DISCO DFG8541 ایک مکمل طور پر خودکار پیسنے والی مشین ہے جو 8 انچ اور چھوٹے ویفرز کے لیے ویفر پتلا کرنے کی ضروریات کو پورا کرنے کے لیے تیار کی گئی ہے۔ اپنے پیشرو، سب سے زیادہ فروخت ہونے والے DFG8540 کے اپ گریڈ کے طور پر، اسے "8 انچ ویفر پتلا کرنے کے لیے بنیادی بنیاد کے ماڈل" کے طور پر رکھا جا سکتا ہے، جو اپنی اعلیٰ درستگی، اعلیٰ صفائی اور بہترین استحکام کے لیے مشہور ہے، خاص طور پر سخت اور ٹوٹنے والے مواد جیسے کہ سلیکون کاربائیڈ (SiC) پر کارروائی کے لیے موزوں ہے۔
ذیل میں اس کے کام کرنے والے اصول، بنیادی افعال، وضاحتیں، اور مارکیٹ ویلیو کا تفصیلی تعارف ہے۔
کام کرنے کا اصول: کارکردگی اور درستگی کی دوہری کور ہم آہنگی۔
DFG8541 ایک "ڈبل اسپنڈل، تھری سکشن کپ" فن تعمیر کو اپناتا ہے۔
لیبر کی واضح تقسیم: ایک سپنڈل میں ایک موٹے پیسنے والا پہیہ ہوتا ہے تاکہ ویفر کے پچھلے حصے سے اہم مواد کو تیزی سے ہٹایا جا سکے۔ دوسری تکلی سطح کو باریک کرنے کے لیے ایک باریک پیسنے والا پہیہ رکھتی ہے، ایک ہموار، فلیٹ، اور نقصان سے پاک حتمی نتیجہ حاصل کرتی ہے۔
انتہائی موثر عمل: ویفر کو ورک ٹیبل پر ویکیوم جذب کیا جاتا ہے۔ درست عمل کی منصوبہ بندی کے ذریعے، مکمل طور پر خودکار "ایک وقتی کلیمپنگ، مسلسل پروسیسنگ" ورک فلو حاصل کیا جاتا ہے، جو مختلف آلات کے درمیان مواد کی منتقلی سے ہونے والے آلودگی اور نقصان کے خطرات سے بچا جاتا ہے۔
ایپلی کیشنز اور رولز: سیلیکون سے آگے
ایک عام مقصد کے آلے کے طور پر، یہ تیسری نسل کے سیمی کنڈکٹر فیلڈ میں ایک اہم کردار ادا کرتا ہے۔
بنیادی کام: موٹائی کو نشانہ بنانے کے لیے 8 انچ اور چھوٹے ویفرز (Si/SiC) کو پتلا کرنا، بہترین موٹائی کی یکسانیت (TTV) کو یقینی بنانا، اور پچھلے عمل کی وجہ سے سطح کو پہنچنے والے نقصان کی تہوں کو ہٹانا۔
ابھرتا ہوا اہم مقام: ہائی ٹارک اسپنڈل کو منتخب کرکے، DFG8541 انتہائی اعلیٰ سختی والے مواد جیسے کہ SiC پر مستحکم طریقے سے کارروائی کر سکتا ہے۔ یہ بنیادی وجہ ہے کہ موجودہ پاور سیمی کنڈکٹر مارکیٹ میں اسے بہت پسند کیا جاتا ہے۔
کلیدی پیرامیٹرز کا جائزہ
پیرامیٹر زمرہ | مخصوص نردجیکرن
قابل اطلاق ورک پیس: Φ8 انچ (200 ملی میٹر) اور نیچے؛ یونیورسل چک کا استعمال کرتے ہوئے Φ4، 5، 6، اور 8 انچ ویفرز کے ساتھ ہم آہنگ
پیسنے کا طریقہ: روٹری طول بلد میں فیڈ پیسنے
سپنڈل کنفیگریشن: ڈوئل اسپنڈلز (2 محور)، ایئر ہائیڈرو سٹیٹک بیئرنگ سپنڈل (معیاری)
سپنڈل سپیڈ: 1,000 - 7,000 rpm
سپنڈل پاور: سٹینڈرڈ 4.2 کلو واٹ
ورک ٹیبل کنفیگریشن: تین ورک ٹیبلز (3 چک ٹیبلز)
پیسنے والی وہیل نردجیکرن: Φ200 ملی میٹر ہیرے پیسنے والا وہیل
آلات کے طول و عرض (W x D x H): تقریباً۔ 1,100 × 2,800 × 1,800 ملی میٹر
سامان کا وزن: تقریبا. 3,000 کلوگرام
کلیدی افعال اور خصوصیات
DFG8541 DFG8540 سے ایک اہم اپ گریڈ کی نمائندگی کرتا ہے۔
خصوصیات/فنکشنز تفصیلی تفصیل
اعلیٰ صفائی کی صلاحیتیں: ملٹی سٹیشن دو سیال نوزلز: روایتی ہوا سے پانی کی صفائی کے مقابلے میں، یہ پیسنے کے بعد ویفر پر لگے باریک دھول کے ذرات کو طاقتور طریقے سے ہٹاتا ہے۔ یہ ٹیکنالوجی کور ورک سٹیشنوں جیسے سکشن کپ اور ورک پیسز میں بڑے پیمانے پر استعمال ہوتی ہے، جو پتلی ویفر کے ٹوٹنے کے خطرے کو مؤثر طریقے سے کم کرتی ہے۔
غیر رابطہ سیدھ: سیدھ کے عمل کے دوران جسمانی رابطے کو تبدیل کرنے اور خروںچ یا کنارے کے نقصان کو ختم کرنے، ویفر سینٹر کو تلاش کرنے کے لیے کیمرے کا استعمال کرتا ہے۔
ذہین پیداوار: فی ویفر ریسیپی: ایک ہی ویفر کیسٹ کے اندر مختلف ویفرز کو خود بخود ان کی متعلقہ پیش سیٹ ترکیبوں (پیسنے کی موٹائی، رفتار، وغیرہ) کے مطابق پروسیس ہونے کی اجازت دیتا ہے، جو کہ کثیر اقسام، چھوٹے بیچ کی پیداوار کے لیے بالکل ڈھل جاتا ہے۔
ویفر پروٹیکشن فنکشنز: ویفر میپنگ (اینٹی مسیلائنمنٹ/خالی ویفر)، موٹائی پری انسپیکشن (اینٹی ڈبل ٹیپ)، اور ویکیوم ہولڈنگ (اچانک بجلی کی ناکامی کا الارم) سمیت متعدد حفاظتی میکانزم کو مربوط کرتا ہے، جس سے زیادہ قیمت والے ویفرز کی حفاظت کو یقینی بنایا جاتا ہے۔
الیکٹرک طور پر ایڈجسٹ ایبل ٹِلٹ کریکشن: سکشن کپ ٹِلٹ کو آن اسکرین ویلیوز کے ذریعے برقی طور پر ٹھیک کیا جا سکتا ہے، پروسیسنگ کی شکل کو بہتر بنا کر اور انشانکن کے لیے دستی ڈاؤن ٹائم کو کم کر کے۔
نمایاں طور پر بہتر استعمال کی اہلیت: 19 انچ بڑی اسکرین GUI: DFG8540 کی 15 انچ اسکرین کے مقابلے میں، ڈسپلے نہ صرف بڑا ہے بلکہ اس میں ایک بدیہی گرافیکل یوزر انٹرفیس بھی ہے۔
بہتر دیکھ بھال: بہتر اندرونی صفائی کا ڈھانچہ دیکھ بھال کو آسان بناتا ہے۔
توانائی کی بچت اور کمپیکٹ ڈیزائن: نیا ایئر اسپنڈل ہوا کی کھپت کو 50٪ تک کم کرتا ہے۔ بلٹ ان ویکیوم پمپ ڈیزائن اپنے پیشرو کے مقابلے میں قدموں کے نشان کو 15 فیصد کم کرتا ہے، جس سے ہارڈ ویئر اور آپریشن دونوں میں سبز بچت ہوتی ہے۔
مارکیٹ پوزیشننگ اور ویلیو: 12 انچ کی مارکیٹ کو نشانہ بنانے والے فلیگ شپ DGP8761 کے مقابلے میں، DFG8541 8 انچ کی مارکیٹ پر زیادہ توجہ مرکوز کرتا ہے، جس سے یہ ایک عام "اعلی کارکردگی، لاگت سے موثر" فلیگ شپ مشین بنتا ہے:
کارکردگی کی پوزیشننگ: DFG8541 8 انچ گرائنڈرز کے لیے کارکردگی کا بینچ مارک ہے۔ ہائی ٹارک اسپنڈل کا انتخاب کرکے، یہ 8 انچ کی مارکیٹ میں اپنے مطلق فائدہ کو مستحکم کرتے ہوئے، SiC جیسے سخت اور ٹوٹنے والے مواد کے پتلے ہوتے چیلنجوں پر کامیابی سے قابو پاتا ہے۔
سرمایہ کاری کی قدر: ایک پختہ پلیٹ فارم میں ایک مستحکم اپ گریڈ کے طور پر، یہ طویل مدتی مستحکم آپریشن اور مسلسل پیداوار کے لحاظ سے قابل اعتماد ہے، جو اسے 8 انچ پروڈکشن لائن آلات کی سرمایہ کاری کے لیے ایک اعلی کارکردگی، کم خطرہ، اور قابل اعتماد انتخاب بناتا ہے۔ اعلیٰ ملکی یونیورسٹیاں (جیسے ژیان جیاوٹونگ یونیورسٹی) جدید تحقیق کے لیے یہ سامان پہلے ہی خرید چکی ہیں۔
دیکھ بھال اور تنصیب کے تقاضے: DFG8541 کے طویل مدتی مستحکم اور اعلیٰ درستگی کے آپریشن کو یقینی بنانے کے لیے، تنصیب کے ماحول کے لیے DISCO کی ضروریات پر سختی سے عمل کرنا ضروری ہے:
ماحولیاتی صفائی: اسے اعلیٰ صفائی والے کلین روم میں نصب کیا جانا چاہیے۔ محیطی درجہ حرارت 20-25℃ پر مستحکم ہونا چاہیے، اتار چڑھاو کو ±1℃ کے اندر کنٹرول کیا جائے۔ نسبتاً نمی کا عام طور پر 55% سے کم ہونا ضروری ہے۔
بجلی کی فراہمی:
کمپریسڈ ہوا: 0.5 MPa یا اس سے زیادہ کے دباؤ پر صاف، خشک، اور تیل سے پاک اعلیٰ پاکیزگی والی کمپریسڈ ہوا کی ضرورت ہے۔
بجلی: آلات کی بجلی کی ضروریات سے مماثل تین فیز پاور سپلائی درکار ہے۔
ٹھنڈا پانی: سپنڈل کولنگ کے لیے مستحکم بہاؤ کی شرح اور مستقل درجہ حرارت کے ساتھ ڈیونائزڈ پانی (DI واٹر) درکار ہے۔ پانی کا درجہ حرارت عام طور پر کم سے کم درجہ حرارت کے اتار چڑھاو کے ساتھ کمرے کے درجہ حرارت سے مماثل ہونا چاہیے۔
پیسنے والے پہیوں کا باقاعدگی سے معائنہ اور تبدیل کرنا، ویکیوم چکس کی صفائی، اور ایئر اسپنڈل کو برقرار رکھنا آلات کی زندگی کو بڑھانے اور پروسیسنگ کی پیداوار کو یقینی بنانے کے لیے بہت اہم ہیں۔
خلاصہ یہ کہ DISCO DFG8541 ایک پختہ اور قابل اعتماد 8 انچ ویفر پتلا کرنے والا حل ہے۔ یہ اپنے بنیادی شعبوں میں صنعت کی نمایاں کارکردگی کو حاصل کرتا ہے اور جدید مینوفیکچرنگ کی ضروریات کو پورا کرنے کے لیے آٹومیشن، صفائی اور استعمال میں آسانی کے لیے جامع طور پر بہتر بنایا گیا ہے۔



