डिस्को वेफर ग्राइन्डर DFG8541

DISCO DFG8541 एक पूर्ण स्वचालित ग्राइन्डिङ मेसिन हो जुन ८-इन्च र साना वेफरहरूको लागि वेफर थिइनिङको आवश्यकताहरू पूरा गर्न विकसित गरिएको हो। यसको पूर्ववर्ती, सबैभन्दा धेरै बिक्री हुने DFG8540 को स्तरोन्नतिको रूपमा, यसलाई "८-इन्च वेफर थिइनिङको लागि मुख्य आधार मोडेल" को रूपमा राख्न सकिन्छ, जुन यसको उच्च परिशुद्धता, उच्च सफाई, र उत्कृष्ट स्थिरताको लागि प्रसिद्ध छ, विशेष गरी सिलिकन कार्बाइड (SiC) जस्ता कडा र भंगुर सामग्रीहरू प्रशोधन गर्नको लागि उपयुक्त।

यसको कार्य सिद्धान्त, मुख्य कार्यहरू, विशिष्टताहरू, र बजार मूल्यको विस्तृत परिचय निम्नानुसार छ।

कार्य सिद्धान्त: दक्षता र शुद्धताको दोहोरो-मुख्य तालमेल

DFG8541 ले "डुअल-स्पिन्डल, थ्री-सक्शन-कप" वास्तुकला अपनाउँछ।

श्रमको स्पष्ट विभाजन: एउटा स्पिन्डलमा वेफरको पछाडिबाट मुख्य सामग्रीलाई छिटो हटाउनको लागि मोटो ग्राइन्डिङ ह्वील हुन्छ; अर्को स्पिन्डलमा सतहलाई राम्रोसँग समाप्त गर्नको लागि राम्रो ग्राइन्डिङ ह्वील हुन्छ, जसले गर्दा चिल्लो, समतल र क्षतिरहित अन्तिम परिणाम प्राप्त हुन्छ।

अत्यधिक कुशल प्रक्रिया: वेफरलाई कार्यतालिकामा भ्याकुम-अवशोषित गरिन्छ। सटीक प्रक्रिया योजना मार्फत, पूर्ण स्वचालित "एक-पटक क्ल्याम्पिङ, निरन्तर प्रशोधन" कार्यप्रवाह प्राप्त गरिन्छ, विभिन्न उपकरणहरू बीच सामग्री स्थानान्तरण गर्दा हुने प्रदूषण र क्षतिको जोखिमलाई बेवास्ता गर्दै।

अनुप्रयोगहरू र भूमिकाहरू: सिलिकनभन्दा बाहिर

सामान्य-उद्देश्यीय उपकरणको रूपमा, यसले तेस्रो-पुस्ताको अर्धचालक क्षेत्रमा महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ।

मुख्य कार्य: लक्षित मोटाईमा ८ इन्च र साना वेफरहरू (Si/SiC) पातलो पार्ने, उत्कृष्ट मोटाई एकरूपता (TTV) सुनिश्चित गर्ने, र अघिल्लो प्रक्रियाहरूबाट भएको सतह क्षति तहहरू हटाउने।

उदीयमान मुख्य आधार: उच्च-टर्क स्पिन्डल चयन गरेर, DFG8541 ले SiC जस्ता अति-उच्च कठोरता सामग्रीहरूलाई स्थिर रूपमा प्रशोधन गर्न सक्छ। यो वर्तमान पावर अर्धचालक बजारमा अत्यधिक मनपर्ने मुख्य कारण हो।

प्रमुख प्यारामिटरहरूको सिंहावलोकन

प्यारामिटर श्रेणी | विशिष्ट निर्दिष्टीकरणहरू

लागू हुने वर्कपीसहरू: Φ८ इन्च (२०० मिमी) र तल; विश्वव्यापी चक प्रयोग गरेर Φ४, ५, ६, र ८-इन्च वेफरहरूसँग उपयुक्त।

ग्राइन्डिङ विधि: रोटरी अनुदैर्ध्य इन-फिड ग्राइन्डिङ

स्पिन्डल कन्फिगरेसन: दोहोरो स्पिन्डल (२ अक्ष), हावा हाइड्रोस्टेटिक बेयरिङ स्पिन्डल (मानक)

स्पिन्डल गति: १,००० - ७,००० आरपीएम

स्पिन्डल पावर: मानक ४.२ किलोवाट

कार्यतालिकाको कन्फिगरेसन: तीन कार्यतालिकाको (३ चक तालिका)

ग्राइन्डिङ ह्वील स्पेसिफिकेशन: Φ२०० मिमी हीरा ग्राइन्डिङ ह्वील

उपकरणको आयाम (चौरस x चौडाइ x चौडाइ): लगभग १,१०० × २,८०० × १,८०० मिमी

उपकरणको तौल: लगभग ३,००० किलोग्राम

मुख्य कार्यहरू र सुविधाहरू

DFG8541 ले DFG8540 बाट एक महत्वपूर्ण स्तरोन्नति प्रतिनिधित्व गर्दछ।

सुविधाहरू/कार्यहरू विस्तृत विवरण

उत्कृष्ट सफाई क्षमताहरू: बहु-स्टेशन दुई-तरल पदार्थ नोजलहरू: परम्परागत हावा-पानी सफाईको तुलनामा, यसले ग्राइन्डिङ पछि वेफरमा टाँसिएका मसिना धुलोका कणहरूलाई शक्तिशाली रूपमा हटाउँछ। यो प्रविधि सक्शन कप र वर्कपीसहरू जस्ता कोर वर्कस्टेशनहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ, जसले गर्दा पातलो वेफर फुट्ने जोखिमलाई प्रभावकारी रूपमा कम गर्छ।

सम्पर्करहित पङ्क्तिबद्धता: वेफर केन्द्र पत्ता लगाउन क्यामेरा प्रयोग गर्दछ, भौतिक सम्पर्कलाई प्रतिस्थापन गर्दछ र पङ्क्तिबद्धता प्रक्रियाको क्रममा खरोंच वा किनाराको क्षति हटाउँछ।

बुद्धिमान उत्पादन: प्रति-वेफर रेसिपी: एउटै वेफर क्यासेट भित्रका विभिन्न वेफरहरूलाई तिनीहरूको सम्बन्धित पूर्वनिर्धारित रेसिपीहरू (ग्राइन्डिङ मोटाई, गति, आदि) अनुसार स्वचालित रूपमा प्रशोधन गर्न अनुमति दिन्छ, बहु-विविधता, सानो-ब्याच उत्पादनमा पूर्ण रूपमा अनुकूलन गर्दछ।

वेफर सुरक्षा कार्यहरू: उच्च-मूल्य वेफरहरूको सुरक्षा सुनिश्चित गर्दै, वेफर म्यापिङ (मिसअलाइनमेन्ट/खाली वेफर), मोटाई पूर्व-निरीक्षण (डबल टेप विरोधी), र भ्याकुम होल्डिंग (अचानक पावर विफलता अलार्म) सहित धेरै सुरक्षा संयन्त्रहरूलाई एकीकृत गर्दछ।

विद्युतीय रूपमा समायोज्य झुकाव सुधार: सक्शन कप झुकावलाई अन-स्क्रिन मानहरू मार्फत विद्युतीय रूपमा फाइन-ट्यून गर्न सकिन्छ, प्रशोधन आकारलाई अनुकूलन गर्दै र क्यालिब्रेसनको लागि म्यानुअल डाउनटाइम घटाउँदै।

उल्लेखनीय रूपमा बढाइएको उपयोगिता: १९ इन्च ठूलो स्क्रिन GUI: DFG8540 को १५ इन्च स्क्रिनको तुलनामा, डिस्प्ले ठूलो मात्र छैन तर यसमा सहज ग्राफिकल प्रयोगकर्ता इन्टरफेस पनि छ।

अनुकूलित मर्मतसम्भार: सुधारिएको आन्तरिक सफाई संरचनाले मर्मतसम्भारलाई सजिलो बनाउँछ।

ऊर्जा बचत र कम्प्याक्ट डिजाइन: नयाँ एयर स्पिन्डलले हावा खपत ५०% ले घटाउँछ; निर्मित भ्याकुम पम्प डिजाइनले यसको पूर्ववर्तीको तुलनामा फुटप्रिन्ट १५% ले घटाउँछ, हार्डवेयर र सञ्चालन दुवैमा हरियो बचत प्राप्त गर्दछ।

बजार स्थिति र मूल्य: १२ इन्च बजारलाई लक्षित गर्ने प्रमुख DGP8761 को तुलनामा, DFG8541 ले ८ इन्च बजारमा बढी ध्यान केन्द्रित गर्दछ, जसले यसलाई एक विशिष्ट "उच्च-प्रदर्शन, लागत-प्रभावी" प्रमुख मेसिन बनाउँछ:

कार्यसम्पादन स्थिति: DFG8541 ८-इन्च ग्राइन्डरहरूको लागि कार्यसम्पादन बेन्चमार्क हो। उच्च-टर्क स्पिन्डल चयन गरेर, यसले SiC जस्ता कडा र भंगुर सामग्रीहरूको पातलोपन चुनौतीहरूलाई सफलतापूर्वक पार गर्छ, जसले ८-इन्च बजारमा यसको पूर्ण लाभलाई सुदृढ बनाउँछ।

लगानी मूल्य: परिपक्व प्लेटफर्ममा स्थिर स्तरोन्नतिको रूपमा, यो दीर्घकालीन स्थिर सञ्चालन र निरन्तर उत्पादनको सन्दर्भमा भरपर्दो छ, जसले यसलाई ८-इन्च उत्पादन लाइन उपकरण लगानीको लागि उच्च-दक्षता, कम जोखिम र भरपर्दो विकल्प बनाउँछ। शीर्ष घरेलु विश्वविद्यालयहरू (जस्तै सियान जिओटोङ विश्वविद्यालय) ले पहिले नै अत्याधुनिक अनुसन्धानको लागि यो उपकरण खरिद गरिसकेका छन्।

मर्मतसम्भार र स्थापना आवश्यकताहरू: DFG8541 को दीर्घकालीन स्थिर र उच्च-परिशुद्धता सञ्चालन सुनिश्चित गर्न, स्थापना वातावरणको लागि DISCO को आवश्यकताहरूको कडाईका साथ पालना आवश्यक छ:

वातावरणीय सरसफाइ: यो उच्च सरसफाइ भएको सफा कोठामा जडान गर्नुपर्छ। परिवेशको तापक्रम २०-२५ डिग्री सेल्सियसमा स्थिर हुनुपर्छ, उतारचढाव ±१ डिग्री सेल्सियस भित्र नियन्त्रण गरिनुपर्छ। सापेक्षिक आर्द्रता सामान्यतया ५५% भन्दा कम हुनु आवश्यक छ।

विद्युत आपूर्ति:

संकुचित हावा: ०.५ MPa वा सोभन्दा माथिको दबाबमा सफा, सुख्खा र तेलरहित उच्च शुद्धताको संकुचित हावा आवश्यक पर्दछ।

बिजुली: उपकरणको पावर आवश्यकताहरूसँग मेल खाने तीन-चरणको पावर आपूर्ति आवश्यक छ।

चिसो पानी: स्पिन्डल चिसो पार्न स्थिर प्रवाह दर र स्थिर तापक्रम भएको डिआयनाइज्ड पानी (DI पानी) आवश्यक पर्दछ। पानीको तापक्रम सामान्यतया कोठाको तापक्रमसँग मेल खान्छ र न्यूनतम तापक्रममा उतारचढाव आउँछ।

उपकरणको आयु बढाउन र प्रशोधन उत्पादन सुनिश्चित गर्न नियमित रूपमा ग्राइन्डिङ ह्वीलहरूको निरीक्षण र प्रतिस्थापन, भ्याकुम चकहरू सफा गर्ने, र एयर स्पिन्डल कायम राख्ने कुराहरू महत्त्वपूर्ण छन्।

संक्षेपमा भन्नु पर्दा, DISCO DFG8541 एक परिपक्व र भरपर्दो ८-इन्च वेफर पातलो गर्ने समाधान हो। यसले यसको मुख्य क्षेत्रहरूमा उद्योग-अग्रणी प्रदर्शन प्राप्त गर्दछ र आधुनिक उत्पादनको आवश्यकताहरू पूरा गर्न स्वचालन, सफाई र प्रयोगमा सहजताको लागि व्यापक रूपमा अनुकूलित गरिएको छ।