє собою значне оновлення порівняно з DFG8540.

Детальний опис характеристик/функцій

Чудові можливості очищення: Багатостанційні дворідинні форсунки: Порівняно з традиційним очищенням повітряно-водяним способом, ця технологія потужно видаляє дрібні частинки пилу, що прилипають до пластини після шліфування. Ця технологія широко використовується на основних робочих станціях, таких як присоски та заготовки, ефективно знижуючи ризик поломки тонких пластин.

Безконтактне вирівнювання: використовує камеру для визначення центру пластини, замінюючи фізичний контакт та усуваючи подряпини або пошкодження країв під час процесу вирівнювання.

Інтелектуальне виробництво: Рецепт для кожної пластини: Дозволяє автоматично обробляти різні пластини в одній касеті для пластин відповідно до їхніх попередньо встановлених рецептів (товщина помелу, швидкість тощо), ідеально адаптуючись до багатоваріантного, дрібносерійного виробництва.

Функції захисту пластин: Інтегрує кілька механізмів захисту, включаючи картування пластин (захист від перекосу/порожньої пластини), попередню перевірку товщини (захист від подвійної стрічки) та вакуумне утримання (сигнал раптового відключення живлення), забезпечуючи безпеку високоякісних пластин.

Електрично регульована корекція нахилу: Нахил присоски можна точно налаштувати електрично за допомогою значень на екрані, оптимізуючи форму обробки та зменшуючи час простою для ручного калібрування.

Значно покращена зручність використання: 19-дюймовий більший екран графічного інтерфейсу: порівняно з 15-дюймовим екраном DFG8540, дисплей не тільки більший, але й має інтуїтивно зрозумілий графічний інтерфейс користувача.

Оптимізоване обслуговування: Покращена структура внутрішнього очищення спрощує обслуговування.

Енергозбереження та компактний дизайн: Новий пневматичний шпиндель зменшує споживання повітря на 50%; вбудований вакуумний насос зменшує займану площу на 15% порівняно з попередником, що забезпечує економію як на обладнанні, так і в експлуатації.

Позиціонування на ринку та цінність: Порівняно з флагманським DGP8761, орієнтованим на 12-дюймовий ринок, DFG8541 більше орієнтований на 8-дюймовий ринок, що робить його типовим флагманським пристроєм "високопродуктивної, економічно ефективною" моделі:

Позиціонування продуктивності: DFG8541 є еталоном продуктивності для 8-дюймових шліфувальних верстатів. Завдяки використанню шпинделя з високим крутним моментом, він успішно долає проблеми стоншування твердих і крихких матеріалів, таких як карбід кремнію, закріплюючи свою абсолютну перевагу на ринку 8-дюймових шліфувальних верстатів.

Інвестиційна цінність: Як стабільне оновлення до зрілої платформи, воно надійне з точки зору довгострокової стабільної роботи та безперервного виробництва, що робить його високоефективним, низькоризиковим та надійним вибором для інвестицій в обладнання 8-дюймової виробничої лінії. Провідні вітчизняні університети (такі як Сіаньський університет Цзяотун) вже придбали це обладнання для передових досліджень.

Вимоги до технічного обслуговування та встановлення: Для забезпечення довготривалої стабільної та високоточної роботи DFG8541 необхідно суворо дотримуватися вимог DISCO щодо середовища встановлення:

Чистота навколишнього середовища: Пристрій має бути встановлений у чистому приміщенні з високим рівнем чистоти. Температура навколишнього середовища повинна бути стабільною на рівні 20-25℃ з коливаннями, контрольованими в межах ±1℃. Відносна вологість зазвичай повинна бути нижче 55%.

Блок живлення:

Стиснене повітря: Потрібне чисте, сухе та безмасляне стиснене повітря високої чистоти під тиском 0,5 МПа або вище.

Електрика: Потрібне трифазне джерело живлення, що відповідає вимогам обладнання до потужності.

Охолоджувальна вода: Для охолодження шпинделя потрібна деіонізована вода (DI вода) зі стабільною швидкістю потоку та постійною температурою. Температура води зазвичай повинна відповідати кімнатній температурі з мінімальними коливаннями температури.

Регулярна перевірка та заміна шліфувальних кругів, очищення вакуумних патронів та обслуговування пневматичного шпинделя мають вирішальне значення для продовження терміну служби обладнання та забезпечення продуктивності обробки.

Таким чином, DISCO DFG8541 – це зріле та надійне рішення для стоншування 8-дюймових пластин. Воно досягає провідної в галузі продуктивності в своїх ключових областях та всебічно оптимізоване для автоматизації, чистоти та простоти використання, щоб задовольнити потреби сучасного виробництва.