डिस्को वेफर चक्की DFG8541

DISCO DFG8541 इति पूर्णतया स्वचालितं ग्राइण्डिंग् यन्त्रं ८-इञ्च् तथा लघुवेफरस्य कृते वेफर-पतलाकरणस्य आवश्यकतां पूर्तयितुं विकसितम् अस्ति । अस्य पूर्ववर्ती, सर्वाधिकविक्रयितस्य DFG8540 इत्यस्य उन्नयनरूपेण, एतत् "८-इञ्च् वेफर-पतलाकरणस्य मुख्य-आधार-प्रतिरूपस्य" रूपेण स्थापयितुं शक्यते, यत् उच्च-सटीकता, उच्च-स्वच्छता, उत्तम-स्थिरतायाः च कृते प्रसिद्धः अस्ति, यत् विशेषतया सिलिकॉन् कार्बाइड् (SIC) इत्यादीनां कठोर-भंगुर-सामग्रीणां प्रसंस्करणाय उपयुक्तम् अस्ति

निम्नलिखितम् अस्य कार्यसिद्धान्तस्य, मूलकार्यस्य, विनिर्देशस्य, विपण्यमूल्यस्य च विस्तृतपरिचयः अस्ति ।

कार्यसिद्धान्तः दक्षतायाः परिशुद्धतायाः च द्वय-कोर-सहयोगः

DFG8541 "द्वय-धुरी, त्रि-चूषण-कप" वास्तुकलाम् अङ्गीकुर्वति ।

स्पष्टः श्रमविभागः : एकः धुरी वेफरस्य पृष्ठभागात् मुख्यसामग्री शीघ्रं निष्कासयितुं स्थूलं पिष्टचक्रं वहति; अन्यः धुरीः पृष्ठं सूक्ष्मतया समाप्तुं सूक्ष्मं पेषणचक्रं वहति, येन स्निग्धं, समतलं, क्षतिरहितं च अन्तिमफलं प्राप्नोति ।

अत्यन्तं कुशलप्रक्रिया : वेफरः कार्यमेजस्य उपरि वैक्यूम-शोषितः भवति । सटीकप्रक्रियानियोजनस्य माध्यमेन पूर्णतया स्वचालितः "एकवारं क्लैम्पिंग्, निरन्तरप्रक्रियाकरणम्" कार्यप्रवाहः प्राप्यते, यत्र विभिन्नयन्त्राणां मध्ये सामग्रीनां स्थानान्तरणेन दूषणस्य क्षतिस्य च जोखिमाः परिहृताः भवन्ति

अनुप्रयोगाः भूमिकाश्च : सिलिकॉनतः परम्

सामान्यप्रयोजनयन्त्रत्वेन तृतीयपीढीयाः अर्धचालकक्षेत्रे अस्य महत्त्वपूर्णा भूमिका अस्ति ।

मूलकार्यम् : मोटाईं लक्ष्यं कर्तुं ८-इञ्च् तथा लघुवेफर (Si/SiC) पतला करणं, उत्तमं मोटाई एकरूपतां (TTV) सुनिश्चितं कृत्वा, पूर्वप्रक्रियाभिः उत्पन्नं पृष्ठक्षतिस्तरं दूरीकर्तुं च।

उदयमानः मुख्याधारः : उच्च-टोर्क्-धुरीं चयनं कृत्वा, DFG8541 स्थिररूपेण SiC इत्यादीनां अति-उच्च-कठोरता-सामग्रीणां संसाधनं कर्तुं शक्नोति । वर्तमानशक्ति-अर्धचालक-विपण्ये अस्य अत्यन्तं अनुकूलतां प्राप्तुं एतत् मूलकारणम् अस्ति ।

मुख्य पैरामीटर अवलोकन

पैरामीटर श्रेणी | विशिष्टविनिर्देशाः

प्रयोज्यकार्यखण्डाः: Φ8 इञ्च् (200mm) तथा ततः अधः; सार्वभौमिकचकस्य उपयोगेन Φ4, 5, 6, 8-इञ्च् वेफरैः सह संगतम्

पीसने विधि : घूर्णन अनुदैर्ध्य इन-फीड पीसना

धुरी विन्यास: द्वय धुरी (2 अक्ष), वायु जलस्थिर असर धुरी (मानक)

धुरी गतिः १,००० - ७,००० आरपीएम

धुरी शक्तिः मानक 4.2 किलोवाट

कार्यसारणी विन्यासः त्रीणि कार्यसारणी (3 chuck tables)

पीसने चक्र विनिर्देश: Φ200 मिमी हीरा पीसने चक्र

उपकरण आयाम (W x D x H): लगभग। १,१०० × २,८०० × १,८०० मि.मी

उपकरण भार : लगभग। ३,००० कि.ग्रा

मुख्यकार्यं विशेषताश्च

DFG8541 DFG8540 इत्यस्मात् महत्त्वपूर्णं उन्नयनं प्रतिनिधियति ।

विशेषताः/कार्यं विस्तृतं विवरणम्

उत्तमसफाईक्षमता: बहु-स्थानकद्वय-द्रव-नोजलम् : पारम्परिक-वायु-जल-सफाईयाः तुलने, एतेन पीसनेन अनन्तरं वेफर-सङ्गताः सूक्ष्म-धूल-कणाः शक्तिशालीरूपेण दूरीकृताः भवन्ति एषा प्रौद्योगिक्याः व्यापकतया उपयोगः चूषणकपः, कार्यखण्डः इत्यादिषु कोरकार्यस्थानेषु भवति, येन प्रभावीरूपेण पतले वेफरभङ्गस्य जोखिमः न्यूनीकरोति ।

अ-संपर्क-संरेखण: वेफर-केन्द्रस्य स्थानं ज्ञातुं, भौतिक-संपर्कस्य स्थाने, संरेखण-प्रक्रियायाः समये खरोंचं वा धार-क्षतिं वा समाप्तुं, कॅमेरा-यंत्रस्य उपयोगं करोति

बुद्धिमान् उत्पादनम् : प्रति-वेफर-नुस्खा: बहुविध-लघु-बैच-उत्पादनस्य सम्यक् अनुकूलतां कृत्वा, एकस्यैव वेफर-कैसेट्-अन्तर्गत-विभिन्न-वेफरानाम् स्व-स्व-पूर्वनिर्धारित-नुस्खानां (पीसने मोटाई, गतिः इत्यादीनां) अनुसारं स्वयमेव संसाधितुं अनुमतिं ददाति

वेफर-संरक्षण-कार्यम् : बहु-संरक्षण-तन्त्राणि एकीकृत्य, यत्र वेफर-मानचित्रणं (विरोधी-दुर्-संरेखण/रिक्त-वेफर), मोटाई-पूर्व-निरीक्षणं (एण्टी-डबल-टेप), तथा च वैक्यूम-धारणं (आकस्मिक-विद्युत्-विफलता-अलार्म) च सन्ति, येन उच्च-मूल्यानां वेफर-सुरक्षां सुनिश्चितं भवति

विद्युत् समायोज्य झुकाव सुधारः : सक्शन कप झुकावः विद्युत्रूपेण पर्दा-मूल्यानां माध्यमेन सूक्ष्मरूपेण ट्यून् कर्तुं शक्यते, प्रसंस्करण-आकारस्य अनुकूलनं कृत्वा मापनार्थं मैनुअल् डाउनटाइमं न्यूनीकरोति

महत्त्वपूर्णतया वर्धिता उपयोगिता: १९-इञ्च् बृहत्तरः स्क्रीनः GUI: DFG8540 इत्यस्य १५-इञ्च् स्क्रीनस्य तुलने, प्रदर्शनं न केवलं बृहत्तरं अपितु सहजज्ञानयुक्तं चित्रात्मकं उपयोक्तृ-अन्तरफलकं अपि अस्ति

अनुकूलितं अनुरक्षणम् : आन्तरिकसफाईसंरचनायाः उन्नतिः अनुरक्षणं सुलभं करोति।

ऊर्जा-बचना तथा संकुचित-निर्माणम् : नूतन-वायु-स्पिण्डल्-इत्यनेन वायु-उपभोगः ५०% न्यूनीकरोति; अन्तर्निर्मितं वैक्यूमपम्पस्य डिजाइनं पूर्ववर्तीनां तुलने १५% पदचिह्नं न्यूनीकरोति, येन हार्डवेयर-सञ्चालनयोः हरित-बचतयोः प्राप्तिः भवति

बाजारस्य स्थितिः मूल्यं च : 12-इञ्च् मार्केट् लक्ष्यं कृत्वा प्रमुखस्य DGP8761 इत्यस्य तुलने DFG8541 8-इञ्च् मार्केट् इत्यत्र अधिकं ध्यानं ददाति, येन एतत् एकं विशिष्टं "उच्च-प्रदर्शनं, लागत-प्रभावी" प्रमुखं मशीनं भवति:

प्रदर्शनस्य स्थितिनिर्धारणम् : DFG8541 8-इञ्च् ग्राइण्डर् इत्यस्य प्रदर्शनस्य मानदण्डः अस्ति । उच्च-टोर्क्-धुरीं चयनं कृत्वा, SiC इत्यादीनां कठोर-भंगुर-सामग्रीणां पतलाकरण-चुनौत्यं सफलतया पारयति, ८-इञ्च्-विपण्ये स्वस्य निरपेक्षं लाभं सुदृढं करोति

निवेशमूल्यम् : परिपक्वमञ्चे स्थिर उन्नयनरूपेण दीर्घकालीनस्थिरसञ्चालनस्य निरन्तरनिर्गमस्य च दृष्ट्या विश्वसनीयं भवति, येन 8-इञ्च्-उत्पादन-रेखा-उपकरणनिवेशस्य उच्च-दक्षता, न्यून-जोखिम-, विश्वसनीय-विकल्पः च भवति शीर्षस्थ घरेलुविश्वविद्यालयाः (यथा Xi'an Jiaotong विश्वविद्यालयः) अत्याधुनिकसंशोधनार्थं एतत् उपकरणं पूर्वमेव क्रीतवन्तः सन्ति ।

अनुरक्षणं संस्थापनं च आवश्यकताः : DFG8541 इत्यस्य दीर्घकालीनस्थिरं उच्चसटीकतायुक्तं च संचालनं सुनिश्चित्य संस्थापनवातावरणस्य कृते DISCO इत्यस्य आवश्यकतानां सख्तपालनं आवश्यकम् अस्ति:

पर्यावरणस्य स्वच्छता : उच्चस्वच्छतायुक्ते स्वच्छताकक्षे अवश्यमेव स्थापनीयम्। परिवेशस्य तापमानं २०-२५ डिग्री सेल्सियसपर्यन्तं स्थिरं भवितुमर्हति, यत्र उतार-चढावः ±१ डिग्री सेल्सियसपर्यन्तं नियन्त्रितः भवति । सापेक्षिकं आर्द्रता सामान्यतया ५५% तः न्यूनं भवितुम् आवश्यकं भवति ।

विद्युत् आपूर्तिः : १.

संपीडितवायुः : 0.5 MPa अथवा अधिकदाबस्य स्वच्छः, शुष्कः, तैलरहितः च उच्चशुद्धतायुक्तः संपीडितः वायुः आवश्यकः भवति ।

विद्युत् : उपकरणस्य विद्युत् आवश्यकतायाः अनुरूपं त्रिचरणीयं विद्युत् आपूर्तिः आवश्यकी भवति ।

शीतलनजलम् : धुरीशीतलनार्थं स्थिरप्रवाहदरेण नित्यतापमानेन च विआयनीकृतजलं (DI जलम्) आवश्यकम् । जलस्य तापमानं सामान्यतया न्यूनतमतापमानस्य उतार-चढावसहितं कक्षतापमानेन सह मेलनं कर्तव्यम् ।

नियमितरूपेण पीसने चक्राणां निरीक्षणं प्रतिस्थापनं च, वैक्यूमचकस्य सफाई, वायुधुरीयाः परिपालनं च उपकरणानां आयुः विस्तारयितुं प्रसंस्करणस्य उपजं सुनिश्चित्य च महत्त्वपूर्णम् अस्ति

सारांशेन DISCO DFG8541 इति परिपक्वं विश्वसनीयं च ८-इञ्च् वेफर-पतलाकरण-समाधानम् अस्ति । इदं स्वस्य मूलक्षेत्रेषु उद्योगस्य अग्रणीं प्रदर्शनं प्राप्नोति तथा च आधुनिकनिर्माणस्य आवश्यकतानां पूर्तये स्वचालनस्य, स्वच्छतायाः, उपयोगस्य च सुगमतायाः कृते व्यापकरूपेण अनुकूलितं भवति