Moedor de obleas DISCO DFG8541

A DISCO DFG8541 é unha máquina de moer totalmente automatizada desenvolvida para satisfacer as necesidades de adelgazamento de obleas de 8 polgadas e menores. Como mellora da súa predecesora, a máis vendida DFG8540, pódese posicionar como un "modelo principal para o adelgazamento de obleas de 8 polgadas", recoñecida pola súa alta precisión, alta limpeza e excelente estabilidade, especialmente axeitada para procesar materiais duros e fráxiles como o carburo de silicio (SiC).

A continuación móstrase unha introdución detallada ao seu principio de funcionamento, funcións principais, especificacións e valor de mercado.

Principio de funcionamento: Sinerxía de dobre núcleo de eficiencia e precisión

O DFG8541 adopta unha arquitectura de "dobre eixo e tres ventosas".

División clara do traballo: un fuso leva unha rebarbadora grosa para eliminar rapidamente o material principal da parte traseira da oblea; o outro fuso leva unha rebarbadora fina para rematar finamente a superficie, conseguindo un resultado final liso, plano e sen danos.

Proceso altamente eficiente: a oblea adsórbese ao baleiro na mesa de traballo. Mediante unha planificación precisa do proceso, conséguese un fluxo de traballo totalmente automatizado de "sujeción única e procesamento continuo", evitando os riscos de contaminación e danos causados ​​pola transferencia de materiais entre diferentes dispositivos.

Aplicacións e funcións: máis alá do silicio

Como dispositivo de propósito xeral, desempeña un papel crucial no campo dos semicondutores de terceira xeración.

Tarefa principal: Adelgazamento de obleas de 8 polgadas e máis pequenas (Si/SiC) para alcanzar os grosores desexados, garantindo unha excelente uniformidade de grosor (TTV) e eliminando as capas de danos superficiais causadas por procesos anteriores.

Piar emerxente: Ao seleccionar un fuso de alto par, o DFG8541 pode procesar de forma estable materiais de dureza ultra alta como o SiC. Esta é a razón principal pola que é tan popular no mercado actual de semicondutores de potencia.

Visión xeral dos parámetros clave

Categoría de parámetros | Especificacións específicas

Pezas aplicables: Φ8 polgadas (200 mm) e inferiores; compatible con obleas de Φ4, 5, 6 e 8 polgadas usando un mandril universal

Método de moenda: Moenda lonxitudinal rotativa de alimentación

Configuración do fuso: fusos duplos (2 eixes), fuso con rodamentos hidrostáticos neumáticos (estándar)

Velocidade do fuso: 1.000 - 7.000 rpm

Potencia do eixo: Estándar 4,2 kW

Configuración da mesa de traballo: Tres mesas de traballo (3 mesas de mandril)

Especificacións da rebarbadora: rebarbadora de diamante de Φ200 mm

Dimensións do equipo (L x P x H): Aprox. 1.100 × 2.800 × 1.800 mm

Peso do equipo: Aprox. 3.000 kg

Funcións e características principais

O DFG8541 representa unha mellora significativa con respecto ao DFG8540.

Descrición detallada das características/funcións

Capacidades de limpeza superiores: Boquillas de dous fluídos multiestación: en comparación coa limpeza tradicional de aire e auga, esta elimina potentemente as partículas finas de po adheridas á oblea despois da moenda. Esta tecnoloxía úsase amplamente en estacións de traballo principais como ventosas e pezas de traballo, o que reduce eficazmente o risco de rotura de obleas delgadas.

Aliñamento sen contacto: utiliza unha cámara para localizar o centro da oblea, substituíndo o contacto físico e eliminando rabuñaduras ou danos nos bordos durante o proceso de aliñamento.

Produción intelixente: Receita por oblea: permite que diferentes obleas dentro do mesmo casete de obleas sexan procesadas automaticamente segundo as súas respectivas receitas predefinidas (grosor de moenda, velocidade, etc.), adaptándose perfectamente á produción multivariable e de lotes pequenos.

Funcións de protección de obleas: integra múltiples mecanismos de protección, incluíndo o mapeo de obleas (anti-desalineamento/oblea baleira), a inspección previa do grosor (anti-cinta dobre) e a retención de baleiro (alarma de fallo de alimentación repentino), garantindo a seguridade das obleas de alto valor.

Corrección da inclinación axustable electricamente: a inclinación da ventosa pódese axustar electricamente mediante valores na pantalla, o que optimiza a forma de procesamento e reduce o tempo de inactividade manual para a calibración.

Usabilidade significativamente mellorada: GUI de pantalla máis grande de 19 polgadas: En comparación coa pantalla de 15 polgadas do DFG8540, a pantalla non só é máis grande, senón que tamén presenta unha interface gráfica de usuario intuitiva.

Mantemento optimizado: a estrutura de limpeza interna mellorada facilita o mantemento.

Aforro de enerxía e deseño compacto: o novo eixo de aire reduce o consumo de aire nun 50 %; o deseño da bomba de baleiro integrada reduce a pegada nun 15 % en comparación co seu predecesor, conseguindo aforros ecolóxicos tanto no hardware como no funcionamento.

Posicionamento e valor no mercado: en comparación co modelo insignia DGP8761, dirixido ao mercado de 12 polgadas, o DFG8541 céntrase máis no mercado de 8 polgadas, o que o converte nunha máquina insignia típica de "alto rendemento e rendible":

Posicionamento de rendemento: A DFG8541 é a referencia de rendemento para as retificadoras de 8 polgadas. Ao seleccionar un eixo de alto par, supera con éxito os desafíos de adelgazamento de materiais duros e fráxiles como o SiC, consolidando a súa vantaxe absoluta no mercado de 8 polgadas.

Valor do investimento: Como unha actualización estable dunha plataforma madura, é fiable en termos de funcionamento estable a longo prazo e produción continua, o que a converte nunha opción de alta eficiencia, baixo risco e fiable para o investimento en equipos de liña de produción de 8 polgadas. As principais universidades nacionais (como a Universidade Jiaotong de Xi'an) xa adquiriron este equipo para investigación de vangarda.

Requisitos de mantemento e instalación: Para garantir o funcionamento estable e de alta precisión a longo prazo do DFG8541, é necesario cumprir estritamente os requisitos de DISCO para o entorno de instalación:

Limpeza do ambiente: Debe instalarse nunha sala limpa de alta limpeza. A temperatura ambiente debe ser estable entre 20 e 25 ℃, con flutuacións controladas dentro de ±1 ℃. A humidade relativa adoita ser inferior ao 55 %.

Fonte de alimentación:

Aire comprimido: Requírese aire comprimido de alta pureza limpo, seco e sen aceite a unha presión de 0,5 MPa ou superior.

Electricidade: Necesítase unha fonte de alimentación trifásica que se axuste aos requisitos de potencia do equipo.

Auga de refrixeración: Para a refrixeración do fuso requírese auga desionizada (auga DI) cun caudal estable e unha temperatura constante. A temperatura da auga debería coincidir normalmente coa temperatura ambiente con flutuacións mínimas de temperatura.

A inspección e substitución regulares das rebarbas, a limpeza dos mandriles de aspiración e o mantemento do eixo pneumático son cruciais para prolongar a vida útil do equipo e garantir o rendemento do procesamento.

En resumo, o DISCO DFG8541 é unha solución de adelgazamento de obleas de 8 polgadas madura e fiable. Alcanza un rendemento líder na industria nas súas áreas principais e está totalmente optimizado para a automatización, a limpeza e a facilidade de uso para satisfacer as necesidades da fabricación moderna.