Ekyuma ekikuba wafer ekya DISCO DFG8541

DISCO DFG8541 kyuma ekisenya ekikola mu bujjuvu ekyakolebwa okusobola okutuukiriza ebyetaago by’okugonza wafer ku wafer za yinsi 8 n’entono. Nga okulongoosa okuva ku yasooka, DFG8540 esinga okutunda, esobola okuteekebwa nga "model enkulu ey'okugonza wafer ya yinsi 8," emanyiddwa olw'obutuufu bwayo obw'amaanyi, obuyonjo obw'amaanyi, n'okutebenkera obulungi, naddala nga esaanira okulongoosa ebintu ebikalu n'ebimenyamenya nga silicon carbide (SIC).

Wammanga ye nnyanjula enzijuvu ku nkola yaayo ey’emirimu, emirimu emikulu, ebiragiro, n’omuwendo gw’akatale.

Enkola y’emirimu: Dual-Core Synergy of Efficiency and Precision

DFG8541 ekwata enzimba ya "dual-spindle, three-suction-cup".

Okugabanya emirimu mu ngeri entegeerekeka: Ekiwujjo ekimu kitambuza nnamuziga enzirugavu ey’okusenya okusobola okuggya amangu ekintu ekikulu emabega wa wafer; ekiwujjo ekirala kitambuza nnamuziga ennungi esika okusobola okumaliriza obulungi kungulu, ne kituuka ku kivaamu ekisembayo ekiweweevu, ekipapajjo, era ekitaliimu kwonooneka.

Enkola ekola obulungi ennyo: Wafer eyisibwa mu vacuum ku mmeeza y’okukolerako. Okuyita mu nteekateeka entuufu ey'enkola, enkola y'emirimu eya "one-time clamping, continuous processing" ekola mu bujjuvu etuukibwako, okwewala obulabe bw'obucaafu n'okwonooneka okuva mu kukyusa ebintu wakati w'ebyuma eby'enjawulo.

Enkozesa n’Emirimu: Okusukka Silicon

Nga ekyuma eky’ekigendererwa eky’awamu, kikola kinene nnyo mu nnimiro ya semikondokita ey’omulembe ogw’okusatu.

Omulimu Omukulu: Okugonza wafers za yinsi 8 n’obutono (Si/SiC) okutuuka ku buwanvu, okukakasa nti obuwanvu obulungi (TTV), n’okuggyawo layers ez’okwonooneka kungulu ezireetebwa enkola ezaaliwo emabega.

Emerging Mainstay: Nga olondawo spindle ya torque enkulu, DFG8541 esobola okukola stably ebintu ebikaluba ennyo nga SiC. Eno y’ensonga enkulu lwaki esinga okwagalibwa mu katale ka semikondokita z’amaanyi akaliwo kati.

Ebikulu Ebipimo Okulambika

Ekika kya Parameter | Ebikwata ku nsonga Entongole

Ebikozesebwa Ebikozesebwa: Φ8 yinsi (200mm) n’okudda wansi; ekwatagana ne wafers za yinsi Φ4, 5, 6, ne 8 nga tukozesa chuck eya universal

Enkola y’okusena: Okusena mu mmere ey’obuwanvu (rotary longitudinal in-feed grinding).

Ensengeka ya spindle: Ebiwujjo bibiri (2 axes), empewo hydrostatic bearing spindle (omutindo)

Sipiidi ya Spindle: 1,000 - 7,000 rpm

Amaanyi ga Spindle: Standard 4.2 kW

Ensengeka y’emmeeza y’emirimu: Emmeeza ssatu ez’okukola (emmeeza 3 eza chuck) .

Siga Namuziga Ebikwata ku: Φ200 mm dayimanda okusena nnamuziga

Ebipimo by’Ebyuma (W x D x H): Nga. 1,100 × 2,800 × 1,800 mm

Obuzito bw’Ebyuma: Nga. kkiro 3,000

Emirimu Ebikulu n’Ebirimu

DFG8541 ekiikirira okulongoosa okw’amaanyi okuva ku DFG8540.

Ebintu/Emirimu Ennyonnyola enzijuvu

Obusobozi obw’okuyonja obw’ekika ekya waggulu: Entuuyo z’amazzi abiri ezirina siteegi nnyingi: Bw’ogeraageranya n’okuyonja okw’ennono okw’empewo n’amazzi, kino kiggyawo nnyo obutundutundu bw’enfuufu obutono obunywerera ku wafer oluvannyuma lw’okusena. Tekinologiya ono akozesebwa nnyo mu bifo ebikulu eby’okukoleramu nga ebisonseka n’ebikozesebwa, mu ngeri ennungi n’akendeeza ku bulabe bw’okumenya wafer ennyimpi.

Non-contact Alignment: Ekozesa camera okuzuula wakati wafer, okukyusa physical contact n’okumalawo enkwagulo oba okwonooneka kw’empenda mu nkola y’okulaganya.

Intelligent Production: Per-Wafer Recipe: Esobozesa wafers ez’enjawulo munda mu wafer cassette y’emu okukolebwa mu ngeri ey’otoma okusinziira ku nkola zaabwe eziteekeddwawo (obugumu bw’okusena, sipiidi, n’ebirala), nga zikwatagana bulungi n’okufulumya eby’enjawulo ebingi, ebitonotono.

Emirimu gy’okukuuma wafer: Egatta enkola eziwera ez’obukuumi, omuli okukola maapu ya wafer (anti-misalignment/empty wafer), okukebera obuwanvu nga tekunnabaawo (anti-double tape), n’okukwata vacuum (alamu y’okugwa kw’amasannyalaze mu bwangu), okukakasa obukuumi bwa wafers ez’omuwendo omungi.

Electrically Adjustable Tilt Correction: Ekyuma ekisonseka kisobola okulongoosebwa obulungi mu masannyalaze nga kiyita mu miwendo egy’oku ssirini, okulongoosa enkula y’okukola n’okukendeeza ku budde bw’okuyimirira mu ngalo okusobola okupima.

Enkozesa Ennene Ennyo: Yinsi 19 Ennene GUI: Bw’ogeraageranya ne DFG8540 eya yinsi 15, eky’okwolesebwa tekikoma ku kuba kinene wabula kirimu n’enkola y’omukozesa ey’ebifaananyi.

Okuddaabiriza Ennungi: Ensengeka y’okuyonja munda erongooseddwa enyanguyiza okuddaabiriza.

Okukekkereza amaanyi n’okukola enkola entono: Ekyuma ekipya ekiyitibwa air spindle kikendeeza ku mpewo ekozesebwa ebitundu 50%; dizayini ya vacuum pump ezimbiddwamu ekendeeza ku bigere ebitundu 15% bw’ogeraageranya n’eyasooka, okutuuka ku kukekkereza kwa green mu byombi hardware n’enkola.

Enfo y'akatale n'omuwendo: Bw'ogeraageranya ne DGP8761 enkulu etunuulidde akatale ka yinsi 12, DFG8541 essira erisinga kulissa ku katale ka yinsi 8, ekigifuula ekyuma ekimanyiddwa ennyo "ekikola obulungi, ekitali kya ssente nnyingi":

Ensengeka y’omutindo: DFG8541 ye mutindo gw’omutindo gw’ebyuma ebikuba ebyuma ebya yinsi 8. Nga elonda ekyuma ekiyitibwa ‘high-torque spindle’, evvuunuka bulungi okusoomoozebwa kw’okugonza kw’ebintu ebikalu n’ebimenyamenya nga SiC, n’enyweza enkizo yaayo entuufu mu katale ka yinsi 8.

Omuwendo gw’okusiga ensimbi: Nga okulongoosa okunywevu okutuuka ku musingi omukulu, yeesigika mu nsonga z’okukola okunywevu okumala ebbanga eddene n’okufulumya okutambula obutasalako, ekigifuula eky’okulonda ekikola obulungi ennyo, eky’akabi akatono, era ekyesigika okuteeka ssente mu byuma bya yinsi 8 mu layini y’okufulumya. Yunivasite ez’oku ntikko mu ggwanga (nga Xi’an Jiaotong University) zagula dda ekyuma kino okukola okunoonyereza okw’omulembe.

Ebyetaago by’okuddaabiriza n’okussaako: Okukakasa nti DFG8541 ekola okumala ebbanga eddene nga nnywevu era mu ngeri entuufu, okugoberera ennyo ebisaanyizo bya DISCO ku mbeera y’okussaako kyetaagisa:

Obuyonjo bw’obutonde: Bulina okuteekebwa mu kisenge ekiyonjo ekiyonjo ennyo. Ebbugumu ly’ekifo lirina okuba nga linywevu ku 20-25°C, nga enkyukakyuka zifugibwa mu ±1°C. Obunnyogovu obutuufu butera okwetaagisa okuba wansi wa 55%.

Amasannyalaze:

Empewo Enyigirizibwa: Empewo enyigirizibwa ennyonjo, enkalu, era etaliimu mafuta ey’obulongoofu obw’amaanyi ku puleesa ya 0.5 MPa oba okusingawo yeetaagibwa.

Amasannyalaze: Amasannyalaze aga phase ssatu agakwatagana n’amasannyalaze ge kyetaagisa ebyuma.

Amazzi aganyogoza: Amazzi agataliimu ayoni (DI water) agalina omutindo gw’okukulukuta ogutebenkedde n’ebbugumu eritakyukakyuka geetaagibwa okusobola okunyogoza spindle. Ebbugumu ly’amazzi mu bujjuvu lirina okukwatagana n’ebbugumu ly’ekisenge nga lirina enkyukakyuka entono mu bbugumu.

Bulijjo okwekenneenya n’okukyusa nnamuziga ezisenya, okuyonja vacuum chucks, n’okulabirira empewo spindle kikulu nnyo mu kwongera ku bulamu bw’ebyuma n’okukakasa nti bivaamu amakungula.

Mu bufunze, DISCO DFG8541 ye solution ekula era eyeesigika ey’okugonza wafer eya yinsi 8. Etuuka ku mutindo ogukulembedde mu makolero mu bitundu byayo ebikulu era erongooseddwa mu bujjuvu okusobola okukola mu ngeri ey’obwengula, obuyonjo, n’obwangu okukozesa okusobola okutuukiriza ebyetaago by’amakolero ag’omulembe.